లేజర్ టెక్నాలజీ సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ పరివర్తనకు దారితీస్తుంది

 

1. అవలోకనంసిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలంప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ

ప్రస్తుతసిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలం ప్రాసెసింగ్ దశల్లో ఇవి ఉన్నాయి: బయటి వృత్తాన్ని గ్రైండింగ్ చేయడం, స్లైసింగ్, చాంఫరింగ్, గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్, క్లీనింగ్ మొదలైనవి. సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్‌లో స్లైసింగ్ ఒక ముఖ్యమైన దశ మరియు ఇంగోట్‌ను సబ్‌స్ట్రేట్‌గా మార్చడంలో కీలకమైన దశ. ప్రస్తుతం, కోతసిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలాలుప్రధానంగా వైర్ కటింగ్. మల్టీ-వైర్ స్లర్రీ కటింగ్ ప్రస్తుతం ఉత్తమ వైర్ కటింగ్ పద్ధతి, కానీ ఇప్పటికీ పేలవమైన కటింగ్ నాణ్యత మరియు పెద్ద కటింగ్ నష్టం సమస్యలు ఉన్నాయి. ఉపరితల పరిమాణం పెరగడంతో వైర్ కటింగ్ నష్టం పెరుగుతుంది, ఇది అనుకూలంగా లేదుసిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలంఖర్చు తగ్గింపు మరియు సామర్థ్య మెరుగుదల సాధించడానికి తయారీదారులు. కోత ప్రక్రియలో8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలాలు, వైర్ కటింగ్ ద్వారా పొందిన ఉపరితలం యొక్క ఉపరితల ఆకారం పేలవంగా ఉంటుంది మరియు WARP మరియు BOW వంటి సంఖ్యా లక్షణాలు బాగా లేవు.

సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ తయారీలో స్లైసింగ్ ఒక కీలకమైన దశ. పరిశ్రమ నిరంతరం డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మరియు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ వంటి కొత్త కటింగ్ పద్ధతులను ప్రయత్నిస్తోంది. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీకి ఇటీవల చాలా డిమాండ్ ఉంది. ఈ టెక్నాలజీ పరిచయం కటింగ్ నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు సాంకేతిక సూత్రం నుండి కటింగ్ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ సొల్యూషన్ ఆటోమేషన్ స్థాయికి అధిక అవసరాలను కలిగి ఉంది మరియు దానితో సహకరించడానికి సన్నబడటం సాంకేతికత అవసరం, ఇది సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క భవిష్యత్తు అభివృద్ధి దిశకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. సాంప్రదాయ మోర్టార్ వైర్ కటింగ్ యొక్క స్లైస్ దిగుబడి సాధారణంగా 1.5-1.6. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ పరిచయం స్లైస్ దిగుబడిని దాదాపు 2.0కి పెంచుతుంది (DISCO పరికరాలను చూడండి). భవిష్యత్తులో, లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ పరిపక్వత పెరిగేకొద్దీ, స్లైస్ దిగుబడి మరింత మెరుగుపడవచ్చు; అదే సమయంలో, లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ స్లైసింగ్ సామర్థ్యాన్ని కూడా బాగా మెరుగుపరుస్తుంది. మార్కెట్ పరిశోధన ప్రకారం, పరిశ్రమ నాయకుడు DISCO దాదాపు 10-15 నిమిషాల్లో ఒక స్లైస్‌ను కట్ చేస్తుంది, ఇది ప్రస్తుత మోర్టార్ వైర్ కటింగ్ స్లైస్‌కు 60 నిమిషాల కంటే చాలా సమర్థవంతంగా ఉంటుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల సాంప్రదాయ వైర్ కటింగ్ యొక్క ప్రక్రియ దశలు: వైర్ కటింగ్-రఫ్ గ్రైండింగ్-ఫైన్ గ్రైండింగ్-రఫ్ పాలిషింగ్ మరియు ఫైన్ పాలిషింగ్. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ వైర్ కటింగ్‌ను భర్తీ చేసిన తర్వాత, గ్రైండింగ్ ప్రక్రియను భర్తీ చేయడానికి సన్నబడటం ప్రక్రియ ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ముక్కల నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లను కత్తిరించడం, గ్రైండింగ్ చేయడం మరియు పాలిషింగ్ చేసే లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ మూడు దశలుగా విభజించబడింది: లేజర్ సర్ఫేస్ స్కానింగ్-సబ్‌స్ట్రేట్ స్ట్రిప్పింగ్-ఇంగోట్ ఫ్లాటెనింగ్: లేజర్ సర్ఫేస్ స్కానింగ్ అంటే ఇంగోట్ లోపల సవరించిన పొరను ఏర్పరచడానికి అల్ట్రాఫాస్ట్ లేజర్ పల్స్‌లను ఉపయోగించడం; సబ్‌స్ట్రేట్ స్ట్రిప్పింగ్ అంటే భౌతిక పద్ధతుల ద్వారా సవరించిన పొర పైన ఉన్న సబ్‌స్ట్రేట్‌ను ఇంగోట్ నుండి వేరు చేయడం; ఇంగోట్ ఫ్లాటెనింగ్ అంటే ఇంగోట్ ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్‌ను నిర్ధారించడానికి ఇంగోట్ ఉపరితలంపై సవరించిన పొరను తొలగించడం.
సిలికాన్ కార్బైడ్ లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ

 

2. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ మరియు పరిశ్రమలో పాల్గొనే కంపెనీలలో అంతర్జాతీయ పురోగతి

లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియను మొదట విదేశీ కంపెనీలు స్వీకరించాయి: 2016లో, జపాన్‌కు చెందిన DISCO ఒక కొత్త లేజర్ స్లైసింగ్ టెక్నాలజీ KABRAను అభివృద్ధి చేసింది, ఇది ఒక సెపరేషన్ లేయర్‌ను ఏర్పరుస్తుంది మరియు లేజర్‌తో ఇంగోట్‌ను నిరంతరం రేడియేషన్ చేయడం ద్వారా నిర్దిష్ట లోతులో వేఫర్‌లను వేరు చేస్తుంది, దీనిని వివిధ రకాల SiC ఇంగోట్‌లకు ఉపయోగించవచ్చు. నవంబర్ 2018లో, ఇన్ఫినియన్ టెక్నాలజీస్ వేఫర్ కటింగ్ స్టార్టప్ అయిన సిల్టెక్ట్రా GmbHను 124 మిలియన్ యూరోలకు కొనుగోలు చేసింది. తరువాతిది కోల్డ్ స్ప్లిట్ ప్రక్రియను అభివృద్ధి చేసింది, ఇది స్ప్లిటింగ్ పరిధిని నిర్వచించడానికి పేటెంట్ పొందిన లేజర్ టెక్నాలజీని ఉపయోగిస్తుంది, ప్రత్యేక పాలిమర్ పదార్థాలను పూయడం, నియంత్రణ వ్యవస్థ శీతలీకరణ ప్రేరిత ఒత్తిడి, ఖచ్చితంగా పదార్థాలను విభజించడం మరియు వేఫర్ కటింగ్‌ను సాధించడానికి గ్రైండ్ చేసి శుభ్రపరచడం.

ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, కొన్ని దేశీయ కంపెనీలు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాల పరిశ్రమలోకి కూడా ప్రవేశించాయి: ప్రధాన కంపెనీలు హాన్స్ లేజర్, డెలాంగ్ లేజర్, వెస్ట్ లేక్ ఇన్స్ట్రుమెంట్, యూనివర్సల్ ఇంటెలిజెన్స్, చైనా ఎలక్ట్రానిక్స్ టెక్నాలజీ గ్రూప్ కార్పొరేషన్ మరియు చైనీస్ అకాడమీ ఆఫ్ సైన్సెస్ యొక్క ఇన్స్టిట్యూట్ ఆఫ్ సెమీకండక్టర్స్. వాటిలో, లిస్టెడ్ కంపెనీలు హాన్స్ లేజర్ మరియు డెలాంగ్ లేజర్ చాలా కాలంగా లేఅవుట్‌లో ఉన్నాయి మరియు వాటి ఉత్పత్తులను కస్టమర్లు ధృవీకరిస్తున్నారు, కానీ కంపెనీకి అనేక ఉత్పత్తి లైన్లు ఉన్నాయి మరియు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాలు వారి వ్యాపారాలలో ఒకటి మాత్రమే. వెస్ట్ లేక్ ఇన్స్ట్రుమెంట్ వంటి వర్ధమాన తారల ఉత్పత్తులు అధికారిక ఆర్డర్ షిప్‌మెంట్‌లను సాధించాయి; యూనివర్సల్ ఇంటెలిజెన్స్, చైనా ఎలక్ట్రానిక్స్ టెక్నాలజీ గ్రూప్ కార్పొరేషన్ 2, చైనీస్ అకాడమీ ఆఫ్ సైన్సెస్ యొక్క ఇన్స్టిట్యూట్ ఆఫ్ సెమీకండక్టర్స్ మరియు ఇతర కంపెనీలు కూడా పరికరాల పురోగతిని విడుదల చేశాయి.

 

3. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి మరియు మార్కెట్ పరిచయం యొక్క లయకు చోదక అంశాలు

6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల ధర తగ్గింపు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి దారితీస్తుంది: ప్రస్తుతం, 6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల ధర 4,000 యువాన్/పీస్ కంటే తక్కువగా పడిపోయింది, ఇది కొంతమంది తయారీదారుల ధరకు చేరువైంది.లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ అధిక దిగుబడి రేటు మరియు బలమైన లాభదాయకతను కలిగి ఉంది, ఇది లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క చొచ్చుకుపోయే రేటును పెంచడానికి దారితీస్తుంది.

8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల సన్నబడటం లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి దారితీస్తుంది: 8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల మందం ప్రస్తుతం 500um, మరియు 350um మందం వైపు అభివృద్ధి చెందుతోంది. 8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రాసెసింగ్‌లో వైర్ కటింగ్ ప్రక్రియ ప్రభావవంతంగా లేదు (సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలం బాగా లేదు), మరియు BOW మరియు WARP విలువలు గణనీయంగా క్షీణించాయి. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ 350um సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్‌కు అవసరమైన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీగా పరిగణించబడుతుంది, ఇది లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క చొచ్చుకుపోయే రేటును పెంచడానికి దారితీస్తుంది.

మార్కెట్ అంచనాలు: SiC సబ్‌స్ట్రేట్ లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాలు 8-అంగుళాల SiC విస్తరణ మరియు 6-అంగుళాల SiC ఖర్చు తగ్గింపు నుండి ప్రయోజనం పొందుతాయి. ప్రస్తుత పరిశ్రమ కీలక దశ సమీపిస్తోంది మరియు పరిశ్రమ అభివృద్ధి చాలా వేగవంతం అవుతుంది.