የሌዘር ቴክኖሎጂ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂን ለውጥ ይመራል

 

1. አጠቃላይ እይታየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍየማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ

የአሁኑየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ የማቀነባበሪያ ደረጃዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡- የውጪውን ክብ መፍጨት፣ መቁረጥ፣ መቆራረጥ፣ መፍጨት፣ ማጽዳት፣ ወዘተ። መቁረጥ በሴሚኮንዳክተር ንጣፎች ሂደት ውስጥ አስፈላጊ እርምጃ እና ኢንጎቱን ወደ ንጣፎች ለመቀየር ቁልፍ እርምጃ ነው። በአሁኑ ጊዜ የመቁረጥየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎችበዋናነት የሽቦ መቁረጥ ነው። ባለብዙ ሽቦ ዝልግልግ መቁረጥ በአሁኑ ጊዜ ምርጡ የሽቦ መቁረጫ ዘዴ ነው፣ ነገር ግን አሁንም የመቁረጥ ጥራት እና ከፍተኛ የመቁረጥ መጥፋት ችግሮች አሉ። የሽቦ መቁረጫ መጥፋት የንጣፍ መጠን ሲጨምር ይጨምራል፣ ይህም ለሚከተሉት ተስማሚ አይደለምየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍአምራቾች የወጪ ቅነሳ እና የቅልጥፍና ማሻሻያ ለማሳካት። በመቁረጥ ሂደት ውስጥ8 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ ንጣፎችበሽቦ መቁረጥ የተገኘው የንጣፍ ወለል ቅርፅ ደካማ ነው፣ እና እንደ WARP እና BOW ያሉ የቁጥር ባህሪያት ጥሩ አይደሉም።

መቆራረጥ በሴሚኮንዳክተር ንጣፍ ማምረቻ ውስጥ ቁልፍ እርምጃ ነው። ኢንዱስትሪው እንደ አልማዝ ሽቦ መቁረጥ እና የሌዘር ንጣፍ ማውጣት ያሉ አዳዲስ የመቁረጫ ዘዴዎችን ያለማቋረጥ እየሞከረ ነው። የሌዘር ንጣፍ ቴክኖሎጂ በቅርብ ጊዜ በጣም ተፈላጊ ሆኗል። የዚህ ቴክኖሎጂ መግቢያ የመቁረጥ ኪሳራን ይቀንሳል እና ከቴክኒካል መርህ የመቁረጥ ቅልጥፍናን ያሻሽላል። የሌዘር ንጣፍ መፍትሄ ለአውቶሜሽን ደረጃ ከፍተኛ መስፈርቶች ያሉት ሲሆን ከእሱ ጋር ለመተባበር የማቅጠኛ ቴክኖሎጂን ይፈልጋል፣ ይህም ከሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ ማቀነባበሪያ የወደፊት የእድገት አቅጣጫ ጋር የሚስማማ ነው። ባህላዊ የሞርታር ሽቦ መቁረጥ የመቁረጫ ምርት በአጠቃላይ 1.5-1.6 ነው። የሌዘር ንጣፍ ቴክኖሎጂ ማስተዋወቅ የመቁረጫ ምርቱን ወደ 2.0 ያህል ሊጨምር ይችላል (የዲስኮ መሳሪያዎችን ይመልከቱ)። ለወደፊቱ የሌዘር ንጣፍ ቴክኖሎጂ ብስለት እየጨመረ ሲሄድ የመቁረጫ ምርቱ የበለጠ ሊሻሻል ይችላል፤ በተመሳሳይ ጊዜ የሌዘር ንጣፍ መቁረጥ የመቁረጫ ቅልጥፍናን በእጅጉ ሊያሻሽል ይችላል። በገበያ ጥናት መሠረት የኢንዱስትሪው መሪ ዲስኮ አንድ ቁራጭ በ10-15 ደቂቃዎች ውስጥ ይቆርጣል፣ ይህም ከአሁኑ የሞርታር ሽቦ መቁረጥ በአንድ ቁራጭ 60 ደቂቃዎች የበለጠ ውጤታማ ነው።

የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎችን በባህላዊ የሽቦ መቁረጥ ሂደት ደረጃዎች፡ የሽቦ መቁረጥ-በጥሩ መፍጨት-በጥሩ መፍጨት-በጥሩ ፖሊሽ እና በጥሩ ፖሊሽ። የሌዘር ማስወገጃ ሂደቱ የሽቦ መቁረጥን ከተተካ በኋላ የማቅለጫ ሂደቱ የመፍጨት ሂደቱን ለመተካት ጥቅም ላይ ይውላል፣ ይህም የቁራጮችን መጥፋት ይቀንሳል እና የሂደት ቅልጥፍናን ያሻሽላል። የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎችን የመቁረጥ፣ የመፍጨት እና የማጥራት የሌዘር ማስወገጃ ሂደት በሦስት ደረጃዎች ይከፈላል፡ የሌዘር ወለል ቅኝት-ንጣፎችን መገልበጥ-ኢንጎት ጠፍጣፋነት፡ የሌዘር ወለል ቅኝት የኢንጎትን ገጽ በኢንጎት ውስጥ የተሻሻለ ንብርብር ለመፍጠር እጅግ በጣም ፈጣን የሌዘር pulsesን መጠቀም ነው፤ የንጣፍ ማስወገጃ ከተሻሻለው ንብርብር በላይ ያለውን ንጣፍ ከኢንጎት በአካላዊ ዘዴዎች መለየት ነው፤ የኢንጎት ጠፍጣፋነት የኢንጎትን ወለል ጠፍጣፋነት ለማረጋገጥ የኢንጎትን ወለል ላይ ያለውን የተሻሻለ ንብርብር ማስወገድ ነው።
የሲሊኮን ካርቦይድ ሌዘር የማውጣት ሂደት

 

2. በሌዘር ስትሪፕንግ ቴክኖሎጂ እና በኢንዱስትሪው ውስጥ በሚሳተፉ ኩባንያዎች ዓለም አቀፍ እድገት

የሌዘር መቆራረጥ ሂደቱ ለመጀመሪያ ጊዜ በውጭ አገር ኩባንያዎች ተቀባይነት አግኝቷል፡ እ.ኤ.አ. በ2016 የጃፓን ዲስኮ አዲስ የሌዘር መቆራረጥ ቴክኖሎጂ ካብራ (KABRA) አዘጋጅቷል፣ ይህም የመለያየት ንብርብር ይፈጥራል እና ኢንጎቱን በሌዘር ያለማቋረጥ በማብራራት በተወሰነ ጥልቀት ላይ ዋፈርን ይለያል፣ ይህም ለተለያዩ የሲሲ ኢንጎቶች ዓይነቶች ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል። እ.ኤ.አ. በኖቬምበር 2018፣ ኢንፊኔዮን ቴክኖሎጂስ ሲልቴክራ ጂኤምቢኤች የተባለውን የዋፈር መቆራረጥ ጅምር ኩባንያ በ124 ሚሊዮን ዩሮ ገዝቷል። የኋለኛው ኩባንያ የመክፈቻ ክልልን ለመለየት፣ ልዩ የፖሊመር ቁሳቁሶችን ለመሸፈን፣ የመቆጣጠሪያ ስርዓትን ለማቀዝቀዝ የሚፈጠረውን ጭንቀት ለመቆጣጠር፣ ቁሳቁሶችን በትክክል ለመከፋፈል እና የዋፈር መቆራረጥን ለማሳካት የፈጠራ ባለቤትነት መብት ያለው የሌዘር ቴክኖሎጂን የሚጠቀም የኮልድ ስፕሊት ሂደትን አዘጋጅቷል።

በቅርብ ዓመታት ውስጥ አንዳንድ የሀገር ውስጥ ኩባንያዎችም በሌዘር ማስወገጃ መሳሪያዎች ኢንዱስትሪ ውስጥ ገብተዋል፤ ዋና ዋናዎቹ ኩባንያዎች የሃን ሌዘር፣ ዴሎንግ ሌዘር፣ የዌስት ሌክ ኢንስትሩመንት፣ ዩኒቨርሳል ኢንተለጀንስ፣ የቻይና ኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ ግሩፕ ኮርፖሬሽን እና የቻይና የሳይንስ አካዳሚ ሴሚኮንዳክተሮች ኢንስቲትዩት ናቸው። ከእነዚህም መካከል የተዘረዘሩት የሃን ሌዘር እና የዴሎንግ ሌዘር ኩባንያዎች ለረጅም ጊዜ ዲዛይን ሲያደርጉ የቆዩ ሲሆን ምርቶቻቸው በደንበኞች እየተረጋገጡ ነው፣ ነገር ግን ኩባንያው ብዙ የምርት መስመሮች አሉት፣ እና የሌዘር ማስወገጃ መሳሪያዎች ከንግዶቻቸው አንዱ ብቻ ነው። እንደ ዌስት ሌክ ኢንስትሩመንት ያሉ እየጨመረ የሚሄዱ ኮከቦች ምርቶች መደበኛ የትዕዛዝ ጭነት አግኝተዋል፤ ዩኒቨርሳል ኢንተለጀንስ፣ የቻይና ኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ ግሩፕ ኮርፖሬሽን 2፣ የቻይና የሳይንስ አካዳሚ ሴሚኮንዳክተሮች ኢንስቲትዩት እና ሌሎች ኩባንያዎችም የመሳሪያዎችን እድገት አሳይተዋል።

 

3. የሌዘር ስትሪፕንግ ቴክኖሎጂን ለማዳበር እና የገበያውን አቀራረብ ሪትም ለማነቃቃት የሚያነሳሱ ምክንያቶች

የ6 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ ንጣፎች የዋጋ ቅነሳ የሌዘር ንጣፎችን እድገት ያነሳሳል፡ በአሁኑ ጊዜ የ6 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ ንጣፎች ዋጋ ከ4,000 ዩዋን/ክፍል በታች ወርዷል፣ ይህም የአንዳንድ አምራቾችን የወጪ ዋጋ እያገናዘበ ነው። የሌዘር ንጣፎች ሂደት ከፍተኛ የትርፍ መጠን እና ጠንካራ ትርፋማነት ያለው ሲሆን ይህም የሌዘር ንጣፎችን የመሳብ ፍጥነት እንዲጨምር ያደርጋል።

የ8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎችን ማቅጠን የሌዘር ማጽጃ ቴክኖሎጂን እድገት ያነሳሳል፡ የ8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች ውፍረት በአሁኑ ጊዜ 500um ሲሆን ወደ 350um ውፍረት እያደገ ነው። የሽቦ መቁረጫ ሂደቱ በ8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ ማቀነባበሪያ ላይ ውጤታማ አይደለም (የንጣፉ ወለል ጥሩ አይደለም)፣ እና የBOW እና WARP እሴቶች በከፍተኛ ሁኔታ ተበላሽተዋል። የሌዘር ማጽጃ ለ350um የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች ማቀነባበሪያ አስፈላጊ የማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ ተደርጎ ይወሰዳል፣ ይህም የሌዘር ማጽጃ ቴክኖሎጂ የመግባት ፍጥነት እንዲጨምር ያደርጋል።

የገበያ ግምቶች፡- የSiC ንጣፎችን የሌዘር ስትሪፒንግ መሳሪያዎች የ8 ኢንች SiC መስፋፋት እና የ6 ኢንች SiC ወጪ ቅነሳን ይጠቀማሉ። የአሁኑ የኢንዱስትሪ ወሳኝ ነጥብ እየቀረበ ነው፣ እና የኢንዱስትሪው እድገት በከፍተኛ ሁኔታ ይጨምራል።