Ýarymgeçirijileriň önümçiligine gatnaşmak üçin käbir organiki we organiki däl maddalar gerek. Mundan başga-da, proses hemişe arassa otagda adamyň gatnaşmagynda geçirilýändigi üçin, ýarymgeçirijiwaflilerdürli hapaçylyklar bilen hapalanýar.
Hapalaryň çeşmesine we tebigatyna görä, olary takmynan dört kategoriýa bölmek bolýar: bölejikler, organiki maddalar, metal ionlary we oksidler.
1. Bölejikler:
Bölejikler, esasan, käbir polimerler, fotorezistler we aşındyryş hapaçylyklarydyr.
Şeýle hapalanmalar, adatça, plastinkanyň ýüzünde adsorbsiýa etmek üçin molekulalarara güýçlere daýanýar we bu bolsa geometrik şekilleriň emele gelmegine we enjamyň fotolitografiýa prosesiniň elektrik parametrlerine täsir edýär.
Şeýle hapalanmalar, esasan, olaryň ýüzi bilen gatnaşygyny kem-kemden azaltmak arkaly aýrylýarwaferfiziki ýa-da himiki usullar arkaly.
2. Organiki maddalar:
Organiki hapaçylyklaryň çeşmeleri deňeşdirme boýunça giňdir, mysal üçin, adam derisiniň ýagy, bakteriýalar, maşyn ýagy, wakuum ýagy, fotorezist, arassalaýjy eredijiler we ş.m.
Şeýle hapaçylyklar, adatça, arassalaýjy suwuklygyň wafliniň ýüzüne ýetmeginiň öňüni almak üçin wafliniň ýüzünde organiki örtük emele getirýär, netijede wafliniň ýüzüniň doly arassalanmazlygyna sebäp bolýar.
Şeýle hapaçylyklary aýyrmak köplenç arassalamak prosesiniň ilkinji tapgyrynda, esasan kükürt kislotasy we wodorod peroksidi ýaly himiki usullar arkaly amala aşyrylýar.
3. Metal ionlary:
Metallaryň umumy garyndylaryna demir, mis, alýumin, hrom, çoýun, titan, natriý, kaliý, litiý we ş.m. girýär. Esasy çeşmeler dürli gap-gaçlar, turbalar, himiki reagentler we gaýtadan işlemek wagtynda metal arabaglanyşyklary emele gelende emele gelýän metal hapalanmalarydyr.
Bu görnüşli hapaçylyk köplenç metal ion komplekslerini emele getirmek arkaly himiki usullar bilen aýrylýar.
4. Oksid:
Ýarymgeçiriji haçanwaflilerkislorod we suw saklaýan gurşawa sezewar edilende, ýüzünde tebigy oksid gatlagy emele geler. Bu oksid plýonkasy ýarymgeçiriji önümçiliginde köp proseslere päsgel berer we käbir metal garyndylaryny hem öz içine alar. Käbir şertlerde olar elektrik kemçiliklerini emele getirer.
Bu oksid plýonkasyny aýyrmak köplenç suwuklandyrylan ftor kislotasyna çümdürmek arkaly tamamlanýar.
Umumy arassalamak tertibi
Ýarymgeçirijileriň ýüzünde adsorbsiýa edilen garyndylarwaflilerüç görnüşe bölünip bilner: molekulýar, ion we atom.
Olaryň arasynda molekulýar garyndylar bilen waferiň ýüzüniň arasyndaky adsorbsiýa güýji gowşak we bu görnüşli garyndy bölejiklerini aýyrmak has aňsat. Olar esasan gidrofob häsiýetli ýagly garyndylar bolup, ýarymgeçiriji waferleriň ýüzüni hapalaýan ion we atom garyndylaryny maskalap bilýärler, bu bolsa bu iki görnüşli garyndylary aýyrmaga ýardam etmeýär. Şonuň üçin ýarymgeçiriji waferleri himiki taýdan arassalamakda ilki bilen molekulýar garyndylar aýrylmaly.
Şonuň üçin ýarymgeçirijileriň umumy prosedurasywaferarassalamak prosesi şeýle:
Demolekulýarizasiýa-deionizasiýa-deatomizasiýa-deionizasiýa edilen suwy çaýkamak.
Mundan başga-da, waferiň ýüzündäki tebigy oksid gatlagyny aýyrmak üçin suwuklandyrylan aminokislota çümdürme ädimini goşmak gerek. Şonuň üçin arassalamagyň maksady ilki bilen ýüzdäki organiki hapalanmany aýyrmak; soňra oksid gatlagyny eremek; ahyrsoňy bölejikleri we metal hapalanmasyny aýyrmak we şol bir wagtyň özünde ýüzi passiwleşdirmekdir.
Umumy arassalaýyş usullary
Ýarymgeçirijili plitalary arassalamak üçin köplenç himiki usullar ulanylýar.
Himiki arassalamak, dürli himiki reagentleri we organiki erginleri ulanyp, waferiň ýüzündäki hapaçylyklary we ýag lekelerini reaksiýa bermek ýa-da eredip, hapaçylyklary sorbsiýa etmek we soňra arassa ýüz almak üçin köp mukdarda ýokary arassalykly gyzgyn we sowuk deionlaşdyrylan suw bilen ýuwmak prosesini aňladýar.
Himiki arassalamak çygly himiki arassalamak we gurak himiki arassalamak ýaly iki bölege bölünip bilner, olaryň arasynda çygly himiki arassalamak henizem agdyklyk edýär.
Çygly himiki arassalamak
1. Çygly himiki arassalamak:
Çygly himiki arassalamak, esasan, ergini batyrmak, mehaniki sürtmek, ultrases arassalamak, megases arassalamak, aýlawly püskürtmek we ş.m. öz içine alýar.
2. Çözgüdi batyrmak:
Ergini çümdürmek, waferi himiki ergine çümdürmek arkaly ýüzdäki hapalanmany aýyrmagyň usulydyr. Bu çygly himiki arassalamakda iň köp ulanylýan usuldyr. Waferiň ýüzündäki dürli görnüşli hapalanmalary aýyrmak üçin dürli erginler ulanylyp bilner.
Adatça, bu usul waferiň ýüzündäki hapalyklary doly aýryp bilmeýär, şonuň üçin suwa çümdürilende köplenç gyzdyrmak, ultrases we garyşdyrmak ýaly fiziki çäreler ulanylýar.
3. Mehaniki süpürmek:
Mehaniki süpürgiç köplenç waferiň ýüzündäki bölejikleri ýa-da organiki galyndylary aýyrmak üçin ulanylýar. Umuman, ony iki usula bölmek bolýar:el bilen we süpürgiç bilen süpürmek.
El bilen süpürmekiň ýönekeý süpürmek usulydyr. Suwsuz etanol ýa-da beýleki organiki erginlere çümdürilen topy saklamak we mum plýonkasyny, tozany, galan ýelimi ýa-da beýleki gaty bölejikleri aýyrmak üçin waferiň ýüzüni şol bir ugurda ýuwaşlyk bilen sürtmek üçin polatdan ýasalan çotka ulanylýar. Bu usul dyrnaklara we çynlakaý hapalanmalara sebäp bolmagy aňsat.
Süpürgiç wafliniň ýüzüni ýumşak ýüň çotgasy ýa-da garyşyk çotga bilen sürtmek üçin mehaniki aýlawy ulanýar. Bu usul waflidäki dyrnaklary ep-esli azaldýar. Ýokary basyşly süpürgiç mehaniki sürtülmäniň ýoklugy sebäpli waflini dyrnaklamaýar we oýukdaky hapaçylygy aýryp bilýär.
4. Ultrases arassalamak:
Ultrases arassalamak ýarymgeçirijiler senagatynda giňden ulanylýan arassalamak usulydyr. Onuň artykmaçlyklary gowy arassalamak täsiri, ýönekeý işlemegi we çylşyrymly enjamlary we gaplary hem arassalap bilmegidir.
Bu arassalamak usuly güýçli ultrases tolkunlarynyň täsiri astynda amala aşyrylýar (köp ulanylýan ultrases ýygylygy 2040 kHz) we suwuk gurşawyň içinde seýrek we dykyz bölekler emele geler. Seýrek bölek tas wakuum boşluk köpürjigini emele geler. Boşluk köpürjigi ýitip gidende, onuň golaýynda güýçli ýerli basyş döreýär we molekulalardaky himiki baglanyşyklary bozup, plastina ýüzündäki hapalyklary ereýär. Ultrases arassalamak eremeýän ýa-da eremeýän flux galyndylaryny aýyrmak üçin iň netijelidir.
5. Megasonic arassalamak:
Megasonic arassalamak diňe bir ultrases arassalamagyň artykmaçlyklaryna eýe bolmak bilen çäklenmän, eýsem onuň kemçiliklerini hem ýeňip geçýär.
Megasonic arassalamak, ýokary energiýaly (850kHz) ýygylykly titreme täsirini himiki arassalaýjy serişdeleriň himiki reaksiýasy bilen utgaşdyrmak arkaly waferleri arassalamak usulydyr. Arassalamak wagtynda ergin molekulalary megasonic tolkun bilen tizleşdirilýär (maksimum derrew tizlik 30smVs ýetip biler) we ýokary tizlikli suwuklyk tolkun waferiň ýüzüne yzygiderli täsir edýär, şonuň üçin waferiň ýüzüne ýapyşan hapa maddalar we ownuk bölejikler güýç bilen aýrylyp, arassalaýjy ergine girýär. Arassalaýjy ergine kislotaly surfaktantlary goşmak, bir tarapdan, surfaktantlaryň adsorbsiýasy arkaly jylawlaýjy ýüzdäki bölejikleri we organiki maddalary aýyrmak maksadyna ýetip biler; beýleki tarapdan, surfaktantlaryň we kislotaly gurşawyň integrasiýasy arkaly, jylawlaýjy listiň ýüzündäki metal hapalanmasyny aýyrmak maksadyna ýetip biler. Bu usul bir wagtyň özünde mehaniki süpürmek we himiki arassalamak rolyny oýnap biler.
Häzirki wagtda megasonik arassalamak usuly jylawlaýjy listleri arassalamak üçin netijeli usula öwrüldi.
6. Aýlawly püskürtme usuly:
Aýlanýan püskürtme usuly, waferi ýokary tizlikde aýlamak üçin mehaniki usullary ulanýan we waferiň ýüzündäki hapalyklary aýyrmak üçin aýlanma prosesinde waferiň ýüzüne yzygiderli suwuklyk (ýokary arassalykly deionizirlenen suw ýa-da başga arassalaýjy suwuklyk) püskürýän usuldyr.
Bu usul waferiň ýüzündäki hapalanmany püskürdilen suwuklykda eremek üçin ulanýar (ýa-da onuň bilen himiki reaksiýa arkaly reaksiýa geçirip ereýär) we ýokary tizlikli aýlanmagyň merkezden gaçyryş täsirini ulanyp, hapaçylyklary öz içine alýan suwuklygy waferiň ýüzünden wagtyň geçmegi bilen aýyrýar.
Aýlawly püskürtme usuly himiki arassalamak, suwuklyk mehanikasyny arassalamak we ýokary basyşly sürtmek ýaly artykmaçlyklara eýedir. Şol bir wagtyň özünde, bu usul guradyş prosesi bilen hem utgaşdyrylyp bilner. Deionizirlenen suw püskürtme arassalamak döwründen soň, suw püskürtmesi togtadylýar we püskürtme gazy ulanylýar. Şol bir wagtyň özünde, waferiň ýüzüni çalt suwsuzlandyrmak üçin merkezden gaçyryş güýjüni artdyrmak maksady bilen aýlanma tizligini ýokarlandyryp bolýar.
7.Gury himiki arassalamak
Gury arassalamak erginleri ulanmaýan arassalamak tehnologiýasyny aňladýar.
Häzirki wagtda ulanylýan himiki arassalamak tehnologiýalaryna plazma arassalamak tehnologiýasy, gaz fazasyny arassalamak tehnologiýasy, şöhle arassalamak tehnologiýasy we ş.m. girýär.
Himiki arassalamagyň artykmaçlyklary prosesiň ýönekeýligi we daşky gurşawyň hapalanmagynyň ýoklugydyr, ýöne bahasy ýokary we ulanylyş çäkleri häzirlikçe uly däl.
1. Plazma arassalaýyş tehnologiýasy:
Plazma arassalamak köplenç fotorezisti aýyrmak prosesinde ulanylýar. Plazma reaksiýa ulgamyna az mukdarda kislorod girizilýär. Güýçli elektrik meýdanynyň täsiri astynda kislorod plazmany döredýär, ol bolsa fotorezisti çalt uçujy gaz ýagdaýyna okislendirýär we ekstraksiýa edilýär.
Bu arassalaýyş tehnologiýasynyň aňsat işlemegi, ýokary netijeliligi, arassa ýüzi, çyzyklaryň ýoklugy ýaly artykmaçlyklary bar we çöpleri arassalamak prosesinde önümiň hilini üpjün etmäge ýardam edýär. Mundan başga-da, ol kislotalary, şekerleri we organiki erginleri ulanmaýar we galyndylary ýok etmek we daşky gurşawyň hapalanmagy ýaly meseleler ýok. Şonuň üçin ol adamlar tarapyndan barha gymmata eýe bolýar. Şeýle-de bolsa, ol uglerody we beýleki uçujy däl metal ýa-da metal oksidi hapaçylyklaryny aýryp bilmeýär.
2. Gaz fazasyny arassalamak tehnologiýasy:
Gaz fazasyny arassalamak, hapalyklary aýyrmak maksadyna ýetmek üçin plastina ýüzündäki hapalanan madda bilen özara täsirleşmek üçin suwuklyk prosesinde degişli maddanyň gaz faza ekwiwalentini ulanýan arassalamak usulyna degişlidir.
Mysal üçin, CMOS prosesinde wafer arassalamak oksidleri aýyrmak üçin gaz fazaly HF bilen suw bugunyň arasyndaky özara täsiri ulanýar. Adatça, suwy öz içine alýan HF prosesi bölejikleri aýyrmak prosesi bilen birlikde bolmaly, gaz fazaly HF arassalamak tehnologiýasyny ulanmak bolsa soňraky bölejikleri aýyrmak prosesini talap etmeýär.
Suwly HF prosesi bilen deňeşdirilende iň möhüm artykmaçlyklar HF himiki sarp edilişiniň has az bolmagy we arassalaýyş netijeliliginiň ýokary bolmagydyr.
Dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilerimizi goşmaça pikir alyşmak üçin bize gelmegiňize hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 13-nji awgusty