Силицијум карбид SiC дифузиона процесна цев

Силицијум карбид SiC дифузиона процесна цев

Цеви за дифузиону пећ од силицијум-карбидасу кључне компоненте које се користе у полупроводничкој, високотемпературној термичкој обради и процесима припреме материјала. Првенствено се користе као носач и реакциона комора за дифузионе пећи или оксидационе пећи, изводећи процесе као што су атмосферска реакција, оксидација, дифузија и жарење у високотемпературним, веома корозивним срединама.
ВЕТ Енерџи је специјализован за пројектовање и производњу цеви од силицијум-карбида (SiC) за примене у полупроводницима на високим температурама и у корозивним условима. Са напредним производним погонима и сопственим CVD и синтеровањем, испоручујемо цеви које се одликују одличном термичком стабилношћу, отпорношћу на оксидацију и дугим веком трајања.

Предности SiC цеви компаније VET Energy:

Ултра висока чистоћа:Произведено посебним поступком синтеровања, штетне металне нечистоће (као што су Na, K, Fe и Al) су смањене на ниво ppb.
Изузетно ниско испуштање гасова:У окружењима високе температуре и високог вакуума, испуштање гасова је далеко ниже него код кварца, што ефикасно спречава контаминацију процесне коморе, обезбеђује суштински квалитет депонованих танких филмова или раста кристала и значајно побољшава принос производа (посебно критично за SiC епитаксију, раст GaN и производњу висококвалитетних монокристалних силицијума).
Стабилност на високим температурама:Дуготрајне радне температуре које прелазе 1600°C (знатно изнад тачке омекшавања кварца, приближно 1200°C) су могуће, а краткотрајне температуре могу издржати чак и више температуре (као што је 1800°C), испуњавајући захтеве за ултра-високе температуре полупроводника треће генерације и процеса раста кристала.
Отпорност на хемијску корозију:Веома отпоран на јако корозивне гасове као што су HCl, Cl₂ и HF, као и на растопљени силицијум и металне паре, одржавајући структурни интегритет и површинску обраду у сложеним атмосферама као што су CVD, дифузија, оксидација и нагризање, са веком трајања који далеко превазилази век трајања кварцних пећи.
Одлична топлотна проводљивост:Његова топлотна проводљивост је десетине пута већа од кварцне, што омогућава бржу и равномернију расподелу температуре пећи и побољшава униформност и поновљивост процеса. Ово је посебно критично за обраду вишеструких плочица велике површине (нпр. фотонапонске дифузионе пећи и MOCVD реактори).
Димензионална стабилност:Његов изузетно низак коефицијент термичког ширења осигурава да цев пећи одржава веома стабилну геометрију чак и када је изложена поновљеним и драстичним температурним флуктуацијама, спречавајући квар заптивача или концентрацију напона узроковану термичким ширењем и скупљањем.
Трајност:Његова висока тврдоћа и чврстоћа дају цеви пећи одлична механичка својства, чинећи је отпорном на деформације и оштећења.

Типична примена:

Производња полупроводника:SiC/GaN епитаксијални раст (MOCVD, HTCNVD), епитаксија на бази силицијума, дифузија/оксидација/жарење на високим температурама (RTP) и LPCVD.

Фотонапонска индустрија:Дифузија на високим температурама (дифузија фосфора/бора) и жарење кристалних силицијумских соларних ћелија.