CVD kaplamalı odak halkası

Kısa Açıklama:

Plazma aşındırma için CVD kaplama odak halkası, gelişmiş aşındırma sistemlerinde plazma dağılımını optimize etmek ve aşındırma homojenliğini iyileştirmek için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta CVD SiC kaplama ile birleştirilmiş sağlam bir Si veya SiC alt tabakasına sahip olan bu halka, üstün plazma direnci, ultra düşük parçacık oluşumu ve uzun hizmet ömrü sunar. ICP ve CCP plazma aşındırma işlemlerinde yaygın olarak kullanılan bu odak halkası, kenar etkilerini etkili bir şekilde en aza indirir, iyon davranışını stabilize eder ve hazne bileşenlerini aşınma ve kirlenmeden korur. Gelişmiş yarı iletken üretiminde yüksek verim ve işlem tutarlılığı elde etmek için vazgeçilmez bir sarf malzemesidir.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Plazma aşındırma için CVD kaplama odak halkası, gelişmiş yarı iletken aşındırma sistemlerinde kullanılan kritik bir sarf malzemesidir. Substrat + CVD kaplama kompozit yapısıyla tasarlanan bu ürün, plazma dağılımını optimize etmek, aşındırma homojenliğini iyileştirmek ve hazne bileşenlerinin ömrünü uzatmak için geliştirilmiştir.

Vet Energy'de, kimyasal buhar biriktirme (CVD) teknolojisi ve gelişmiş seramik malzemeler alanındaki derin uzmanlığımızdan yararlanarak, FinFET ve 3D NAND süreçleri de dahil olmak üzere modern yarı iletken düğümlerinin katı gereksinimlerini karşılayan odak halkaları üretiyoruz.

Plazma Aşındırmada Odak Halkasının Rolü

Plazma aşındırma sistemlerinde (ICP ve CCP reaktörleri gibi), odak halkası plakanın kenarına yerleştirilir ve işlem kararlılığı ve verim performansında hayati bir rol oynar.

1. Plazma Homojenliği Kontrolü

Odak halkası, plaka yüzeyindeki plazma yoğunluğu dağılımını düzenlemeye yardımcı olan elektriksel ve fiziksel bir sınır görevi görür.

Başlıca faydaları:

● Aşındırma hızı homojenliğinde iyileşme
● Merkezden kenara doğru varyasyonun azalması
● Geliştirilmiş süreç tekrarlanabilirliği

2. Kenar Etkisi Telafisi

Odak halkası olmadan, plaka kenarındaki plazma kılıfı bozulması, düzensiz aşındırmaya yol açabilir.

Odak halkası, kenar kaynaklı anormallikleri en aza indirgeyerek etkili bir şekilde "sanal gofret uzantısı" görevi görür; bunlar arasında şunlar yer alır:

● Yonga levhası kenarlarında aşırı aşındırma
● Kritik boyut (CD) sapması
● Profil bozulması

3. İyon Yörüngesi ve Enerji Kontrolü

Odak halkası, yerel elektrik alanını etkileyerek iyonların geliş açılarını ve enerji dağılımını stabilize etmeye yardımcı olur; bu da aşağıdakiler için çok önemlidir:

● Yüksek en boy oranlı (HAR) gravür
● Anizotropik profil kontrolü
● Yan duvar hasarının azalması