Вафли эшкәртү өчен югары чисталыклы кварц көймәсе

Кварц вафли көймәсеярымүткәргечләр җитештерүдә, фотоэлектрик элементлар җитештерүдә һәм алдынгы материалларны тикшерү һәм эшләүдә төп йөртү коралы булып тора, югары температуралы процессларда пластиналарны тотрыклы күчерү һәм урнаштыру өчен эшләнгән. Бу продукт югары чисталыктагы эретелгән кремний диоксидыннан (SiO2) ясалган, температурага чыдамлыгы, химик тотрыклылыгы һәм металл пычрануының бик түбән үзенчәлекләре белән аерылып тора, диффузия миче, оксидлашу миче, PECVD/LPCVD һәм башка җиһазлар өчен яраклы, пластиналарны каплауда, ион имплантациясендә, югары температурада җылытуда һәм башка үзәк процессларда киң кулланыла.

VET Energy кварц көймәсенең төп өстенлекләре:

• Бик югары сафлыклы материал
  Сафлык ≥99.99%: Пычраклык күләме (Na, K, Fe һ.б.) <5ppm, пластина пычрануын булдырмый һәм вак кисәкләрнең чыгуын гарантияли.
  Түбән явым-төшем һәм адсорбция: кисәкчәләрнең адгезиясен һәм газ калдыкларын киметү өчен өслек супер-шлифовкаланган (Ra≤0.4μm).
• Югары температура тотрыклылыгы
  Температура чиге: Озак вакытлы эш температурасы 1100℃, кыска вакытлы пик 1300℃, деформация юк, кристалл явым-төшем юк.
  Түбән җылылык киңәю коэффициенты (5.5x10-7/℃), җылылык бәрелүләренә бик чыдам, температураның тиз күтәрелүенә һәм төшүенә җайлаша (мәсәлән, RTP тиз яндыру).
• Төгәл структура дизайны
  Уя төгәллеге ± 0,1 мм: 2 дюймнан 12 дюймга кадәр пластиналарны туры китерү, ара тигезлеге хатасы <0,05 мм, пластиналарның тайпылышсыз булуын тәэмин итү.
  Югары йөк күтәрүчәнлеге: Бер көймәдә максималь 50 пластина (12 дюймлы пластиналарга исәпләгәндә) сыя, бу нечкә пластиналарның тотрыклы күчерелүен тәэмин итә (≥100 мкм).
• Химик инертлык
  Коррозиягә чыдамлылык: кислотага (HFтан кала), селтегә һәм органик эреткечләргә чыдам, CMP чистарту процессы белән туры килә.
  Газ герметиклыгы бик яхшы: Агып чыгу тизлеге <5x10-10 Па м3/с, вакуум һәм саклагыч газ мохите өчен яраклы.
• Озак хезмәт итү һәм хезмәт күрсәтүчәнлек
  Гомер озынлыгы ≥ 5000 цикл (гадәти эш шартлары), өслекне кабат-кабат чистартып кулланырга мөмкин, бу гомуми чыгымнарны киметә.
  Модульле дизайн: өлешчә алыштыруны хуплый (мәсәлән, бер көймә тешле), эш вакытын киметә.

Без клиент таләпләренә туры китереп үтә күренмәле һәм бозлы өслекләр тәкъдим итәбез:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - югары технологияле алдынгы материаллар җитештерү һәм сатуга юнәлтелгән югары технологияле предприятие, ул графит, кремний карбиды, керамика, SiC каплавы, TaC каплавы, пыяла углерод каплавы, пиролитик углерод каплавы һ.б. кебек өслек эшкәртү материаллары һәм технологияләрен җитештерү һәм сатуга юнәлтелгән. Бу продуктлар фотоэлектрик, ярымүткәргечләр, яңа энергетика, металлургия һ.б. өлкәләрдә киң кулланыла.

Безнең техник команда алдынгы илкүләм тикшеренү институтларыннан килә һәм продуктның нәтиҗәлелеген һәм сыйфатын тәэмин итү өчен күп патентланган технологияләр эшләде, шулай ук ​​клиентларга профессиональ материал чишелешләре тәкъдим итә ала.