ليزر ٽيڪنالاجي سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي تبديلي جي اڳواڻي ڪري ٿي

 

1. جو جائزوسلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽپروسيسنگ ٽيڪنالاجي

موجودهسلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ جي مرحلن ۾ شامل آهن: ٻاهرين دائري کي پيسڻ، سلائسنگ، چيمفرنگ، پيسڻ، پالش ڪرڻ، صفائي، وغيره. سلائسنگ سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ پروسيسنگ ۾ هڪ اهم قدم آهي ۽ انگوٽ کي سبسٽريٽ ۾ تبديل ڪرڻ ۾ هڪ اهم قدم آهي. هن وقت، ڪٽڻسلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽسبنيادي طور تي تار ڪٽڻ آهي. ملٽي وائر سلري ڪٽڻ هن وقت تار ڪٽڻ جو بهترين طريقو آهي، پر اڃا تائين خراب ڪٽڻ جي معيار ۽ وڏي ڪٽڻ جي نقصان جا مسئلا آهن. تار ڪٽڻ جو نقصان سبسٽريٽ جي سائيز جي واڌ سان وڌندو، جيڪو ان لاءِ سازگار ناهي.سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽٺاهيندڙن کي قيمت گھٽائڻ ۽ ڪارڪردگي بهتري حاصل ڪرڻ لاءِ. ڪٽڻ جي عمل ۾8 انچ سلڪون ڪاربائيڊ ذيلي ذرات، تار ڪٽڻ سان حاصل ڪيل سبسٽريٽ جي مٿاڇري جي شڪل خراب آهي، ۽ عددي خاصيتون جهڙوڪ WARP ۽ BOW سٺا نه آهن.

سلائسنگ سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ جي پيداوار ۾ هڪ اهم قدم آهي. صنعت مسلسل نئين ڪٽڻ جي طريقن کي آزمائي رهي آهي، جهڙوڪ هيرن جي تار ڪٽڻ ۽ ليزر اسٽرپنگ. ليزر اسٽرپنگ ٽيڪنالاجي کي تازو ئي تمام گهڻي ضرورت آهي. هن ٽيڪنالاجي جي تعارف سان ڪٽڻ جي نقصان کي گهٽجي ٿو ۽ ٽيڪنيڪل اصول کان ڪٽڻ جي ڪارڪردگي بهتر ٿئي ٿي. ليزر اسٽرپنگ حل ۾ آٽوميشن جي سطح لاءِ اعليٰ گهرجون آهن ۽ ان سان تعاون ڪرڻ لاءِ ٿلهي ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي ضرورت آهي، جيڪا سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ جي مستقبل جي ترقي جي هدايت سان مطابقت رکي ٿي. روايتي مارٽر وائر ڪٽڻ جي سلائس پيداوار عام طور تي 1.5-1.6 آهي. ليزر اسٽرپنگ ٽيڪنالاجي جو تعارف سلائس جي پيداوار کي تقريباً 2.0 تائين وڌائي سگھي ٿو (ڊسڪو سامان جو حوالو ڏيو). مستقبل ۾، جيئن ليزر اسٽرپنگ ٽيڪنالاجي جي پختگي وڌندي، سلائس جي پيداوار کي وڌيڪ بهتر بڻائي سگهجي ٿو؛ ساڳئي وقت، ليزر اسٽرپنگ پڻ سلائسنگ جي ڪارڪردگي کي تمام گهڻو بهتر بڻائي سگهي ٿي. مارڪيٽ ريسرچ جي مطابق، انڊسٽري ليڊر ڊسڪو تقريباً 10-15 منٽن ۾ هڪ سلائس ڪٽي ٿو، جيڪو موجوده مارٽر وائر ڪٽڻ جي 60 منٽن في سلائس کان گهڻو وڌيڪ ڪارائتو آهي.

سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي روايتي تار ڪٽڻ جا عمل مرحلا آهن: تار ڪٽڻ-رُف گرائنڊنگ-فائن گرائنڊنگ-رُف پالشنگ ۽ فائن پالشنگ. ليزر اسٽريپنگ جي عمل کان پوءِ تار ڪٽڻ کي تبديل ڪيو ويندو آهي، پتلي ڪرڻ جو عمل پيسڻ جي عمل کي تبديل ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو سلائسن جي نقصان کي گهٽائي ٿو ۽ پروسيسنگ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو. سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي ڪٽڻ، پيسڻ ۽ پالش ڪرڻ جي ليزر اسٽريپنگ جي عمل کي ٽن مرحلن ۾ ورهايو ويو آهي: ليزر مٿاڇري اسڪيننگ-سبسٽريٽ اسٽريپنگ-انگوٽ فليٽنگ: ليزر مٿاڇري اسڪيننگ الٽرا فاسٽ ليزر پلس استعمال ڪرڻ آهي ته جيئن انگوٽ جي مٿاڇري کي پروسيس ڪري سگهجي ته جيئن انگوٽ جي اندر هڪ تبديل ٿيل پرت ٺاهي سگهجي؛ سبسٽريٽ اسٽريپنگ تبديل ٿيل پرت جي مٿان سبسٽريٽ کي جسماني طريقن سان انگوٽ کان الڳ ڪرڻ آهي؛ انگوٽ فليٽنگ جو مطلب آهي انگوٽ جي مٿاڇري تي تبديل ٿيل پرت کي هٽائڻ ته جيئن انگوٽ جي مٿاڇري جي همواري کي يقيني بڻائي سگهجي.
سلڪون ڪاربائيڊ ليزر اسٽرپنگ عمل

 

2. ليزر اسٽرپنگ ٽيڪنالاجي ۽ صنعت ۾ حصو وٺندڙ ڪمپنين ۾ بين الاقوامي ترقي

ليزر اسٽرپنگ جو عمل پهريون ڀيرو پرڏيهي ڪمپنين پاران اختيار ڪيو ويو: 2016 ۾، جاپان جي ڊسڪو هڪ نئين ليزر سلائسنگ ٽيڪنالاجي KABRA تيار ڪئي، جيڪا هڪ الڳ ڪرڻ واري پرت ٺاهيندي آهي ۽ ويفرز کي هڪ مخصوص کوٽائي تي الڳ ڪري ٿي ليزر سان انگوٽ کي مسلسل شعاع ڪندي، جيڪو مختلف قسمن جي SiC انگوٽ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو. نومبر 2018 ۾، انفائنون ٽيڪنالاجيز 124 ملين يورو ۾ سلٽيڪرا GmbH، هڪ ويفر ڪٽنگ اسٽارٽ اپ حاصل ڪيو. بعد ۾ ڪولڊ اسپلٽ پروسيس تيار ڪيو، جيڪو پيٽنٽ ٿيل ليزر ٽيڪنالاجي کي ورهائڻ جي حد کي بيان ڪرڻ، خاص پوليمر مواد کي ڪوٽ ڪرڻ، ڪنٽرول سسٽم کولنگ انڊيوسڊ اسٽريس، صحيح طور تي ورهائڻ، ۽ ويفر ڪٽنگ حاصل ڪرڻ لاءِ پيس ۽ صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪندو آهي.

تازن سالن ۾، ڪجهه گهريلو ڪمپنيون پڻ ليزر اسٽريپنگ سامان جي صنعت ۾ داخل ٿيون آهن: مکيه ڪمپنيون هان جي ليزر، ڊيلونگ ليزر، ويسٽ لِيڪ انسٽرومينٽ، يونيورسل انٽيليجنس، چائنا اليڪٽرانڪس ٽيڪنالاجي گروپ ڪارپوريشن ۽ چيني اڪيڊمي آف سائنسز جو انسٽيٽيوٽ آف سيمي ڪنڊڪٽرز آهن. انهن مان، لسٽ ٿيل ڪمپنيون هان جي ليزر ۽ ڊيلونگ ليزر ڊگهي عرصي کان لي آئوٽ ۾ آهن، ۽ انهن جي شين جي گراهڪن طرفان تصديق ڪئي پئي وڃي، پر ڪمپني وٽ ڪيتريون ئي پراڊڪٽ لائينون آهن، ۽ ليزر اسٽريپنگ سامان انهن جي ڪاروبار مان صرف هڪ آهي. ويسٽ لِيڪ انسٽرومينٽ جهڙن اڀرندڙ ستارن جي شين رسمي آرڊر شپمينٽ حاصل ڪئي آهي؛ يونيورسل انٽيليجنس، چائنا اليڪٽرانڪس ٽيڪنالاجي گروپ ڪارپوريشن 2، چيني اڪيڊمي آف سائنسز جو انسٽيٽيوٽ آف سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ ٻين ڪمپنين پڻ سامان جي ترقي جاري ڪئي آهي.

 

3. ليزر اسٽرپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ مارڪيٽ جي تعارف جي تال لاءِ محرڪ عنصر

6 انچ سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي قيمت ۾ گهٽتائي ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي کي هلائي ٿي: هن وقت، 6 انچ سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي قيمت 4,000 يوآن / پيس کان گهٽجي وئي آهي، ڪجهه ٺاهيندڙن جي قيمت جي قيمت جي ويجهو. ليزر اسٽريپنگ جي عمل ۾ پيداوار جي شرح ۽ مضبوط منافعو آهي، جيڪو ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي دخول جي شرح کي وڌائي ٿو.

8 انچ سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ جي ٿلهي ٿيڻ سان ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي ٿئي ٿي: 8 انچ سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ جي ٿولهه هن وقت 500um آهي، ۽ 350um جي ٿولهه ڏانهن وڌي رهي آهي. 8 انچ سلڪون ڪاربائيڊ پروسيسنگ ۾ تار ڪٽڻ جو عمل اثرائتو نه آهي (سبسٽريٽ جي مٿاڇري سٺي ناهي)، ۽ BOW ۽ WARP قدر خاص طور تي خراب ٿي ويا آهن. ليزر اسٽريپنگ کي 350um سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ لاءِ هڪ ضروري پروسيسنگ ٽيڪنالاجي سمجهيو ويندو آهي، جيڪو ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي دخول جي شرح کي وڌائڻ لاءِ هلائي ٿو.

مارڪيٽ جون اميدون: SiC سبسٽريٽ ليزر اسٽرپنگ سامان 8 انچ SiC جي توسيع ۽ 6 انچ SiC جي قيمت ۾ گهٽتائي مان فائدو حاصل ڪري ٿو. موجوده صنعت جو نازڪ نقطو ويجهو اچي رهيو آهي، ۽ صنعت جي ترقي تمام تيز ٿيندي.