1. Àkótán nípaohun èlò ìpìlẹ̀ silikoni carbideimọ-ẹrọ iṣiṣẹ
Ẹlẹtiriki naaohun èlò ìpìlẹ̀ silikoni carbide Àwọn ìgbésẹ̀ ìṣiṣẹ́ ní: lílọ yíká ìta, gígé, yíyíká, fífọ, fífọ, mímọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Gígé jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú ṣíṣe àgbékalẹ̀ ìpìlẹ̀ semiconductor àti ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú yíyí ingot padà sí ìpìlẹ̀ náà. Lọ́wọ́lọ́wọ́, gígéàwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ silikoni carbideÓ jẹ́ gígé wáyà ní pàtàkì. Gígé wáyà oní-oní-oní-oní-oní ni ọ̀nà gígé wáyà tó dára jùlọ lọ́wọ́lọ́wọ́, ṣùgbọ́n àwọn ìṣòro bíi dídára gígé tí kò dára àti pípadánù gígé ńlá ṣì wà. Pípàdánù gígé wáyà yóò pọ̀ sí i pẹ̀lú bí ìwọ̀n substrate ṣe pọ̀ sí i, èyí tí kò dára fún àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ohun èlò ìpìlẹ̀ silikoni carbideÀwọn olùpèsè láti ṣe àṣeyọrí ìdínkù owó àti ìdàgbàsókè iṣẹ́.8-inch silikoni carbide àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀, apẹrẹ oju ilẹ ti substrate ti a gba nipasẹ gige waya ko dara, ati awọn abuda nọmba bi WARP ati BOW ko dara.
Gígé ni ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ semiconductor. Ilé iṣẹ́ náà ń gbìyànjú àwọn ọ̀nà ìgé tuntun nígbà gbogbo, bíi gígé wáyà diamond àti gígé lésà. Ìmọ̀ ẹ̀rọ gígé lésà ti di ohun tí a ń wá gidigidi láìpẹ́ yìí. Ìfìhàn ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí dín àdánù gígé kù, ó sì ń mú kí iṣẹ́ gígé sunwọ̀n sí i láti inú ìlànà ìmọ̀ ẹ̀rọ. Ojútùú gígé lésà ní àwọn ohun pàtàkì fún ìpele ìdánilẹ́kọ̀ọ́, ó sì nílò ìmọ̀ ẹ̀rọ gígé láti bá a ṣiṣẹ́, èyí tí ó bá ìtọ́sọ́nà ìdàgbàsókè ọjọ́ iwájú ti ṣíṣe ohun èlò silicon carbide mu. Ìgbéjáde gígé lésà ìbílẹ̀ sábà máa ń jẹ́ 1.5-1.6. Ìfìhàn ìmọ̀ ẹ̀rọ gígé lésà lè mú kí ìgé náà pọ̀ sí i sí nǹkan bí 2.0 (tọ́ka sí ohun èlò DISCO). Ní ọjọ́ iwájú, bí ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ gígé lésà bá ń pọ̀ sí i, ìgé náà lè túbọ̀ sunwọ̀n sí i; ní àkókò kan náà, gígé lésà tún lè mú kí iṣẹ́ gígé náà sunwọ̀n sí i. Gẹ́gẹ́ bí ìwádìí ọjà, olórí ilé iṣẹ́ DISCO gígé ...
Àwọn ìgbésẹ̀ ìlànà ìgé wáyà ìbílẹ̀ ti àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé carbide silicon ni: yíyan wáyà-yíyan-yíyan-yíyan-yíyan àti yíyan-yíyan. Lẹ́yìn tí ìlànà yíyan lésà bá rọ́pò yíyan wáyà, a máa ń lo ìlànà yíyan-yíyan láti rọ́pò ìlànà yíyan-yíyan, èyí tí ó máa ń dín pípadánù àwọn géèsì kù, tí ó sì máa ń mú kí iṣẹ́ ṣíṣe sunwọ̀n sí i. Ìlànà yíyan lésà ti yíyan, yíyan-yíyan àti yíyan-yíyan àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé carbide silicon ni a pín sí àwọn ìgbésẹ̀ mẹ́ta: yíyan-yí ...
Ilana gige lesa silikoni carbide
2. Ilọsiwaju kariaye ninu imọ-ẹrọ gige ina lesa ati awọn ile-iṣẹ ti o kopa ninu ile-iṣẹ naa
Àwọn ilé iṣẹ́ òkèèrè ló kọ́kọ́ gba ìlànà yíyọ laser kúrò: Ní ọdún 2016, DISCO ti Japan ṣe àgbékalẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ yíyọ laser tuntun KABRA, èyí tí ó ṣe ìpele ìyàsọ́tọ̀ kan tí ó sì ya àwọn wafers sọ́tọ̀ ní ìjìnlẹ̀ pàtó kan nípa fífi laser sí ingot nígbà gbogbo, èyí tí a lè lò fún onírúurú ingots SiC. Ní oṣù kọkànlá ọdún 2018, Infineon Technologies ra Siltectra GmbH, ilé iṣẹ́ yíyọ wafer, fún 124 mílíọ̀nù yuroopu. Èyí tó kẹ́yìn ṣe àgbékalẹ̀ ìlànà Cold Split, èyí tí ó ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ laser tí a fọwọ́ sí láti ṣàlàyé ibi tí a ti pín in, láti fi bo àwọn ohun èlò polymer pàtàkì, láti fi ìdààmú ìtútù sí ètò ìdarí, láti pín àwọn ohun èlò náà ní ọ̀nà tí ó tọ́, àti láti lọ̀ wọ́n kí wọ́n sì mọ́ tónítóní láti ṣe àṣeyọrí yíyọ wafer.
Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, àwọn ilé-iṣẹ́ kan ní orílẹ̀-èdè náà ti wọ inú iṣẹ́ ẹ̀rọ ìgé lésà: àwọn ilé-iṣẹ́ pàtàkì ni Han's Laser, Delong Laser, West Lake Instrument, Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation àti Institute of Semiconductors of the Chinese Academy of Sciences. Lára wọn, àwọn ilé-iṣẹ́ tí a kọ orúkọ wọn sí Han's Laser àti Delong Laser ti wà ní ìṣètò fún ìgbà pípẹ́, àwọn oníbàárà sì ń fìdí àwọn ọjà wọn múlẹ̀, ṣùgbọ́n ilé-iṣẹ́ náà ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ọjà, àti pé ẹ̀rọ ìgé lésà jẹ́ ọ̀kan lára àwọn iṣẹ́ wọn. Àwọn ọjà àwọn ìràwọ̀ tí ń gòkè bíi West Lake Instrument ti dé ọ̀dọ̀ àwọn ènìyàn tí wọ́n ń kó ọjà lọ; Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation 2, Institute of Semiconductors of the Chinese Academy of Sciences àti àwọn ilé-iṣẹ́ mìíràn tún ti ṣe àgbékalẹ̀ ìlọsíwájú ẹ̀rọ.
3. Àwọn ohun tó ń fa ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdènà lésà àti ìyípadà ọjà
Ìdínkù owó àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé silicon carbide oní inṣi 6 ń mú kí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé laser stripping pọ̀ sí i: Lọ́wọ́lọ́wọ́, iye owó àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé silicon carbide oní inṣi 6 ti lọ sílẹ̀ sí iye yuan 4,000/ẹyọ kan, èyí sì ń sún mọ́ iye owó tí àwọn olùṣe kan ń ná. Ìlànà ìtẹ̀wé laser ní ìwọ̀n èso gíga àti èrè tó lágbára, èyí tó ń mú kí ìwọ̀n ìtẹ̀wé ti ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé laser pọ̀ sí i.
Fífẹ́ẹ́ àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé carbide silicon inṣi 8 ló ń mú kí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé laser stripping pọ̀ sí i: Ìwọ̀n àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé carbide silicon inṣi 8 tó ní ìwọ̀n 500um lọ́wọ́lọ́wọ́, ó sì ń dàgbà sí i ní ìwọ̀n 350um. Ìlànà gígé wáyà kò gbéṣẹ́ nínú ṣíṣe ohun èlò carbide silicon inṣi 8 (ilẹ̀ ohun èlò náà kò dára), àti pé àwọn ìwọ̀n BOW àti WARP ti bàjẹ́ gidigidi. Wọ́n kà ìtẹ̀wé laser sí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé tó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe ohun èlò carbide silicon 350um, èyí tó ń mú kí ìwọ̀n ìtẹ̀wé laser stripping pọ̀ sí i.
Àwọn ohun tí a retí nípa ọjà: Àwọn ohun èlò SiC substrate laser stripping ń jàǹfààní láti inú ìfẹ̀sí SiC inṣi 8 àti ìdínkù owó SiC inṣi 6. Kókó pàtàkì tí ilé iṣẹ́ náà ń fẹ́rẹ̀ dé, àti pé ìdàgbàsókè ilé iṣẹ́ náà yóò yára sí i.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-08-2024