E manaʻomia nisi o mea faʻaola ma mea e le faʻaola e auai i le gaosiga o semiconductor. E le gata i lea, talu ai o le faagasologa e faia i taimi uma i totonu o se potu mama ma le auai o tagata, o le semiconductorfalaoa manifinifie masani ona pisia i mea leaga eseese.
E tusa ai ma le puna ma le natura o mea leaga, e mafai ona vaevaeina i ni vaega e fa: vaega ninii, mea ola, ion uʻamea ma oxides.
1. Vaega:
O vaega ninii e tele lava ina aofia ai polymers, photoresists ma mea e le mama ai le etching.
O ia mea leaga e masani ona faʻalagolago i malosiaga faʻa-molecular e mitiia ai i luga o le fogāeleele o le wafer, ma aʻafia ai le fausiaina o foliga faʻataʻitaʻi ma faʻasologa eletise o le faʻagasologa o le photolithography a le masini.
O ia mea leaga e aveeseina tele e ala i le faʻaitiitia malie o lo latou vaega e fesootaʻi ma le fogāeleele o lefalaoa manifinifie ala i metotia faaletino poʻo vailaʻau.
2. Mea olaola:
E tele lava puna o mea leaga fa'alenatura, e pei o le suāu'u o le pa'u o le tagata, siama, suāu'u masini, kelu e maua mai le masini e fa'amama ai le ea, vaila'au e fa'amama ai le la, vaila'au e maua mai le malamalama (photoresist), vaila'au fa'amama, ma isi mea fa'apena.
O ia mea leaga e masani ona fausia ai se ata tifaga fa'alenatura i luga o le wafer e taofia ai le vai fa'amama mai le o'o atu i le pito i luga o le wafer, ma i'u ai i le le atoatoa o le fa'amamāina o le pito i luga o le wafer.
O le aveeseina o ia mea leaga e masani ona faia i le laasaga muamua o le faagasologa o le faamamaina, e masani lava ona faaaogaina ai metotia faafomai e pei o le sulfuric acid ma le hydrogen peroxide.
3. Ion u'amea:
O mea leaga masani o u'amea e aofia ai le u'amea, kopa, alumini, chromium, u'amea fa'apala, titanium, sodium, potassium, lithium, ma isi. O puna autū o mea faigaluega eseese, paipa, vaila'au fa'akemikolo, ma le fa'aleagaina o u'amea e mafua mai pe a fa'apipi'i u'amea i le taimi o le gaosiga.
O lenei ituaiga o mea leaga e masani ona aveeseina e ala i metotia fa'akemikolo e ala i le fausiaina o ni fa'aputuga o ion u'amea.
4. Okisa:
A'o le'i faia se semiconductorfalaoa manifinifiAfai e fa'aalia i se siosiomaga o lo'o i ai le okesene ma le vai, o le a fausia ai se vaega masani o le oxide i luga. O lenei ata oxide o le a fa'alavelaveina ai le tele o faiga i le gaosiga o semiconductor ma o lo'o i ai fo'i nisi o mea leaga o u'amea. I lalo o nisi tulaga, o le a latou fausia ai ni fa'aletonu eletise.
O le aveeseina o lenei ata oxide e masani ona fa'amae'aina e ala i le fa'asusuina i le hydrofluoric acid fa'avaivaia.
Faasologa o le faamamaina lautele
Mea leaga e mitiia i luga o le fogāeleele o le semiconductorfalaoa manifinifie mafai ona vaevaeina i ni vaega se tolu: molecular, ionic ma atomic.
I totonu o ia mea, o le malosi e mitiia ai le va o mea leaga fa'a-molecular ma le fogāeleele o le wafer e vaivai, ma o lenei ituaiga o mea leaga e faigofie ona aveese. O le tele lava o mea leaga e tele lava ina ga'o ma e iai uiga hydrophobic, lea e mafai ona ufiufi ai mea leaga ionic ma atomic e fa'aleagaina ai le fogāeleele o wafers semiconductor, lea e le fesoasoani i le aveeseina o nei ituaiga mea leaga e lua. O le mea lea, pe a fa'amamāina fa'akemikolo wafers semiconductor, e tatau ona aveese muamua mea leaga fa'a-molecular.
O le mea lea, o le faiga lautele o le semiconductorfalaoa manifinifio le faagasologa o le faamamaina e faapea:
Ave'esea o le molecularization-ave'esea o le ionization-ave'esea o le atomization-fufuluina i le vai ave'esea o le ionization.
E le gata i lea, ina ia aveese le vaega masani o le oxide i luga o le fogāeleele o le wafer, e manaʻomia ona faʻaopoopo se laʻasaga faʻasusu o le amino acid. O le mea lea, o le manatu o le faʻamamāina o le aveese muamua lea o mea leaga faʻanatura i luga o le fogāeleele; ona faʻataʻapeʻapeina lea o le vaega o le oxide; mulimuli ane aveese ni fasi mea ma mea leaga o le uʻamea, ma faʻamamāina le fogāeleele i le taimi e tasi.
Auala masani e fa'amamā ai
E masani ona faʻaaogaina metotia faʻakemikolo mo le faʻamamāina o wafers semiconductor.
O le fa'amamāina fa'akemikolo e fa'atatau i le fa'agasologa o le fa'aaogaina o vaila'au eseese ma vaila'au fa'aola e fa'atino ai pe fa'ata'ape'ape ai mea leaga ma ila suau'u i luga o le apa e fa'amama ai mea leaga, ona fufulu lea i le tele o le vai vevela ma le malulu e maualuga le mama e fa'amama ai le fogaeleele.
E mafai ona vaevaeina le fa'amamāina o vaila'au i le fa'amamāina o vaila'au susu ma le fa'amamāina o vaila'au mago, e aofia ai ma le fa'amamāina o vaila'au susu o lo'o taatele pea.
Fa'amamāina o vaila'au fa'asusu
1. Fa'amamāina o vaila'au fa'asusu:
O le fa'amamāina o vaila'au susu e aofia ai le fa'atofuina o le vaila'au, olo fa'amekanika, fa'amamāina ultrasonic, fa'amamāina megasonic, fa'asusu fa'ata'amilo, ma isi.
2. Fa'atofuina o le fofo:
O le fa'atofuina i le vai fa'asusu o se metotia e aveese ai le fa'aleagaina o le luga e ala i le fa'atofuina o le wafer i totonu o se vai fa'akemikolo. O le metotia e sili ona fa'aaogaina i le fa'amamāina o vaila'au susu. E mafai ona fa'aogaina vai fa'asusu eseese e aveese ai ituaiga eseese o mea fa'aleagaina i luga o le wafer.
E masani lava, e le mafai e lenei metotia ona aveese atoa ai mea leaga i luga o le apa, o lea e masani ona faʻaaogaina ai faiga faaletino e pei o le faʻavevela, ultrasound, ma le faʻagaeʻeina aʻo faʻatofuina.
3. Fufuluina fa'amekanika:
E masani ona faʻaaogaina le olo faʻamekanika e aveese ai ni fasi mea poʻo ni toega o meaola i luga o le fogāeleele o le falaoa. E mafai ona vaevaeina i ni auala se lua:olo lima ma olo e se solo.
Fufulu limaO le auala sili ona faigofie e olo ai. E fa'aaogaina se pulumu u'amea e uu ai se polo ua fa'asūsūina i le ethanol e leai se vai po'o isi vaila'au fa'aola ma olo mālie le pito i luga o le apa i le itu lava e tasi e aveese ai le ata vali, pefu, kelu toega po'o isi mea malo. E faigofie ona mafua ai ni maosi ma ni fa'aleagaina matuia i lenei auala.
E fa'aaogā e le solo le fa'ata'amilosaga fa'amekanika e olo ai le fogā'ele'ele o le apa i se pulumu fulufulu mamoe vaivai po'o se pulumu fefiloi. O lenei metotia e matua fa'aitiitia ai le maosi i luga o le apa. O le solo maualuga o le mamafa e le maosi le apa ona o le leai o se fe'ese'esea'iga fa'amekanika, ma e mafai ona aveese le pisia i totonu o le alavai.
4. Fa'amamāina fa'a-ultrasonic:
O le fa'amamāina o le ultrasonic o se metotia fa'amamā e fa'aaogaina lautele i le alamanuia o semiconductor. O ona lelei o le lelei o le fa'amamāina, faigofie ona fa'agaoioia, ma e mafai fo'i ona fa'amamāina masini ma koneteina faigata.
O lenei metotia fa'amamāina o lo'o i lalo o le gaioiga a galu malolosi o le ultrasonic (o le televave masani o le ultrasonic o le 20s40kHz), ma o vaega manifinifi ma mafiafia o le a gaosia i totonu o le vai. O le vaega manifinifi o le a gaosia ai se pupuni e toetoe lava a leai se ea. A mou atu le pupuni o le ea, o le a gaosia se mamafa malosi i tafatafa ane, ma motusia ai fusi fa'akemikolo i totonu o molela'au e fa'ata'ape'ape ai mea leaga i luga o le fogā'ele'ele. O le fa'amamāina o le ultrasonic e sili ona aoga mo le aveeseina o toega o le flux e le mafai ona solo pe le mafai ona solo.
5. Fa'amamāina fa'a-Megasonic:
O le fa'amamāina o le megasonic e le gata ina i ai ni lelei o le fa'amamāina o le ultrasonic, ae e fa'ato'ilaloina ai fo'i ona vaivaiga.
O le fa'amamāina o le Megasonic o se metotia o le fa'amamāina o wafers e ala i le tu'ufa'atasia o le aafiaga o le gatete malosi tele (850kHz) ma le tali fa'akemikolo o vaila'au fa'amamā. I le taimi o le fa'amamāina, e fa'avavevaveina ai molela'au o le vaila'au e le galu megasonic (e mafai ona o'o atu le saoasaoa maualuga i le 30cmVs), ma o le galu vai saoasaoa tele e a'afia pea le fogāeleele o le wafer, ina ia mafai ai ona ave'esea fa'amalosi mea leaga ma mea manifinifi e pipii i le fogāeleele o le wafer ma ulufale atu i le vaila'au fa'amamā. O le fa'aopoopoina o vaila'au fa'asusu i le vaila'au fa'amamā, i le tasi itu, e mafai ona ausia ai le fa'amoemoe o le ave'esea o vaega ma mea ola i luga o le fogāeleele fa'apala e ala i le fa'apipi'iina o vaila'au fa'asusu; i le isi itu, e ala i le tu'ufa'atasia o vaila'au fa'asusu ma le siosiomaga fa'asusu, e mafai ona ausia ai le fa'amoemoe o le ave'esea o mea leaga o le u'amea i luga o le fogāeleele fa'apala. O lenei metotia e mafai ona fa'atino i le taimi e tasi le matafaioi o le solo fa'amekanika ma le fa'amamāina fa'akemikolo.
I le taimi nei, o le metotia fa'amamāina megasonic ua avea ma se metotia aoga mo le fa'amamāina o pepa fa'apala.
6. Metotia fa'asu'i fa'ata'amilomilo:
O le metotia o le fa'asusu fa'ata'amilomilo o se metotia e fa'aogaina ai metotia fa'amekanika e fa'ata'amilo ai le wafer i se saoasaoa maualuga, ma fa'asusu pea le vai (vai e maualuga le mama pe isi vai fa'amama) i luga o le wafer i le taimi o le fa'agasologa o le fa'ata'amilomilo e aveese ai mea leaga i luga o le wafer.
O lenei metotia e faʻaaogaina ai le faʻaleagaina i luga o le apa e faʻataʻapeʻapeina ai i le vai faʻasusu (pe faʻafetaui faʻakemikolo i ai e faʻataʻapeʻapeina ai), ma faʻaaogaina le aafiaga centrifugal o le faʻataʻamilosaga maualuga e faʻaeseese ai mea leaga o loʻo i ai le vai mai le luga o le apa i le taimi.
O le metotia o le fa'asusu fa'ata'amilomilo e iai ona lelei o le fa'amamāina fa'akemikolo, fa'amamāina o le vai fa'amekanika, ma le oloina i le mamafa maualuga. I le taimi lava e tasi, e mafai fo'i ona tu'ufa'atasia lenei metotia ma le fa'agasologa o le fa'amago. A mae'a se vaitaimi o le fa'amamāina o le fa'asusu i le vai fa'amamago, ona taofi lea o le fa'asusu i le vai ma fa'aaoga se kesi fa'asusu. I le taimi lava e tasi, e mafai ona fa'ateleina le saoasaoa o le fa'ata'amilomilo e fa'ateleina ai le malosi o le centrifugal ina ia vave ona fa'amago le fogā'ele'ele o le wafer.
7.Fa'amamāina o vaila'au mago
O le fa'amamāina mago e faasino i tekinolosi fa'amamā e le fa'aogaina ai ni vaifofo.
O tekinolosi fa'amamā mago o lo'o fa'aaogaina i le taimi nei e aofia ai: tekinolosi fa'amamāina plasma, tekinolosi fa'amamāina kesi, tekinolosi fa'amamāina o ave, ma isi.
O penefiti o le fa'amamāina mago o le faiga faigofie ma e leai se fa'aleagaina o le si'osi'omaga, ae e maualuga le tau ma e le tele se avanoa e fa'aoga ai i le taimi nei.
1. Tekonolosi fa'amamāina o le plasma:
E masani ona fa'aaogaina le fa'amamāina o le plasma i le fa'agasologa o le aveeseina o le photoresist. E fa'aofiina sina vaega itiiti o le okesene i totonu o le faiga o le tali atu o le plasma. I lalo o le gaioiga a se fanua eletise malosi, e gaosia ai e le okesene le plasma, lea e vave ona fa'a'okesaina le photoresist i se tulaga kasa fe'avea'i ma aveese mai ai.
O lenei tekinolosi fa'amamā e iai ona lelei o le faigofie ona fa'aoga, maualuga le lelei, mama le fogā'ele'ele, leai ni maosi, ma e fesoasoani i le fa'amautinoaina o le lelei o le oloa i le fa'agasologa o le fa'amamāina. E le gata i lea, e le fa'aaogaina ai ni 'acid, alkalis ma ni solvents organic, ma e leai ni fa'afitauli e pei o le lafoa'iina o otaota ma le fa'aleagaina o le si'osi'omaga. O le mea lea, ua fa'ateleina ai le fa'atauaina e tagata. Peita'i, e le mafai ona ave'esea le kaponi ma isi mea leaga o u'amea po'o le oxide u'amea.
2. Tekinolosi fa'amamāina o le vaega kesi:
O le fa'amamāina o le kesi e fa'atatau i se metotia fa'amamā e fa'aaoga ai le tutusa o le kesi ma le mea talafeagai i le fa'agasologa vai e fegalegaleai ai ma le mea ua pisia i luga o le apa e ausia ai le fa'amoemoe o le aveeseina o mea leaga.
Mo se faʻataʻitaʻiga, i le faiga o le CMOS, o le faʻamamāina o le wafer e faʻaaogaina ai le fegalegaleaiga i le va o le kesi HF ma le ausa vai e aveese ai oxides. E masani lava, o le faiga o le HF o loʻo i ai le vai e tatau ona o faʻatasi ma se faiga e aveese ai vaega laiti, ae o le faʻaaogaina o le tekinolosi faʻamamāina o le kesi HF e le manaʻomia ai se isi faiga e aveese ai vaega laiti.
O penefiti e sili ona tāua pe a faʻatusatusa i le faiga faʻaasu HF i le vai, o le laʻititi lea o le faʻaaogaina o vailaʻau HF ma le maualuga o le lelei o le faʻamamāina.
Talia soʻo se tagata faʻatau mai le lalolagi atoa e asiasi mai ia i matou mo nisi talanoaga!
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Taimi na lafoina ai: Aokuso-13-2024