ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງການປົນເປື້ອນ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດຂອງເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ

ສານອິນຊີ ແລະ ອະນິນຊີບາງຊະນິດແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນເພື່ອເຂົ້າຮ່ວມໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກຂະບວນການດັ່ງກ່າວແມ່ນດຳເນີນຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດດ້ວຍການມີສ່ວນຮ່ວມຂອງມະນຸດສະເໝີ, ເຄິ່ງຕົວນຳເວເຟີແມ່ນຖືກປົນເປື້ອນດ້ວຍສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່າງໆຢ່າງຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້.

ອີງຕາມແຫຼ່ງທີ່ມາ ແລະ ລັກສະນະຂອງສານປົນເປື້ອນ, ພວກມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນສີ່ປະເພດຄື: ອະນຸພາກ, ສານອິນຊີ, ໄອອອນໂລຫະ ແລະ ອົກໄຊດ໌.

 

1. ອະນຸພາກ:

ອະນຸພາກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໂພລີເມີບາງຊະນິດ, ສານຕ້ານທານແສງ ແລະ ສິ່ງເຈືອປົນທີ່ກັດກ່ອນ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນດັ່ງກ່າວມັກຈະອາໄສແຮງລະຫວ່າງໂມເລກຸນເພື່ອດູດຊຶມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການສ້າງຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດ ແລະ ພາລາມິເຕີທາງໄຟຟ້າຂອງຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງຂອງອຸປະກອນ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນດັ່ງກ່າວສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກກຳຈັດອອກໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນພື້ນທີ່ສຳຜັດກັບພື້ນຜິວຂອງເວເຟີໂດຍວິທີການທາງກາຍະພາບ ຫຼື ທາງເຄມີ.

 

2. ສານອິນຊີ:

ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງສິ່ງເຈືອປົນອິນຊີແມ່ນຂ້ອນຂ້າງກວ້າງຂວາງ, ເຊັ່ນ: ນ້ຳມັນຜິວໜັງຂອງມະນຸດ, ເຊື້ອແບັກທີເຣຍ, ນ້ຳມັນເຄື່ອງ, ນ້ຳມັນເຄື່ອງສູນຍາກາດ, ສານຕ້ານແສງ, ຕົວລະລາຍທຳຄວາມສະອາດ, ແລະອື່ນໆ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນດັ່ງກ່າວມັກຈະສ້າງເປັນຟິມອິນຊີຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ນ້ຳຢາທຳຄວາມສະອາດໄປເຖິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີທຳຄວາມສະອາດບໍ່ສົມບູນ.

ການກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນດັ່ງກ່າວມັກຈະຖືກປະຕິບັດໃນຂັ້ນຕອນທຳອິດຂອງຂະບວນການທຳຄວາມສະອາດ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ວິທີທາງເຄມີເຊັ່ນ: ກົດຊູນຟູຣິກ ແລະ ໄຮໂດຣເຈນເປີອອກໄຊ.

 

3. ໄອອອນໂລຫະ:

ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະທົ່ວໄປປະກອບມີທາດເຫຼັກ, ທອງແດງ, ອາລູມິນຽມ, ໂຄຣມຽມ, ເຫຼັກຫລໍ່, ທາດໄທທານຽມ, ໂຊດຽມ, ໂພແທດຊຽມ, ລີທຽມ, ແລະອື່ນໆ. ແຫຼ່ງຕົ້ນຕໍແມ່ນເຄື່ອງໃຊ້ຕ່າງໆ, ທໍ່, ສານເຄມີ, ແລະມົນລະພິດໂລຫະທີ່ເກີດຂຶ້ນເມື່ອການເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນປະເພດນີ້ມັກຖືກກຳຈັດອອກໂດຍວິທີທາງເຄມີໂດຍຜ່ານການສ້າງສະລັບສັບຊ້ອນໄອອອນໂລຫະ.

 

4. ອົກໄຊດ໌:

ເມື່ອເຄິ່ງຕົວນຳເວເຟີຖ້າອຸປະກອນຖືກສຳຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອົກຊີເຈນ ແລະ ນໍ້າ, ຊັ້ນອົກໄຊດ໌ທຳມະຊາດຈະປະກົດຂຶ້ນເທິງໜ້າດິນ. ຟິມອົກໄຊດ໌ນີ້ຈະເປັນອຸປະສັກຕໍ່ຂະບວນການຫຼາຍຢ່າງໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຍັງມີໂລຫະທີ່ບໍ່ບໍລິສຸດບາງຊະນິດ. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂບາງຢ່າງ, ພວກມັນຈະສ້າງຂໍ້ບົກຜ່ອງທາງໄຟຟ້າ.

ການກຳຈັດຟິມອົກໄຊນີ້ມັກຈະສຳເລັດໂດຍການແຊ່ນ້ຳໃນກົດໄຮໂດຣຟລູອໍຣິກທີ່ເຈືອຈາງ.

 

ລຳດັບການທຳຄວາມສະອາດທົ່ວໄປ

ສິ່ງເຈືອປົນທີ່ດູດຊຶມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງເຄິ່ງຕົວນຳເວເຟີສາມາດແບ່ງອອກເປັນສາມປະເພດຄື: ໂມເລກຸນ, ໄອອອນ ແລະ ອະຕອມ.

ໃນບັນດາພວກມັນ, ແຮງດູດຊຶມລະຫວ່າງສິ່ງເຈືອປົນທາງໂມເລກຸນ ແລະ ໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີແມ່ນອ່ອນແອ, ແລະ ອະນຸພາກສິ່ງເຈືອປົນປະເພດນີ້ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍທີ່ຈະກຳຈັດອອກ. ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນສິ່ງເຈືອປົນທີ່ມີນໍ້າມັນທີ່ມີລັກສະນະ hydrophobic, ເຊິ່ງສາມາດປ້ອງກັນສິ່ງເຈືອປົນທາງໄອອອນ ແລະ ປະລໍາມະນູທີ່ປົນເປື້ອນໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊິ່ງບໍ່ເອື້ອອຳນວຍຕໍ່ການກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນສອງປະເພດນີ້. ດັ່ງນັ້ນ, ເມື່ອທຳຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍສານເຄມີ, ສິ່ງເຈືອປົນທາງໂມເລກຸນຄວນຖືກກຳຈັດອອກກ່ອນ.

ດັ່ງນັ້ນ, ຂັ້ນຕອນທົ່ວໄປຂອງເຄິ່ງຕົວນຳເວເຟີຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດແມ່ນ:

ການກຳຈັດໂມເລກຸນ-ການກຳຈັດໄອອອນ-ການກຳຈັດປະລະມະນູ-ການລ້າງດ້ວຍນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ເພື່ອກຳຈັດຊັ້ນອົກໄຊດ໌ທຳມະຊາດຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ຈຳເປັນຕ້ອງເພີ່ມຂັ້ນຕອນການແຊ່ກົດອະມິໂນທີ່ເຈືອຈາງ. ດັ່ງນັ້ນ, ແນວຄວາມຄິດຂອງການທຳຄວາມສະອາດແມ່ນການກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີຢູ່ເທິງໜ້າຜິວກ່ອນ; ຈາກນັ້ນລະລາຍຊັ້ນອົກໄຊດ໌; ສຸດທ້າຍກຳຈັດອະນຸພາກ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນໂລຫະ, ແລະ ເຮັດໃຫ້ໜ້າຜິວເປັນຮູບຊົງກົມໃນເວລາດຽວກັນ.

 

ວິທີການທຳຄວາມສະອາດທົ່ວໄປ

ວິທີການທາງເຄມີມັກຖືກໃຊ້ສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນໍາ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດທາງເຄມີໝາຍເຖິງຂະບວນການໃຊ້ສານເຄມີຕ່າງໆ ແລະ ຕົວລະລາຍອິນຊີເພື່ອປະຕິກິລິຍາ ຫຼື ລະລາຍສິ່ງເຈືອປົນ ແລະ ຮອຍເປື້ອນນ້ຳມັນເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນ wafer ເພື່ອດູດຊຶມສິ່ງເຈືອປົນ, ແລະ ຈາກນັ້ນລ້າງອອກດ້ວຍນ້ຳຮ້ອນ ແລະ ນ້ຳເຢັນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີສາມາດແບ່ງອອກເປັນການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີປຽກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີແຫ້ງ, ໃນນັ້ນການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີປຽກຍັງເປັນທີ່ນິຍົມທີ່ສຸດ.

 

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີປຽກ

 

1. ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີທີ່ປຽກ:

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີປຽກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີການຈຸ່ມນໍ້າຢາ, ການຂັດດ້ວຍກົນຈັກ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ, ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບເມກາໂຊນິກ, ການສີດພົ່ນແບບໝຸນ, ແລະອື່ນໆ.

 

2. ການແຊ່ນ້ຳຢາ:

ການຈຸ່ມນ້ຳຢາແມ່ນວິທີການກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນເທິງໜ້າດິນໂດຍການຈຸ່ມແຜ່ນແພລົງໃນນ້ຳຢາເຄມີ. ມັນເປັນວິທີການທີ່ນິຍົມໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີປຽກ. ນ້ຳຢາທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດໃຊ້ເພື່ອກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນປະເພດຕ່າງໆເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນແພ.

ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ, ວິທີການນີ້ບໍ່ສາມາດກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນອອກຈາກໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີໄດ້ໝົດ, ສະນັ້ນມາດຕະການທາງດ້ານຮ່າງກາຍເຊັ່ນ: ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ອັລຕຣາຊາວ ແລະ ການກວນມັກຖືກໃຊ້ໃນຂະນະທີ່ຈຸ່ມລົງ.

 

3. ການຂັດດ້ວຍກົນຈັກ:

ການຂັດດ້ວຍກົນຈັກມັກຖືກໃຊ້ເພື່ອກຳຈັດອະນຸພາກ ຫຼື ສິ່ງເສດເຫຼືອອິນຊີຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງວິທີຄື:ການຂັດດ້ວຍມື ແລະ ການຂັດດ້ວຍຜ້າເຊັດ.

ການຂັດຖູດ້ວຍມືເປັນວິທີການຂັດທີ່ງ່າຍທີ່ສຸດ. ແປງສະແຕນເລດຖືກໃຊ້ເພື່ອຖືບານທີ່ແຊ່ນ້ຳໃນເອທານອນທີ່ບໍ່ມີນ້ຳ ຫຼື ຕົວລະລາຍອິນຊີອື່ນໆ ແລະ ຖູໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີຄ່ອຍໆໃນທິດທາງດຽວກັນເພື່ອກຳຈັດຟິມຂີ້ເຜີ້ງ, ຝຸ່ນ, ກາວທີ່ເຫຼືອ ຫຼື ອະນຸພາກແຂງອື່ນໆ. ວິທີການນີ້ງ່າຍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍຂີດຂ່ວນ ແລະ ມົນລະພິດຮ້າຍແຮງ.

ເຄື່ອງປັດນ້ຳຝົນໃຊ້ການໝູນແບບກົນຈັກເພື່ອຖູໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນແພດ້ວຍແປງຂົນອ່ອນ ຫຼື ແປງປະສົມ. ວິທີການນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຮອຍຂີດຂ່ວນເທິງແຜ່ນແພໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ເຄື່ອງປັດນ້ຳຝົນຄວາມດັນສູງຈະບໍ່ຂູດແຜ່ນແພເນື່ອງຈາກຂາດແຮງສຽດທານທາງກົນຈັກ, ແລະ ສາມາດກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນໃນຮ່ອງໄດ້.

 

4. ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ:

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງແມ່ນວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ. ຂໍ້ດີຂອງມັນແມ່ນປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ດີ, ການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍ, ແລະຍັງສາມາດເຮັດຄວາມສະອາດອຸປະກອນແລະພາຊະນະທີ່ສັບສົນໄດ້.

ວິທີການທຳຄວາມສະອາດນີ້ແມ່ນຢູ່ພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງ (ຄວາມຖີ່ສູງທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປແມ່ນ 20s40kHz), ແລະ ຊິ້ນສ່ວນທີ່ບາງ ແລະ ໜາແໜ້ນຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນພາຍໃນຕົວກາງຂອງແຫຼວ. ຊິ້ນສ່ວນທີ່ບາງຈະຜະລິດຟອງອາກາດທີ່ເກືອບສູນຍາກາດ. ເມື່ອຟອງອາກາດຫາຍໄປ, ຄວາມກົດດັນໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ແຂງແຮງຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນໃກ້ມັນ, ທຳລາຍພັນທະທາງເຄມີໃນໂມເລກຸນເພື່ອລະລາຍສິ່ງເຈືອປົນຢູ່ເທິງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ. ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງແມ່ນມີປະສິດທິພາບທີ່ສຸດສຳລັບການກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ບໍ່ລະລາຍ ຫຼື ບໍ່ລະລາຍ.

 

5. ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບ Megasonic:

ການເຮັດຄວາມສະອາດ Megasonic ບໍ່ພຽງແຕ່ມີຂໍ້ດີຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍ ultrasonic ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເອົາຊະນະຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງມັນໄດ້ອີກດ້ວຍ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບ Megasonic ເປັນວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີໂດຍການລວມຜົນກະທົບຂອງການສັ່ນສະເທືອນຄວາມຖີ່ພະລັງງານສູງ (850kHz) ກັບປະຕິກິລິຍາເຄມີຂອງສານເຄມີເຮັດຄວາມສະອາດ. ໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມສະອາດ, ໂມເລກຸນສານລະລາຍຈະຖືກເລັ່ງໂດຍຄື້ນ megasonic (ຄວາມໄວສູງສຸດທັນທີສາມາດບັນລຸ 30cmVs), ແລະຄື້ນຂອງແຫຼວຄວາມໄວສູງຈະກະທົບກັບພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ດັ່ງນັ້ນມົນລະພິດ ແລະ ອະນຸພາກລະອຽດທີ່ຕິດກັບພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີຈະຖືກກຳຈັດອອກໂດຍບັງຄັບ ແລະ ເຂົ້າໄປໃນນ້ຳຢາເຮັດຄວາມສະອາດ. ການເພີ່ມສານເຄມີທີ່ເປັນກົດໃສ່ນ້ຳຢາເຮັດຄວາມສະອາດ, ໃນດ້ານໜຶ່ງ, ສາມາດບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການກຳຈັດອະນຸພາກ ແລະ ສານອິນຊີຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂັດໂດຍຜ່ານການດູດຊຶມຂອງສານເຄມີ; ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຜ່ານການປະສົມປະສານຂອງສານເຄມີທີ່ເປັນກົດ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນກົດ, ມັນສາມາດບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການກຳຈັດມົນລະພິດໂລຫະຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນຂັດ. ວິທີການນີ້ສາມາດມີບົດບາດໃນການເຊັດດ້ວຍກົນຈັກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດທາງເຄມີພ້ອມໆກັນ.

ໃນປະຈຸບັນ, ວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດແບບ megasonic ໄດ້ກາຍເປັນວິທີການທີ່ມີປະສິດທິພາບສໍາລັບການເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນຂັດເງົາ.

 

6. ວິທີການສີດພົ່ນແບບໝຸນ:

ວິທີການສີດພົ່ນແບບໝູນວຽນແມ່ນວິທີການທີ່ໃຊ້ວິທີການກົນຈັກເພື່ອໝຸນແຜ່ນເວເຟີດ້ວຍຄວາມໄວສູງ, ແລະສີດນ້ຳຢາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ (ນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນບໍລິສຸດສູງ ຫຼື ນ້ຳຢາທຳຄວາມສະອາດອື່ນໆ) ໃສ່ໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການໝຸນເພື່ອກຳຈັດສິ່ງສົກກະປົກຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ວິທີການນີ້ໃຊ້ການປົນເປື້ອນຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີເພື່ອລະລາຍໃນຂອງແຫຼວທີ່ຖືກສີດ (ຫຼືປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບມັນເພື່ອລະລາຍ), ແລະໃຊ້ຜົນກະທົບຂອງແຮງດຶງຂອງການໝຸນຄວາມໄວສູງເພື່ອເຮັດໃຫ້ຂອງແຫຼວທີ່ມີສິ່ງເຈືອປົນແຍກອອກຈາກໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີໄດ້ທັນເວລາ.

ວິທີການສີດພົ່ນແບບໝຸນມີຂໍ້ດີຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດທາງເຄມີ, ການເຮັດຄວາມສະອາດກົນຈັກຂອງແຫຼວ, ແລະ ການຂັດດ້ວຍຄວາມກົດດັນສູງ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ວິທີການນີ້ຍັງສາມາດລວມເຂົ້າກັບຂະບວນການອົບແຫ້ງໄດ້. ຫຼັງຈາກໄລຍະເວລາຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດແບບສີດນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ, ການສີດນ້ຳຈະຢຸດລົງ ແລະ ອາຍແກັສສີດພົ່ນຈະຖືກນຳໃຊ້. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຄວາມໄວໃນການໝຸນສາມາດເພີ່ມຂຶ້ນເພື່ອເພີ່ມແຮງໜີສູນກາງເພື່ອເຮັດໃຫ້ໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີແຫ້ງໄດ້ຢ່າງໄວວາ.

 

7.ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີແຫ້ງ

ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບແຫ້ງໝາຍເຖິງເທັກໂນໂລຢີການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ວິທີແກ້ໄຂ.

ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດແບບແຫ້ງທີ່ໃຊ້ໃນປະຈຸບັນປະກອບມີ: ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດໄລຍະແກັສ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດລຳແສງ, ແລະອື່ນໆ.

ຂໍ້ດີຂອງການຊັກແຫ້ງແມ່ນຂະບວນການງ່າຍດາຍ ແລະ ບໍ່ມີມົນລະພິດຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ, ແຕ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງ ແລະ ຂອບເຂດການນຳໃຊ້ບໍ່ໃຫຍ່ຫຼວງໃນເວລານີ້.

 

1. ເທັກໂນໂລຢີການເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ:

ການເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາມັກຖືກນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການກຳຈັດໂຟໂຕຣີຊິດ. ອົກຊີເຈນຈຳນວນໜ້ອຍໜຶ່ງຖືກນຳເຂົ້າສູ່ລະບົບປະຕິກິລິຍາພລາສມາ. ພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງສະໜາມໄຟຟ້າທີ່ແຮງ, ອົກຊີເຈນຈະສ້າງພລາສມາ, ເຊິ່ງຈະຜຸພັງໂຟໂຕຣີຊິດຢ່າງໄວວາໃຫ້ກາຍເປັນສະຖານະອາຍແກັສທີ່ລະເຫີຍໄດ້ ແລະ ຖືກສະກັດອອກ.

ເຕັກໂນໂລຊີການທຳຄວາມສະອາດນີ້ມີຂໍ້ດີຄືການໃຊ້ງານງ່າຍ, ມີປະສິດທິພາບສູງ, ພື້ນຜິວສະອາດ, ບໍ່ມີຮອຍຂີດຂ່ວນ, ແລະ ເໝາະສົມຕໍ່ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນໃນຂະບວນການລອກກາວ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມັນບໍ່ໄດ້ໃຊ້ກົດ, ດ່າງ ແລະ ຕົວລະລາຍອິນຊີ, ແລະບໍ່ມີບັນຫາເຊັ່ນ: ການກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອ ແລະ ມົນລະພິດສິ່ງແວດລ້ອມ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຈຶ່ງໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມຫຼາຍຂຶ້ນຈາກຜູ້ຄົນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ມັນບໍ່ສາມາດກຳຈັດຄາບອນ ແລະ ໂລຫະທີ່ບໍ່ລະເຫີຍ ຫຼື ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະອອກໄຊດ໌ອື່ນໆໄດ້.

 

2. ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດໄລຍະອາຍແກັສ:

ການເຮັດຄວາມສະອາດໄລຍະອາຍແກັສໝາຍເຖິງວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ໃຊ້ໄລຍະອາຍແກັສທຽບເທົ່າຂອງສານທີ່ສອດຄ້ອງກັນໃນຂະບວນການຂອງແຫຼວເພື່ອພົວພັນກັບສານທີ່ປົນເປື້ອນຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນ wafer ເພື່ອບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນ.

ຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການ CMOS, ການເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີໃຊ້ການພົວພັນລະຫວ່າງ HF ໄລຍະອາຍແກັສ ແລະ ໄອນ້ຳເພື່ອກຳຈັດອົກໄຊ. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ, ຂະບວນການ HF ທີ່ມີນ້ຳຕ້ອງມີຂະບວນການກຳຈັດອະນຸພາກ, ໃນຂະນະທີ່ການນຳໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການເຮັດຄວາມສະອາດ HF ໄລຍະອາຍແກັສບໍ່ຕ້ອງການຂະບວນການກຳຈັດອະນຸພາກຕໍ່ມາ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດເມື່ອທຽບກັບຂະບວນການ HF ໃນນໍ້າແມ່ນການໃຊ້ສານເຄມີ HF ນ້ອຍກວ່າ ແລະ ປະສິດທິພາບໃນການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ສູງກວ່າ.

 

ຍິນດີຕ້ອນຮັບລູກຄ້າຈາກທົ່ວທຸກມຸມໂລກມາຢ້ຽມຢາມພວກເຮົາເພື່ອສົນທະນາຕື່ມອີກ!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j


ເວລາໂພສ: ສິງຫາ-13-2024
ສົນທະນາ WhatsApp ອອນໄລນ໌!