1. Forbhreathnú arfoshraith sileacain charbídeteicneolaíocht phróiseála
An reathafoshraith sileacain charbíde Áirítear ar na céimeanna próiseála: an ciorcal seachtrach a mheilt, a slisniú, a chamfáil, a mheilt, a snasú, a ghlanadh, etc. Is céim thábhachtach í an slisniú i bpróiseáil foshraithe leathsheoltóra agus céim ríthábhachtach chun an t-inní a thiontú ina foshraith. Faoi láthair, gearradhfoshraitheanna sileacain charbídegearradh sreinge den chuid is mó. Is é gearradh sloda il-shreinge an modh gearrtha sreinge is fearr faoi láthair, ach tá fadhbanna ann fós maidir le droch-chaighdeán gearrtha agus caillteanas gearrtha mór. Méadóidh an caillteanas gearrtha sreinge de réir mar a mhéadaíonn méid an tsubstráit, rud nach bhfuil fabhrach donfoshraith sileacain charbídemonaróirí chun laghdú costais agus feabhsú éifeachtúlachta a bhaint amach. Sa phróiseas gearrthaCarbaíd sileacain 8 n-orlach foshraitheanna, tá cruth dromchla an tsubstráit a fhaightear trí ghearradh sreinge bocht, agus níl na tréithe uimhriúla amhail WARP agus BOW maith.
Is céim ríthábhachtach i ndéantúsaíocht foshraithe leathsheoltóra í an slisniú. Tá an tionscal i gcónaí ag iarraidh modhanna gearrtha nua, amhail gearradh sreinge diamant agus stialladh léasair. Tá an-tóir ar theicneolaíocht stialladh léasair le déanaí. Laghdaíonn tabhairt isteach na teicneolaíochta seo caillteanas gearrtha agus feabhsaíonn sé éifeachtúlacht gearrtha ón bprionsabal teicniúil. Tá riachtanais arda ag an réiteach stialladh léasair maidir le leibhéal uathoibrithe agus éilíonn sé teicneolaíocht tanaithe chun comhoibriú leis, rud atá i gcomhréir le treo forbartha amach anseo phróiseáil foshraithe sileacain charbaíde. Is gnách go mbíonn toradh slisne gearradh sreinge moirtéal traidisiúnta 1.5-1.6. Is féidir le tabhairt isteach na teicneolaíochta stialladh léasair an toradh slisne a mhéadú go dtí thart ar 2.0 (féach trealamh DISCO). Amach anseo, de réir mar a mhéadaíonn aibíocht na teicneolaíochta stialladh léasair, féadfar an toradh slisne a fheabhsú tuilleadh; ag an am céanna, is féidir le stialladh léasair éifeachtúlacht an slisne a fheabhsú go mór freisin. De réir taighde margaidh, gearrann ceannaire an tionscail DISCO slisne i thart ar 10-15 nóiméad, atá i bhfad níos éifeachtaí ná an gearradh sreinge moirtéal reatha de 60 nóiméad in aghaidh an slisne.
Is iad seo a leanas céimeanna an phróisis maidir le sreanga traidisiúnta foshraitheanna charbaídí sileacain a ghearradh: gearradh sreinge-meilt garbh-meilt mhín-snasú garbh agus snasú mín. Tar éis don phróiseas stialladh léasair gearradh sreinge a athsholáthar, úsáidtear an próiseas tanaithe chun an próiseas meilt a athsholáthar, rud a laghdaíonn cailliúint slisní agus a fheabhsaíonn éifeachtúlacht phróiseála. Tá an próiseas stialladh léasair chun foshraitheanna charbaídí sileacain a ghearradh, a mheilt agus a snasú roinnte ina thrí chéim: scanadh dromchla léasair-stialladh foshraithe-leathadh tinne: is éard atá i gceist le scanadh dromchla léasair ná bíoga léasair thar a bheith gasta a úsáid chun dromchla an tinne a phróiseáil chun ciseal modhnaithe a fhoirmiú taobh istigh den tinne; is éard atá i gceist le stialladh foshraithe an tsubstráit os cionn na ciseal modhnaithe a dheighilt ón tinne trí mhodhanna fisiceacha; is éard atá i gceist le leathadh tinne ná an ciseal modhnaithe a bhaint de dhromchla an tinne chun cothromaíocht dhromchla an tinne a chinntiú.
Próiseas stialladh léasair sileacain charbíde
2. Dul chun cinn idirnáisiúnta i dteicneolaíocht stialladh léasair agus cuideachtaí rannpháirteacha sa tionscal
Glacadh leis an bpróiseas stialladh léasair den chéad uair ag cuideachtaí thar lear: Sa bhliain 2016, d'fhorbair DISCO na Seapáine teicneolaíocht nua slisnithe léasair KABRA, a chruthaíonn ciseal scartha agus a dheighiltíonn vaiféir ag doimhneacht shonraithe tríd an ingot a ionradaíocht go leanúnach le léasar, ar féidir é a úsáid le haghaidh cineálacha éagsúla ingot SiC. I mí na Samhna 2018, fuair Infineon Technologies Siltectra GmbH, gnólacht nuathionscanta gearrtha vaiféir, ar 124 milliún euro. D'fhorbair an dara ceann an próiseas Cold Split, a úsáideann teicneolaíocht léasair phaitinnithe chun an raon scoilte a shainiú, ábhair pholaiméire speisialta a chóta, strus spreagtha ag fuarú an chórais rialaithe, ábhair a scoilteadh go cruinn, agus meilt agus glanadh chun gearradh vaiféir a bhaint amach.
Le blianta beaga anuas, tá roinnt cuideachtaí intíre tar éis dul isteach sa tionscal trealaimh stialladh léasair freisin: is iad na príomhchuideachtaí ná Han's Laser, Delong Laser, West Lake Instrument, Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation agus Institiúid Semiconductors Acadamh Eolaíochtaí na Síne. Ina measc, tá na cuideachtaí liostaithe Han's Laser agus Delong Laser faoi lán seoil le fada an lá, agus tá a gcuid táirgí á bhfíorú ag custaiméirí, ach tá go leor línte táirgí ag an gcuideachta, agus níl i dtrealamh stialladh léasair ach ceann amháin dá ngnóthaí. Tá orduithe foirmiúla seolta ag táirgí réaltaí atá ag ardú ar nós West Lake Instrument; tá dul chun cinn trealaimh eisithe ag Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation 2, Institiúid Semiconductors Acadamh Eolaíochtaí na Síne agus cuideachtaí eile freisin.
3. Fachtóirí tiomána d’fhorbairt na teicneolaíochta stialladh léasair agus rithim an chur i bhfeidhm sa mhargadh
Spreagann laghdú praghais foshraitheanna cairbíde sileacain 6-orlach forbairt na teicneolaíochta stiallta léasair: Faoi láthair, tá praghas foshraitheanna cairbíde sileacain 6-orlach tite faoi bhun 4,000 yuan/píosa, ag druidim le costas roinnt monaróirí. Tá ráta ardtoraidh agus brabúsacht láidir ag an bpróiseas stiallta léasair, rud a spreagann méadú ar ráta treá na teicneolaíochta stiallta léasair.
Is é tanú foshraitheanna cairbíde sileacain 8 n-orlach a spreagann forbairt na teicneolaíochta stiallta léasair: Tá tiús foshraitheanna cairbíde sileacain 8 n-orlach 500um faoi láthair, agus tá sé ag forbairt i dtreo tiús 350um. Níl an próiseas gearrtha sreinge éifeachtach i bpróiseáil cairbíde sileacain 8 n-orlach (níl dromchla an tsubstráit go maith), agus tá luachanna BOW agus WARP meathlaithe go suntasach. Meastar gur teicneolaíocht phróiseála riachtanach í stialladh léasair le haghaidh próiseáil foshraitheanna cairbíde sileacain 350um, rud a spreagann méadú ar an ráta treá sa teicneolaíocht stiallta léasair.
Ionchais an mhargaidh: Baineann trealamh stialladh léasair foshraithe SiC leas as leathnú SiC 8-orlach agus laghdú costais SiC 6-orlach. Tá an pointe criticiúil reatha sa tionscal ag druidim linn, agus luasghéarófar forbairt an tionscail go mór.
Am an phoist: 08 Iúil 2024