Bahagi at Pag-assemble ng SiC Coated Graphite Half Moon Para sa SiC Epitaxy

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng mga pangunahing bahagi ng silicon carbide epitaxial furnaces. Ang aming half moon assembly ay gumagamit ng high-purity graphite na sinamahan ng advanced na teknolohiya ng CVD coating. Ito ay dinisenyo para sa mga kapaligirang epitaxial na may mataas na temperatura at mataas na kinakaing unti-unti. Ang high-purity graphite ay nagbibigay sa bahagi ng mahusay na resistensya sa mataas na temperatura (>1600℃) at thermal stability, na tinitiyak ang pagkakapareho ng thermal field; ang CVD coating ay bumubuo ng isang siksik na proteksiyon na layer sa ibabaw sa pamamagitan ng teknolohiyang CVD, na makabuluhang nagpapabuti sa mga katangiang anti-oxidation at anti-etching, at nagpapahaba sa buhay ng serbisyo nang higit sa 3 beses.

Materyal:Grapayt na may mataas na kadalisayan

Paggamot:Patong na CVD-SiC o CVD-TaC

Pagpapasadya:Magagamit

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Bahagi ng Halfmoon na Pinahiran ng SiC na Graphiteay isang mahalagang bahagi na ginagamit sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na para sa mga kagamitang epitaxial na SiC. Ang disenyo ng istruktura at mga katangian ng materyal nito ay direktang tumutukoy sa kalidad at kahusayan sa produksyon ng mga epitaxial wafer.

Konstruksyon ng silid ng reaksyon:
Ang bahaging kalahating buwan ay binubuo ng dalawang bahagi, ang pang-itaas at pang-ibabang bahagi, na magkakaugnay upang bumuo ng isang saradong silid ng paglaki, na siyang naglalaman ng silicon carbide substrate (karaniwan ay 4H-SiC o 6H-SiC) at nakakamit ang paglaki ng epitaxial layer sa pamamagitan ng tumpak na pagkontrol sa field ng daloy ng gas (tulad ng pinaghalong SiH₄, C₃H₈, at H₂).
Regulasyon ng temperatura sa larangan:
Ang high-purity graphite base na sinamahan ng induction heating coil ay kayang mapanatili ang pagkakapareho ng temperatura ng silid (sa loob ng ±5°C) sa mataas na temperatura na 1500-1700°C upang matiyak ang pagkakapare-pareho ng kapal ng epitaxial layer.
Gabay sa daloy ng hangin:
Sa pamamagitan ng pagdidisenyo ng posisyon ng pasukan at labasan ng hangin (tulad ng pasukan sa gilid at labasan sa itaas ng pahalang na katawan ng pugon), ang laminar flow ng reaction gas ay ginagabayan sa ibabaw ng substrate upang mabawasan ang mga depekto sa paglaki na dulot ng turbulence.

Batayang materyal: grapayt na may mataas na kadalisayan
Mga kinakailangan sa kadalisayan:nilalaman ng carbon ≥99.99%, nilalaman ng abo ≤5ppm, upang matiyak na walang mga dumi na naipon na makakahawa sa epitaxial layer sa mataas na temperatura.
Mga kalamangan sa pagganap:
Mataas na kondaktibiti ng init:Ang thermal conductivity sa temperatura ng silid ay umaabot sa 150W/(m・K), na malapit sa antas ng tanso at maaaring mabilis na maglipat ng init.
Mababang koepisyent ng pagpapalawak:5×10^-6/℃ (25-1000℃), na tumutugma sa silicon carbide substrate (4.2×10^-6/℃), binabawasan ang pagbibitak ng patong na dulot ng thermal stress.
Katumpakan sa pagproseso:Nakakamit ang dimensional tolerance na ±0.05mm sa pamamagitan ng CNC machining upang matiyak ang pagbubuklod ng chamber.

Mga magkakaibang aplikasyon ng CVD SiC at CVD TaC

Patong	Proseso	Paghahambing	Karaniwang aplikasyon
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Presyon: 10-100 Torr	Katigasan HV2500, kapal 50-100um, mahusay na resistensya sa oksihenasyon (matatag sa ibaba 1600℃)	Mga pangkalahatang epitaxial furnace, na angkop para sa mga kumbensyonal na atmospera tulad ng hydrogen at silane
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Presyon: 1-10 Torr	Katigasan HV3000, kapal 20-50um, lubos na lumalaban sa kalawang (kayang tiisin ang mga kinakaing unti-unting gas tulad ng HCl, NH₃, atbp.)	Mga kapaligirang lubos na kinakaing unti-unti (tulad ng GaN epitaxy at kagamitan sa pag-ukit), o mga espesyal na prosesong nangangailangan ng napakataas na temperatura na 2600°C

Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na nakatuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang material treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.

Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Kabilang sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Kompetitibong presyo at mabilis na oras ng paghahatid;
• Maraming pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;

Malugod ka naming inaanyayahan na bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!