లేజర్ టెక్నాలజీ సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ పరివర్తనకు దారితీస్తుంది

 

1. అవలోకనంసిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ

ప్రస్తుతసిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ దశలలో ఇవి ఉంటాయి: బయటి వలయాన్ని గ్రైండింగ్ చేయడం, స్లైసింగ్, చాంఫరింగ్, గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్, క్లీనింగ్ మొదలైనవి. సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్‌లో స్లైసింగ్ ఒక ముఖ్యమైన దశ మరియు ఇంగాట్‌ను సబ్‌స్ట్రేట్‌గా మార్చడంలో ఇది ఒక కీలకమైన దశ. ప్రస్తుతం, కటింగ్సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లుప్రధానంగా వైర్ కటింగ్. ప్రస్తుతం మల్టీ-వైర్ స్లర్రీ కటింగ్ ఉత్తమమైన వైర్ కటింగ్ పద్ధతి, కానీ ఇందులో కటింగ్ నాణ్యత తక్కువగా ఉండటం మరియు అధిక కటింగ్ నష్టం వంటి సమస్యలు ఇప్పటికీ ఉన్నాయి. సబ్‌స్ట్రేట్ పరిమాణం పెరిగే కొద్దీ వైర్ కటింగ్ నష్టం పెరుగుతుంది, ఇది అనుకూలమైన పద్ధతి కాదు.సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్తయారీదారులు ఖర్చు తగ్గింపు మరియు సామర్థ్య మెరుగుదలను సాధించడానికి. కోత ప్రక్రియలో8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లువైర్ కటింగ్ ద్వారా పొందిన సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితల ఆకారం పేలవంగా ఉంటుంది మరియు WARP, BOW వంటి సంఖ్యా లక్షణాలు కూడా అంత మంచిగా ఉండవు.

సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ తయారీలో స్లైసింగ్ అనేది ఒక కీలకమైన దశ. ఈ పరిశ్రమ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మరియు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ వంటి కొత్త కటింగ్ పద్ధతులను నిరంతరం ప్రయత్నిస్తోంది. ఇటీవల లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీకి అధిక ప్రాధాన్యత లభించింది. ఈ టెక్నాలజీని ప్రవేశపెట్టడం వల్ల, సాంకేతిక సూత్రం ప్రకారం కటింగ్ నష్టం తగ్గి, కటింగ్ సామర్థ్యం మెరుగుపడుతుంది. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ సొల్యూషన్‌కు ఆటోమేషన్ స్థాయిలో అధిక అవసరాలు ఉంటాయి మరియు దానితో కలిసి పనిచేయడానికి థిన్నింగ్ టెక్నాలజీ కూడా అవసరం. ఇది సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క భవిష్యత్ అభివృద్ధి దిశకు అనుగుణంగా ఉంది. సాంప్రదాయ మోర్టార్ వైర్ కటింగ్ యొక్క స్లైస్ దిగుబడి సాధారణంగా 1.5-1.6 ఉంటుంది. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీని ప్రవేశపెట్టడం ద్వారా స్లైస్ దిగుబడిని సుమారు 2.0 వరకు పెంచవచ్చు (డిస్కో పరికరాలను చూడండి). భవిష్యత్తులో, లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ పరిపక్వత పెరిగేకొద్దీ, స్లైస్ దిగుబడి మరింత మెరుగుపడవచ్చు; అదే సమయంలో, లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ స్లైసింగ్ సామర్థ్యాన్ని కూడా బాగా మెరుగుపరుస్తుంది. మార్కెట్ పరిశోధన ప్రకారం, ఈ పరిశ్రమలో అగ్రగామి అయిన డిస్కో (DISCO) ఒక స్లైస్‌ను సుమారు 10-15 నిమిషాల్లో కట్ చేస్తుంది, ఇది ప్రస్తుతం ఒక స్లైస్‌కు 60 నిమిషాలు పట్టే మోర్టార్ వైర్ కటింగ్ కంటే చాలా సమర్థవంతమైనది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల సాంప్రదాయ వైర్ కటింగ్ యొక్క ప్రక్రియ దశలు: వైర్ కటింగ్-రఫ్ గ్రైండింగ్-ఫైన్ గ్రైండింగ్-రఫ్ పాలిషింగ్ మరియు ఫైన్ పాలిషింగ్. వైర్ కటింగ్ స్థానంలో లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియను ప్రవేశపెట్టిన తర్వాత, గ్రైండింగ్ ప్రక్రియ స్థానంలో థిన్నింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగిస్తారు, ఇది స్లైస్‌ల నష్టాన్ని తగ్గించి, ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లను కటింగ్, గ్రైండింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేసే లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ మూడు దశలుగా విభజించబడింది: లేజర్ సర్ఫేస్ స్కానింగ్-సబ్‌స్ట్రేట్ స్ట్రిప్పింగ్-ఇంగట్ ఫ్లాటెనింగ్: లేజర్ సర్ఫేస్ స్కానింగ్ అంటే ఇంగట్ లోపల ఒక మాడిఫైడ్ లేయర్‌ను ఏర్పరచడానికి, దాని ఉపరితలాన్ని ప్రాసెస్ చేయడానికి అల్ట్రాఫాస్ట్ లేజర్ పల్స్‌లను ఉపయోగించడం; సబ్‌స్ట్రేట్ స్ట్రిప్పింగ్ అంటే భౌతిక పద్ధతుల ద్వారా మాడిఫైడ్ లేయర్ పైన ఉన్న సబ్‌స్ట్రేట్‌ను ఇంగట్ నుండి వేరు చేయడం; ఇంగట్ ఫ్లాటెనింగ్ అంటే ఇంగట్ ఉపరితలం యొక్క సమతలాన్ని నిర్ధారించడానికి, దాని ఉపరితలంపై ఉన్న మాడిఫైడ్ లేయర్‌ను తొలగించడం.
సిలికాన్ కార్బైడ్ లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ

 

2. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీలో అంతర్జాతీయ పురోగతి మరియు పరిశ్రమలో పాల్గొనే కంపెనీలు

లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియను మొదట విదేశీ కంపెనీలు స్వీకరించాయి: 2016లో, జపాన్‌కు చెందిన డిస్కో (DISCO) సంస్థ కాబ్రా (KABRA) అనే కొత్త లేజర్ స్లైసింగ్ టెక్నాలజీని అభివృద్ధి చేసింది. ఇది ఇంగట్‌పై నిరంతరం లేజర్‌ను ప్రసరింపజేయడం ద్వారా ఒక విభజన పొరను ఏర్పరచి, వేఫర్‌లను నిర్దిష్ట లోతులో వేరు చేస్తుంది. దీనిని వివిధ రకాల SiC ఇంగట్‌ల కోసం ఉపయోగించవచ్చు. నవంబర్ 2018లో, ఇన్ఫినియన్ టెక్నాలజీస్, వేఫర్ కటింగ్ స్టార్టప్ అయిన సిల్టెక్ట్రా GmbHను 124 మిలియన్ యూరోలకు కొనుగోలు చేసింది. ఈ సంస్థ కోల్డ్ స్ప్లిట్ ప్రక్రియను అభివృద్ధి చేసింది. ఇది పేటెంట్ పొందిన లేజర్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించి విభజన పరిధిని నిర్వచించడం, ప్రత్యేక పాలిమర్ పదార్థాలతో పూత పూయడం, సిస్టమ్ కూలింగ్ వల్ల కలిగే ఒత్తిడిని నియంత్రించడం, పదార్థాలను కచ్చితంగా విభజించడం, మరియు వేఫర్ కటింగ్ సాధించడానికి గ్రైండ్ చేసి శుభ్రపరచడం వంటివి చేస్తుంది.

ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, కొన్ని దేశీయ కంపెనీలు కూడా లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాల పరిశ్రమలోకి ప్రవేశించాయి: వాటిలో ప్రధాన కంపెనీలు హాన్'స్ లేజర్, డెలాంగ్ లేజర్, వెస్ట్ లేక్ ఇన్‌స్ట్రుమెంట్, యూనివర్సల్ ఇంటెలిజెన్స్, చైనా ఎలక్ట్రానిక్స్ టెక్నాలజీ గ్రూప్ కార్పొరేషన్ మరియు చైనీస్ అకాడమీ ఆఫ్ సైన్సెస్ యొక్క ఇన్‌స్టిట్యూట్ ఆఫ్ సెమీకండక్టర్స్. వీటిలో, లిస్టెడ్ కంపెనీలైన హాన్'స్ లేజర్ మరియు డెలాంగ్ లేజర్ చాలా కాలంగా ఈ రంగంలో ఉన్నాయి, మరియు వాటి ఉత్పత్తులు వినియోగదారులచే ఆమోదించబడుతున్నాయి. అయితే, ఈ కంపెనీలకు అనేక ఉత్పత్తి శ్రేణులు ఉన్నాయి మరియు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాలు వాటి వ్యాపారాలలో ఒకటి మాత్రమే. వెస్ట్ లేక్ ఇన్‌స్ట్రుమెంట్ వంటి వర్ధమాన కంపెనీల ఉత్పత్తులు అధికారిక ఆర్డర్ షిప్‌మెంట్‌లను సాధించాయి; యూనివర్సల్ ఇంటెలిజెన్స్, చైనా ఎలక్ట్రానిక్స్ టెక్నాలజీ గ్రూప్ కార్పొరేషన్ 2, చైనీస్ అకాడమీ ఆఫ్ సైన్సెస్ యొక్క ఇన్‌స్టిట్యూట్ ఆఫ్ సెమీకండక్టర్స్ మరియు ఇతర కంపెనీలు కూడా పరికరాల పురోగతిని విడుదల చేశాయి.

 

3. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి చోదక కారకాలు మరియు మార్కెట్ పరిచయం యొక్క లయ

6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల ధర తగ్గడం లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి దోహదపడుతోంది: ప్రస్తుతం, 6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల ధర ఒక్కో ముక్కకు 4,000 యువాన్ల కంటే తక్కువకు పడిపోయింది, ఇది కొంతమంది తయారీదారుల కొనుగోలు ధరకు దగ్గరగా ఉంది. లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ప్రక్రియ అధిక దిగుబడి రేటును మరియు బలమైన లాభదాయకతను కలిగి ఉంది, ఇది లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ వ్యాప్తి రేటు పెరగడానికి దోహదపడుతుంది.

8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల మందం తగ్గడం లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధికి చోదక శక్తిగా ఉంది: 8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల మందం ప్రస్తుతం 500umగా ఉంది, మరియు ఇది 350um మందం దిశగా అభివృద్ధి చెందుతోంది. 8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రాసెసింగ్‌లో వైర్ కటింగ్ ప్రక్రియ సమర్థవంతంగా లేదు (సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలం మంచిగా లేదు), మరియు BOW, WARP విలువలు గణనీయంగా క్షీణించాయి. 350um సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్‌కు లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ ఒక అవసరమైన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీగా పరిగణించబడుతోంది, ఇది లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ టెక్నాలజీ వ్యాప్తి రేటును పెంచడానికి దోహదపడుతుంది.

మార్కెట్ అంచనాలు: 8-అంగుళాల SiC విస్తరణ మరియు 6-అంగుళాల SiC ధర తగ్గింపు వల్ల SiC సబ్‌స్ట్రేట్ లేజర్ స్ట్రిప్పింగ్ పరికరాలు ప్రయోజనం పొందుతాయి. ప్రస్తుత పరిశ్రమ కీలక ఘట్టం సమీపిస్తోంది, మరియు పరిశ్రమ అభివృద్ధి బాగా వేగవంతం అవుతుంది.