געוויסע אָרגאַנישע און נישט-אָרגאַנישע סובסטאַנצן זענען נויטיק צו באַטייליקן זיך אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע. דערצו, ווײַל דער פּראָצעס ווערט שטענדיק דורכגעפירט אין אַ ריינעם צימער מיט מענטשלעכער באַטייליקונג, האַלב-קאָנדוקטאָר...וועיפערסזענען אונפארמיידלעך פארפעסטיקט דורך פארשידענע אומריינקייטן.
לויט דער מקור און נאַטור פון די קאַנטאַמאַנאַנץ, קען מען זיי גראָב צעטיילט אין פיר קאַטעגאָריעס: פּאַרטיקלען, אָרגאַנישע מאַטעריע, מעטאַל יאָנען און אָקסיידן.
1. פּאַרטיקלען:
פּאַרטיקלען זענען דער הויפּט עטלעכע פּאָלימערן, פאָטאָרעזיסץ און עטשינג ימפּיוראַטיז.
אזעלכע קאַנטאַמאַנאַנץ פאַרלאָזן זיך געוויינטלעך אויף אינטערמאָלעקולאַרע כוחות צו אַדסאָרבירן אויף דער ייבערפלאַך פון די וועיפער, וואָס אַפעקטירט די פאָרמירונג פון געאָמעטרישע פיגורן און עלעקטרישע פּאַראַמעטערס פון די דעווייס פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס.
אזעלכע קאַנטאַמאַנאַנץ ווערן דער הויפּט אַוועקגענומען דורך ביסלעכווייַז רעדוצירן זייער קאָנטאַקט שטח מיט דער ייבערפלאַך פון דעםוועיפערדורך פיזישע אדער כעמישע מעטאדן.
2. אָרגאַנישע מאַטעריע:
די קוועלער פון אָרגאַנישע אומריינקייטן זענען רעלאַטיוו ברייט, אַזאַ ווי מענטשלעך הויט אויל, באַקטעריע, מאַשין אויל, וואַקוום גריס, פאָטאָרעזיסט, רייניקונג סאָלוואַנץ, אאז"ו ו.
אזעלכע קאַנטאַמאַנאַנץ שאַפֿן געוויינטלעך אַן אָרגאַנישן פֿילם אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון דער וועיפֿער צו פֿאַרהיטן אַז די רייניקונגס־פֿליסיקייט זאָל נישט דערגרייכן די ייבערפֿלאַך פֿון דער וועיפֿער, וואָס רעזולטירט אין אַן אומפֿולשטענדיקער רייניקונג פֿון דער וועיפֿער־ייבערפֿלאַך.
די באַזייַטיקונג פון אַזעלכע קאַנטאַמאַנאַנץ ווערט אָפט דורכגעפירט אין דעם ערשטן שריט פון דעם רייניקונג פּראָצעס, דער הויפּט ניצנדיק כעמישע מעטאָדן ווי שוועבל זויער און וואַסערשטאָף פּעראָקסייד.
3. מעטאַל יאָנען:
געוויינטלעכע מעטאַל פֿאַרפּעסטיקונגען אַרייַננעמען אייַזן, קופּער, אַלומינום, קראָום, גוס אייַזן, טיטאַניום, נאַטריום, קאַליום, ליטיום, אאז"וו. די הויפּט קוואלן זענען פֿאַרשידענע כלים, רערן, כעמישע רעאַגענטן, און מעטאַל פֿאַרפּעסטיקונג וואָס ווערט גענערירט ווען מעטאַל פֿאַרבינדונגען ווערן געשאַפֿן בעת פּראַסעסינג.
די סארט אומריינקייט ווערט אָפט אַוועקגענומען דורך כעמישע מעטאָדן דורך דער פאָרמירונג פון מעטאַל יאָן קאָמפּלעקסן.
4. אקסייד:
ווען האַלב-קאָנדוקטאָרוועיפערסזענען אויסגעשטעלט צו אן אומגעבונג וואס אנטהאלט זויערשטאף און וואסער, וועט זיך פארמירן א נאטירלעכע אקסייד שיכט אויף דער אויבערפלאך. די אקסייד פילם וועט שטערן אסאך פראצעסן אין האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע און אויך אנטהאלט געוויסע מעטאל אומריינקייטן. אונטער געוויסע באדינגונגען וועלן זיי פארמירן עלעקטרישע חסרונות.
די באַזייַטיקונג פון דעם אָקסייד פילם ווערט אָפט געענדיקט דורך ווייקן אין פארדיןטע הידראָפלואָריק זויער.
אַלגעמיינע רייניקונג סיקוואַנס
אומריינקייטן אַדסאָרבירט אויף דער ייבערפלאַך פון האַלב-קאָנדוקטאָרוועיפערסקען ווערן צעטיילט אין דריי טיפן: מאלעקולאר, יאניש און אטאמיש.
צווישן זיי, איז די אדסאָרפּציע קראַפט צווישן מאָלעקולאַרע אומריינקייטן און די ייבערפלאַך פון די וועיפערס שוואַך, און די טיפּ אומריינקייט פּאַרטיקלען איז לעפיערעך גרינג צו באַזייַטיקן. זיי זענען מערסטנס אָיליק אומריינקייטן מיט הידראָפאָבישע קעראַקטעריסטיקס, וואָס קענען צושטעלן מאַסקינג פֿאַר יאָנישע און אַטאָמישע אומריינקייטן וואָס קאַנטאַמאַנירן די ייבערפלאַך פון האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערס, וואָס איז נישט גינסטיק צו די באַזייַטיקונג פון די צוויי טייפּס פון אומריינקייטן. דעריבער, ווען כעמיש רייניקונג האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערס, זאָל מען ערשט באַזייַטיקן מאָלעקולאַרע אומריינקייטן.
דעריבער, די אַלגעמיינע פּראָצעדור פון האַלב-קאָנדוקטאָרוועיפעררייניקונג פּראָצעס איז:
דע-מאָלעקולאַריזאַציע-דעיאָניזאַציע-דע-אַטאָמיזאַציע-דעיאָניזירט וואַסער שווענקען.
דערצו, כּדי צו באַזײַטיקן די נאַטירלעכע אָקסייד שיכט אויף דער ייבערפלאַך פֿון דער וועיפֿער, דאַרף מען צולייגן אַ פֿאַרדיןטע אַמינאָ זויער אײַנווייקונג שריט. דעריבער, די געדאַנק פֿון רייניקונג איז ערשט צו באַזײַטיקן אָרגאַנישע קאָנטאַמינאַציע אויף דער ייבערפלאַך; דערנאָך אויפֿלעזן די אָקסייד שיכט; צום סוף באַזײַטיקן פּאַרטיקלען און מעטאַל קאָנטאַמינאַציע, און פּאַסיווירן די ייבערפלאַך אין דער זעלבער צײַט.
געוויינטלעכע רייניקונג מעטאָדן
כעמישע מעטאָדן ווערן אָפט גענוצט פֿאַר רייניקונג האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערס.
כעמישע רייניקונג באציט זיך צו דעם פּראָצעס פון ניצן פֿאַרשידענע כעמישע רעאַגענטן און אָרגאַנישע סאָלווענטן צו רעאַגירן אָדער צעלאָזן אומריינקייטן און בוימל פֿלעקן אויף דער ייבערפלאַך פֿון דער ווייפֿער צו דעסאָרבירן אומריינקייטן, און דערנאָך שווענקען מיט אַ גרויסער מאָס הויך-ריינקייט הייס און קאַלט דעיאָניזירט וואַסער צו באַקומען אַ ריינע ייבערפלאַך.
כעמישע רייניקונג קען מען צוטיילן אין נאַסע כעמישע רייניקונג און טרוקענע כעמישע רייניקונג, צווישן וועלכע נאַסע כעמישע רייניקונג איז נאָך דאָמינאַנט.
נאַסע כעמישע רייניקונג
1. נאַסע כעמישע רייניקונג:
נאַסע כעמישע רייניקונג דער הויפּט כולל לייזונג טונקען, מעטשאַניקאַל סקראַבינג, אַלטראַסאַניק רייניקונג, מעגאַסאָניק רייניקונג, ראָטאַרי ספּרייינג, עטק.
2. לייזונג איינטונקען:
לייזונג-אינטערזיכערונג איז א מעטאד פון אראפנעמען אייבערפלאך-פארפעסטיקונג דורך אריינטונקען דעם וועיפער אין א כעמישע לייזונג. דאס איז די מערסט גענוצטע מעטאד אין נאסער כעמישע רייניקונג. פארשידענע לייזונגען קענען גענוצט ווערן צו אראפנעמען פארשידענע סארטן פארפעסטיקונגען אויף דער אייבערפלאך פון דעם וועיפער.
געוויינטלעך, קען די מעטאָדע נישט אינגאנצן אַוועקנעמען די אומריינקייטן אויף דער ייבערפלאַך פון די וועיפער, אַזוי פיזישע מיטלען ווי הייצן, אולטראַסאַונד און מישן ווערן אָפט גענוצט בשעתן איינטונקען.
3. מעכאנישע סקראַבינג:
מעכאנישע סקראַבינג ווערט אָפט גענוצט צו באַזייַטיקן פּאַרטיקלען אָדער אָרגאַנישע רעשטלעך אויף דער ייבערפלאַך פון די ווייפער. עס קען בכלל ווערן צעטיילט אין צוויי מעטאָדן:מאַנועלע סקראַבינג און סקראַבינג דורך אַ ווישער.
מאַנועלע סקראַבינגאיז די פשוטסטע שרויבן מעטאָדע. מען ניצט אַ באַרשט פון נישט-ראַסטיקן שטאָל צו האַלטן אַ באַל וואָס איז געווייקט אין אַנהידראָוס עטאַנאָל אָדער אַנדערע אָרגאַנישע סאָלווענטן און לייכט רייַבן די ייבערפלאַך פון די וועיפער אין דער זעלבער ריכטונג צו באַזייַטיקן וואַקס פילם, שטויב, רעשטלעך פון קליי אָדער אַנדערע האַרטע פּאַרטיקלען. די מעטאָדע איז גרינג צו פאַרשאַפן קראַצן און ערנסטע פאַרפּעסטיקונג.
דער ווישער ניצט מעכאנישע ראָטאַציע צו רייבן די ייבערפלאַך פון דער וועיפער מיט אַ ווייכער וואָל באַרשט אָדער אַ געמישטער באַרשט. די מעטאָדע רעדוצירט שטאַרק די קראַצן אויף דער וועיפער. דער הויך-דרוק ווישער וועט נישט קראַצן די וועיפער צוליב דעם מאַנגל פון מעכאנישער רייַבונג, און קען אַוועקנעמען די קאַנטאַמאַניישאַן אין דער גרוב.
4. אולטראַסאָניק רייניקונג:
אולטראַסאָניק רייניקונג איז אַ רייניקונג מעטאָדע וואָס ווערט ברייט געניצט אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע. אירע מעלות זענען גוטע רייניקונג ווירקונג, פּשוטע אָפּעראַציע, און קען אויך רייניקן קאָמפּליצירטע דעוויסעס און קאַנטיינערז.
די רייניקונג מעטאָדע איז אונטער דער אַקציע פון שטאַרקע אַלטראַסאַניק כוואַליעס (די געוויינטלעך גענוצטע אַלטראַסאַניק פרעקווענץ איז 20s40kHz), און דין און דיקע טיילן וועלן ווערן געשאַפֿן אינעווייניק פון דער פליסיקער מעדיום. דער דין טייל וועט פּראָדוצירן אַ כּמעט וואַקוום קאַוואַטי בלאָז. ווען די קאַוואַטי בלאָז פֿאַרשווינדט, וועט אַ שטאַרקער לאָקאַלער דרוק ווערן געשאַפֿן לעבן איר, וואָס צעברעכט די כעמישע פֿאַרבינדונגען אין די מאָלעקולן צו צעלאָזן די פֿאַרפּעסטיקונגען אויף דער ווייפער ייבערפלאַך. אַלטראַסאַניק רייניקונג איז מערסט עפֿעקטיוו פֿאַר אַוועקנעמען נישט-לעזלעכע אָדער נישט-לעזלעכע פֿלוס רעשטלעך.
5. מעגאַסאָניק רייניקונג:
מעגאַסאָניק רייניקונג האט נישט נאָר די מעלות פון אַלטראַסאַניק רייניקונג, אָבער אויך באַזיגט זייַנע חסרונות.
מעגאַסאָניק רייניקונג איז אַ מעטאָדע פון רייניקונג וועיפערס דורך קאַמביינינג די הויך-ענערגיע (850kHz) פרעקווענץ וויבריישאַן ווירקונג מיט די כעמישער רעאַקציע פון כעמישע רייניקונג אגענטן. בעשאַס רייניקונג, די לייזונג מאַלאַקיולז זענען אַקסעלערייטיד דורך די מעגאַסאָניק כוואַליע (די מאַקסימום אינסטאַנטאַנענט גיכקייַט קענען דערגרייכן 30cmVs), און די הויך-גיכקייַט פליסיק כוואַליע קאַנטיניואַסלי ימפּאַקטיז די ייבערפלאַך פון די וועיפער, אַזוי אַז די פּאַלוטאַנץ און פייַן פּאַרטיקאַלז אַטאַטשט צו די ייבערפלאַך פון די וועיפער זענען געצוואונגען אַוועקגענומען און אַרייַן די רייניקונג לייזונג. צוגעבן זויער סורפאַקטאַנץ צו די רייניקונג לייזונג, אויף די איין האַנט, קענען דערגרייכן די ציל פון רימוווינג פּאַרטיקאַלז און אָרגאַניק מאַטעריע אויף די פּאַלישינג ייבערפלאַך דורך די אַדסאָרפּטיאָן פון סורפאַקטאַנץ; אויף די אנדערע האַנט, דורך די ינטאַגריישאַן פון סורפאַקטאַנץ און זויער סוויווע, עס קענען דערגרייכן די ציל פון רימוווינג מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן אויף די ייבערפלאַך פון די פּאַלישינג בויגן. דעם אופֿן קענען סיימאַלטייניאַסלי שפּילן די ראָלע פון מעכאַניש ווישן און כעמיש רייניקונג.
איצט איז די מעגאַסאָניק רייניקונג מעטאָדע געוואָרן אַן עפעקטיווער מעטאָדע פֿאַר רייניקונג פון פּאָליר-בלעטער.
6. ראָטאַרי שפּריץ מעטאָד:
די ראָטאַרי שפּריץ מעטאָדע איז אַ מעטאָדע וואָס ניצט מעכאַנישע מעטאָדן צו דרייען דעם וועיפער מיט אַ הויכער גיכקייט, און שפּריצט קאַנטיניואַסלי פליסיקייט (הויך-ריינקייט דעיאָניזירט וואַסער אָדער אַנדערע רייניקונג פליסיקייט) אויף דער ייבערפלאַך פון דעם וועיפער בעת דעם ראָטאַציע פּראָצעס צו באַזייַטיקן אומריינקייטן אויף דער ייבערפלאַך פון דעם וועיפער.
די מעטאָדע ניצט די קאַנטאַמאַניישאַן אויף דער ייבערפלאַך פון די וועיפער צו צעלאָזן זיך אין דער שפּריצער פליסיקייט (אָדער כעמיש רעאַגירן מיט איר צו צעלאָזן זיך), און ניצט דעם צענטריפוגאַל ווירקונג פון הויך-גיכקייַט ראָטאַציע צו מאַכן די פליסיקייט וואָס כּולל אומריינקייטן זיך אפגעזונדערט פון דער ייבערפלאַך פון די וועיפער אין צייט.
די ראָטאַציע שפּריץ מעטאָדע האט די מעלות פון כעמישע רייניקונג, פליסיק מעכאַניק רייניקונג, און הויך-דרוק סקראַבינג. אין דער זעלבער צייט, קען מען אויך קאָמבינירן דעם מעטאָדע מיטן טריקעניש פּראָצעס. נאָך אַ פּעריאָד פון דעיאָניזירט וואַסער שפּריץ רייניקונג, ווערט דער וואַסער שפּריץ אָפּגעשטעלט און מען ניצט אַ שפּריץ גאַז. אין דער זעלבער צייט, קען מען פאַרגרעסערן די ראָטאַציע גיכקייט צו פאַרגרעסערן די צענטריפוגאַל קראַפט צו שנעל דעכידראַטירן די ייבערפלאַך פון די ווייפער.
7.טרוקן כעמישע רייניקונג
טרוקן רייניקונג באציט זיך צו רייניקונג טעכנאָלאָגיע וואָס ניצט נישט לייזונגען.
די טרוקן רייניקונג טעכנאָלאָגיעס וואָס ווערן איצט גענוצט אַרייַננעמען: פּלאַזמע רייניקונג טעכנאָלאָגיע, גאַז פאַזע רייניקונג טעכנאָלאָגיע, שטראַל רייניקונג טעכנאָלאָגיע, אאז"וו.
די מעלות פון טרוקן רייניקונג זענען א פשוטער פּראָצעס און קיין סביבה פאַרפּעסטיקונג, אָבער די קאָסטן איז הויך און דער פאַרנעם פון נוצן איז נישט גרויס פֿאַר דער צייט.
1. פּלאַזמע רייניקונג טעכנאָלאָגיע:
פלאזמע רייניקונג ווערט אָפט גענוצט אין דעם פאָטאָרעזיסט באַזייַטיקונג פּראָצעס. א קליינע מאָס זויערשטאָף ווערט אריינגעפירט אין דעם פלאזמע רעאַקציע סיסטעם. אונטער דער אַקציע פון אַ שטאַרקן עלעקטרישן פעלד, דזשענערירט דער זויערשטאָף פלאזמע, וואָס אָקסידירט שנעל דעם פאָטאָרעזיסט אין אַ וואָלאַטיל גאַז צושטאַנד און ווערט עקסטראַקטירט.
די רייניקונג טעכנאָלאָגיע האט די מעלות פון גרינג אָפּעראַציע, הויך עפעקטיווקייט, ריין ייבערפלאַך, קיין קראַצן, און איז גינסטיק צו ענשור פּראָדוקט קוואַליטעט אין די דעגומינג פּראָצעס. דערצו, עס ניצט נישט קיין זויערן, אַלקאַליס און אָרגאַנישע סאָלווענטן, און עס זענען קיין פּראָבלעמען אַזאַ ווי וויסט באַזייַטיקונג און ענווייראָנמענטאַל פאַרפּעסטיקונג. דעריבער, עס איז ינקריסינגלי ווערטפול דורך מענטשן. אָבער, עס קען נישט באַזייַטיקן טשאַד און אנדערע ניט-פליכט מעטאַל אָדער מעטאַל אָקסייד ימפּיוראַטיז.
2. גאז פאזע רייניקונג טעכנאלאגיע:
גאז-פאזע רייניקונג באציט זיך צו א רייניקונג מעטאד וואס ניצט דעם גאז-פאזע עקוויוואלענט פון דער קארעספאנדירנדיקער סובסטאנץ אין דעם פליסיגן פראצעס צו אינטעראקטירן מיט דער קאנטאמינירטער סובסטאנץ אויף דער ייבערפלאך פון דער וועיפער כדי צו דערגרייכן דעם צוועק פון אראפנעמען אומריינקייטן.
למשל, אין דעם CMOS פּראָצעס, ניצט די וועיפער רייניקונג די אינטעראַקציע צווישן גאַז פאַזע HF און וואַסער פארע צו באַזייַטיקן אָקסיידן. געוויינטלעך, מוז דער HF פּראָצעס וואָס כּולל וואַסער זיין באַגלייט דורך אַ פּאַרטיקל באַזייַטיקונג פּראָצעס, בשעת די נוצן פון גאַז פאַזע HF רייניקונג טעכנאָלאָגיע ריקווייערז נישט אַ סאַבסאַקוואַנט פּאַרטיקל באַזייַטיקונג פּראָצעס.
די וויכטיגסטע מעלות קאַמפּערד צו די וואַסעריק HF פּראָצעס זענען פיל קלענערער HF כעמישע קאַנסאַמשאַן און העכער רייניקונג עפעקטיווקייַט.
באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער דער וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייטערדיקע דיסקוסיע!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
פּאָסט צייט: 13טן אויגוסט 2024