Lintho tse ling tsa tlhaho le tse seng tsa tlhaho lia hlokahala ho kenya letsoho tlhahisong ea li-semiconductor. Ho phaella moo, kaha ts'ebetso ena e etsoa ka phapusing e hloekileng ka ho nka karolo ha batho, li-semiconductorli-waferli silafatsoa ke litšila tse fapaneng ka ho ke keng ha qojoa.
Ho ya ka mohlodi le mofuta wa ditshila, di ka arolwa ka mekhahlelo e mene: dikarolwana, dintho tse phelang, di-ion tsa tshepe le di-oxide.
1. Likaroloana:
Likaroloana tse ling ke li-polymer, li-photoresist le litšila tse hlabang.
Hangata ditshila tse jwalo di itshetlehile ka matla a dimolekhule ho monya hodima bokahodimo ba wafer, e leng se amang sebopeho sa dibopeho tsa jeometri le diparamente tsa motlakase tsa tshebetso ya photolithography ya sesebediswa.
Litšila tse joalo li tlosoa haholo-holo ka ho fokotsa butle-butle sebaka seo li kopanang le sona holim'asejana sa bohobeka mekhoa ea 'mele kapa ea lik'hemik'hale.
2. Lintho tse phelang:
Mehloli ea litšila tsa tlhaho e pharaletse haholo, joalo ka oli ea letlalo la motho, libaktheria, oli ea mochini, grease ea vacuum, photoresist, li-solvents tse hloekisang, jj.
Hangata litšila tse joalo li etsa filimi ea tlhaho holim'a wafer ho thibela mokelikeli o hloekisang ho fihla holim'a wafer, e leng se fellang ka ho hloekisoa ho sa fellang ha bokaholimo ba wafer.
Ho tlosoa ha ditshila tse jwalo hangata ho etswa mohatong wa pele wa tshebetso ya ho hlwekisa, haholoholo ho sebediswa mekgwa ya dikhemikhale e kang sulfuric acid le hydrogen peroxide.
3. Li-ion tsa tšepe:
Litšila tse tloaelehileng tsa tšepe li kenyelletsa tšepe, koporo, aluminium, chromium, tšepe e entsoeng ka tšepe, titanium, sodium, potasiamo, lithium, jj. Mehloli e meholo ke lisebelisoa tse fapaneng, liphaephe, lik'hemik'hale tse thibelang le tšilafalo ea tšepe e hlahisoang ha ho thehoa likhokahano tsa tšepe nakong ea ts'ebetso.
Mofuta ona oa litšila hangata o tlosoa ka mekhoa ea lik'hemik'hale ka ho thehoa ha metsoako ea li-ion tsa tšepe.
4. Okside:
Ha semiconductorli-waferHa di pepesehetse tikoloho e nang le oksijene le metsi, lera la tlhaho la oxide le tla thehwa hodima metsi. Filimi ena ya oxide e tla sitisa ditshebetso tse ngata tlhahisong ya di-semiconductor mme e boetse e na le ditshila tse itseng tsa tshepe. Tlas'a maemo a itseng, di tla etsa diphoso tsa motlakase.
Hangata ho tlosoa ha filimi ena ea oxide ho phethoa ka ho inela ka har'a asiti ea hydrofluoric e hlapolotsoeng.
Tatellano e akaretsang ea ho hloekisa
Litšila tse monyang holim'a semiconductorli-wafere ka aroloa ka mefuta e meraro: limolek'hule, ionic le athomo.
Har'a tsona, matla a ho monya ditshila pakeng tsa dimolek'hule le bokaholimo ba wafer a fokola, mme mofuta ona wa dikarolwana tse sa hlwekang o bonolo ho di tlosa. Boholo ba tsona ke ditshila tse nang le mafura tse nang le dibopeho tse sa rateheng ha metsi, tse ka fanang ka ho kwahela ditshila tsa ionic le tsa athomo tse silafatsang bokaholimo ba di-wafer tsa semiconductor, e leng se sa thuseng ho tlosa mefuta ena e mmedi ya ditshila. Ka hona, ha ho hlwekiswa di-wafer tsa semiconductor ka dikhemikhale, ditshila tsa dimolek'hule di lokela ho tloswa pele.
Ka hona, mokhoa o akaretsang oa semiconductorsejana sa bohobeMokhoa oa ho hloekisa ke:
Ho hlatsoa metsi ka metsi a sa hloekisoang ka limolek'hule.
Ho phaella moo, e le ho tlosa lera la tlhaho la oxide holim'a wafer, ho hlokahala hore ho eketsoe mohato oa ho kolobisa amino acid e hlapollotsoeng. Ka hona, mohopolo oa ho hloekisa ke ho tlosa tšilafalo ea lintho tse phelang holim'a metsi pele; ebe ho qhala lera la oxide; qetellong ho tlosoe likaroloana le tšilafalo ea tšepe, 'me ho fetisetsoe bokaholimo ka nako e le' ngoe.
Mekhoa e tloaelehileng ea ho hloekisa
Mekhoa ea lik'hemik'hale e atisa ho sebelisoa bakeng sa ho hloekisa li-wafer tsa semiconductor.
Ho hlwekisa ka dikhemikhale ho bolela tshebetso ya ho sebedisa di-reagent tse fapaneng tsa dikhemikhale le di-solvent tsa organic ho arabela kapa ho qhala ditshila le matheba a oli hodima bokahodimo ba wafer ho tlosa ditshila, ebe o hlatswa ka metsi a mangata a hlwekileng haholo a chesang le a batang a hlwekileng ho fumana bokahodimo bo hlwekileng.
Ho hlwekisa ka lik'hemik'hale ho ka aroloa ka ho hlwekisa ka lik'hemik'hale tse metsi le ho hlwekisa ka lik'hemik'hale tse omileng, tseo ho tsona ho hlwekisa ka lik'hemik'hale tse metsi ho ntseng ho le teng haholo.
Ho hlwekisa lik'hemik'hale ka metsi
1. Ho hlwekisa ka lik'hemik'hale tse metsi:
Ho hlwekisa ka dikhemikhale tse metsi haholoholo ho kenyeletsa ho qoelisa ka tharollo, ho hlatswa ka mechine, ho hlwekisa ka ultrasound, ho hlwekisa ka megasonic, ho fafatsa ka rotary, jj.
2. Ho qoelisoa ka tharollo:
Ho qoelisa tharollo ke mokhoa oa ho tlosa tšilafalo ea bokaholimo ka ho qoelisa wafer ka har'a tharollo ea lik'hemik'hale. Ke mokhoa o sebelisoang haholo ho hloekiseng lik'hemik'hale tse metsi. Litharollo tse fapaneng li ka sebelisoa ho tlosa mefuta e fapaneng ea litšila holim'a wafer.
Hangata, mokhoa ona o ke ke oa tlosa litšila ka botlalo holim'a wafer, kahoo mehato ea 'mele e kang ho futhumatsa, ultrasound le ho hlohlelletsa hangata e sebelisoa ha ho qoelisoa.
3. Ho hlatswa ka mechine:
Hangata ho hlatswa ka mechine ho sebediswa ho tlosa dikarolwana kapa masalla a tlhaho hodima wafer. Ka kakaretso ho ka arolwa ka mekgwa e mmedi:ho hlatswa le ho hlatswa ka letsoho ka mochini o hlakolang.
Ho hlatswa ka letsohoke mokhoa o bonolo ka ho fetisisa oa ho hohla. Borashe ba tšepe e sa hloekang bo sebelisoa ho tšoara bolo e kolobisitsoeng ka har'a ethanol e sa hloekang kapa metsoako e meng ea lintho tse phelang ebe bo hohla bokaholimo ba wafer ka bonolo ka lehlakoreng le le leng ho tlosa filimi ea boka, lerōle, sekhomaretsi se setseng kapa likaroloana tse ling tse tiileng. Mokhoa ona o bonolo ho baka maqeba le tšilafalo e tebileng.
Sehlakola se sebedisa ho potoloha ha mochini ho hohla bokahodimo ba wafer ka borashe bo bonolo ba ulu kapa borashe bo kopantsweng. Mokgwa ona o fokotsa haholo maqeba hodima wafer. Sehlakola se nang le kgatello e phahameng se ke ke sa hohla wafer ka lebaka la ho hloka kgohlano ya mochini, mme se ka tlosa tšilafalo ka hara mokoti.
4. Ho hlwekisa ka ultrasound:
Ho hlwekisa ka ultrasound ke mokhoa oa ho hlwekisa o sebelisoang haholo indastering ea semiconductor. Melemo ea ona ke phello e ntle ea ho hloekisa, ts'ebetso e bonolo, 'me e ka boela ea hloekisa lisebelisoa le lijana tse rarahaneng.
Mokhoa ona oa ho hloekisa o tlas'a tšusumetso ea maqhubu a matla a ultrasound (maqhubu a ultrasound a sebelisoang hangata ke 20s40kHz), 'me likarolo tse fokolang le tse teteaneng li tla hlahisoa ka har'a mokelikeli oa metsi. Karolo e fokolang e tla hlahisa bubble e batlang e le ka har'a vacuum cavity. Ha bubble ea cavity e nyamela, khatello e matla ea lehae e tla hlahisoa haufi le eona, e roba litlamo tsa lik'hemik'hale limolek'huleng ho qhala litšila holim'a wafer. Ho hloekisa ka ultrasound ho sebetsa hantle haholo bakeng sa ho tlosa masala a phallo a sa qhibiliheng kapa a sa qhibiliheng.
5. Ho hlwekisa ha megasonic:
Ho hlwekisa megasonic ha ho na melemo feela ea ho hloekisa ka ultrasound, empa hape ho hlola mefokolo ea eona.
Ho hlwekisa megasonic ke mokhoa oa ho hlwekisa di-wafer ka ho kopanya phello ya ho thothomela ha maqhubu a matla a phahameng (850kHz) le karabelo ya dikhemikhale ya di-agent tsa ho hlwekisa dikhemikhale. Nakong ya ho hlwekisa, dimolek'hule tsa tharollo di potlakiswa ke leqhubu la megasonic (lebelo le phahameng ka ho fetisisa la hang-hang le ka fihla ho 30cmVs), mme leqhubu la mokelikeli o lebelo le phahameng le ama bokahodimo ba wafer ka ho tswela pele, e le hore ditshila le dikarolwana tse nyane tse kgomaretsweng bokahodimo ba wafer di tloswe ka kgapeletso mme di kene ka hara tharollo ya ho hlwekisa. Ho eketsa di-surfactants tse nang le asiti tharollong ya ho hlwekisa, ka lehlakoreng le leng, ho ka fihlella morero wa ho tlosa dikarolwana le dintho tse phelang hodima bokahodimo ba ho hlwekisa ka ho monya di-surfactants; ka lehlakoreng le leng, ka ho kopanya di-surfactants le tikoloho ya asiti, ho ka fihlella morero wa ho tlosa tshilafatso ya tshepe hodima bokahodimo ba lakane ya ho hlwekisa. Mokhoa ona o ka bapala karolo ya ho hlakola ka mechine le ho hlwekisa dikhemikhale ka nako e le nngwe.
Hona joale, mokhoa oa ho hloekisa oa megasonic e se e le mokhoa o atlehang oa ho hloekisa maqephe a ho bentša.
6. Mokhoa oa ho fafatsa ka rotary:
Mokhoa oa ho fafatsa ka rotary ke mokhoa o sebelisang mekhoa ea mechine ho potoloha wafer ka lebelo le phahameng, 'me o fafatsa mokelikeli khafetsa (metsi a hloekisitsoeng ka mokhoa o phahameng kapa mokelikeli o mong oa ho hloekisa) holim'a wafer nakong ea ts'ebetso ea ho potoloha ho tlosa litšila holim'a wafer.
Mokhoa ona o sebedisa tshilafatso e hodima bokahodimo ba wafer ho qhibilihisa mokelikeli o fafaditsweng (kapa o arabela ka dikhemikhale le wona ho qhibilihisa), mme o sebedisa phello ya centrifugal ya ho potoloha ka lebelo le phahameng ho etsa hore mokelikeli o nang le ditshila o arohane le bokahodimo ba wafer ka nako.
Mokhoa oa ho fafatsa ka rotary o na le melemo ea ho hloekisa lik'hemik'hale, ho hloekisa mechine ea metsi le ho hlatswa ka khatello e phahameng. Ka nako e ts'oanang, mokhoa ona o ka boela oa kopanngoa le ts'ebetso ea ho omisa. Kamora nako ea ho hloekisa ka ho fafatsa ka metsi a hloekisitsoeng, ho fafatsa ka metsi hoa emisoa 'me ho sebelisoa khase ea ho fafatsa. Ka nako e ts'oanang, lebelo la ho potoloha le ka eketsoa ho eketsa matla a centrifugal ho qhibilihisa bokaholimo ba wafer ka potlako.
7.Ho hlwekisa lik'hemik'hale ka omileng
Ho hlwekisa ka omileng ho bolela theknoloji ea ho hloekisa e sa sebeliseng litharollo.
Mahlale a ho hlwekisa ka metsi a sebediswang hajwale a kenyeletsa: theknoloji ya ho hlwekisa plasma, theknoloji ya ho hlwekisa kgato ya kgase, theknoloji ya ho hlwekisa mahlasedi, jj.
Melemo ea ho hloekisa ka omileng ke mokhoa o bonolo oa ho etsa lintho le ho se silafatse tikoloho, empa litšenyehelo li holimo 'me boholo ba tšebeliso ha bo boholo hajoale.
1. Theknoloji ea ho hloekisa plasma:
Ho hlwekisa plasma hangata ho sebediswa tshebetsong ya ho tlosa photoresist. Oksijene e nyane e kenngwa tsamaisong ya karabelo ya plasma. Tlas'a ts'ebetso ya tshimo e matla ya motlakase, oksijene e hlahisa plasma, e etsang hore photoresist e be le oxidize kapele boemong ba kgase e fetofetohang mme e ntshuwe.
Theknoloji ena ea ho hloekisa e na le melemo ea ho sebetsa habonolo, ho sebetsa hantle haholo, ho hloekisa bokaholimo, ho se be le mengoapo, 'me e thusa ho netefatsa boleng ba sehlahisoa ts'ebetsong ea ho tlosa gum. Ho feta moo, ha e sebelise li-acid, alkali le li-solvent tsa organic, 'me ha ho na mathata a kang ho lahla litšila le tšilafalo ea tikoloho. Ka hona, batho ba e nka e le ea bohlokoa haholoanyane. Leha ho le joalo, e ke ke ea tlosa carbon le litšila tse ling tsa tšepe kapa oxide ea tšepe tse sa fetoheng.
2. Theknoloji ea ho hloekisa mohato oa khase:
Ho hlwekisa mokgahlelo wa kgase ho bolela mokgwa wa ho hlwekisa o sebedisang mokgahlelo wa kgase o lekanang le ntho e tsamaellanang le yona tshebetsong ya mokelikeli ho kopana le ntho e silafetseng hodima wafer ho fihlela sepheo sa ho tlosa ditshila.
Mohlala, ts'ebetsong ea CMOS, ho hloekisa wafer ho sebelisa tšebelisano pakeng tsa HF ea mokhahlelo oa khase le mouoane oa metsi ho tlosa li-oxide. Hangata, ts'ebetso ea HF e nang le metsi e tlameha ho tsamaea le ts'ebetso ea ho tlosa likaroloana, athe ts'ebeliso ea theknoloji ea ho hloekisa HF ea mokhahlelo oa khase ha e hloke ts'ebetso e latelang ea ho tlosa likaroloana.
Melemo ea bohlokoa ka ho fetisisa ha e bapisoa le ts'ebetso ea HF e metsi ke tšebeliso e nyane haholo ea lik'hemik'hale tsa HF le bokhoni bo phahameng ba ho hloekisa.
Amohela bareki ba tsoang lefats'eng lohle ho re etela bakeng sa puisano e 'ngoe!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Nako ea poso: Phato-13-2024