Pono kekahi mau mea olaola a me nā mea ʻole olaola e komo i ka hana semiconductor. Eia kekahi, ʻoiai ke hana mau ʻia nei ke kaʻina hana i loko o kahi lumi maʻemaʻe me ka komo ʻana o ke kanaka, semiconductornā wafersua haumia mau ʻia e nā ʻano haumia like ʻole.
Wahi a ke kumu a me ke ʻano o nā mea haumia, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia lākou i ʻehā mau māhele: nā ʻāpana, nā mea olaola, nā ion metala a me nā oxides.
1. Nā ʻāpana:
ʻO nā ʻāpana he mau polymers, photoresists a me nā haumia etching.
ʻO ka maʻamau, hilinaʻi kēlā mau mea haumia i nā mana intermolecular e adsorb ma luna o ka wafer, e hoʻopilikia ana i ka hoʻokumu ʻia ʻana o nā kiʻi geometric a me nā ʻāpana uila o ke kaʻina hana photolithography hāmeʻa.
Hoʻoneʻe nui ʻia kēlā mau mea haumia ma ka hoʻemi mālie ʻana i ko lākou wahi pili me ka ʻili o kawaferma o nā ʻano kino a kemika paha.
2. Mea olaola:
He ākea loa nā kumu o nā haumia organik, e like me ka ʻaila ʻili kanaka, ka bacteria, ka ʻaila mīkini, ka ʻaila vacuum, ka photoresist, nā mea hoʻoheheʻe hoʻomaʻemaʻe, a pēlā aku.
ʻO ka maʻamau, hana kēlā mau mea haumia i kahi ʻili organik ma luna o ka wafer e pale ai i ka wai hoʻomaʻemaʻe mai ka hiki ʻana aku i ka ʻili o ka wafer, e hopena ana i ka hoʻomaʻemaʻe piha ʻole ʻana o ka ʻili wafer.
ʻO ka wehe ʻana i ia mau mea haumia e hana pinepine ʻia ma ke kaʻina mua o ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe, me ka hoʻohana ʻana i nā ʻano kemika e like me ka sulfuric acid a me ka hydrogen peroxide.
3. Nā ʻiona metala:
ʻO nā mea haumia metala maʻamau e komo pū ana me ka hao, ke keleawe, ka alumini, ka chromium, ka hao i hoʻolei ʻia, ka titanium, ka sodium, ka potassium, ka lithium, a me nā mea ʻē aʻe. ʻO nā kumu nui he mau lako like ʻole, nā paipu, nā reagents kemika, a me ka haumia metala i hana ʻia ke hoʻokumu ʻia nā pilina metala i ka wā o ka hana ʻana.
Hoʻopau pinepine ʻia kēia ʻano haumia e nā hana kemika ma o ka hoʻokumu ʻia ʻana o nā ʻāpana ion metala.
4. ʻOkika:
I ka wā semiconductornā wafersinā i hōʻike ʻia i kahi kaiapuni e loaʻa ana ka oxygen a me ka wai, e hana ʻia kahi papa oxide kūlohelohe ma luna o ka ʻili. E hoʻopilikia kēia kiʻiʻoniʻoni oxide i nā kaʻina hana he nui i ka hana semiconductor a loaʻa pū kekahi mau haumia metala. Ma lalo o kekahi mau kūlana, e hana lākou i nā hemahema uila.
Hoʻopau pinepine ʻia ka wehe ʻana o kēia ʻili oxide ma ka hoʻomoʻa ʻana i loko o ka waikawa hydrofluoric dilute.
Kaʻina hoʻomaʻemaʻe laulā
Nā mea haumia i hoʻopili ʻia ma luna o ka ʻili o ka semiconductornā wafershiki ke puʻunaue ʻia i ʻekolu ʻano: molekala, ionic a me atomika.
I waena o lākou, nāwaliwali ka ikaika adsorption ma waena o nā haumia molekala a me ka ʻili o ka wafer, a he maʻalahi ke wehe ʻana i kēia ʻano o nā ʻāpana haumia. ʻO ka hapa nui o lākou he mau haumia ʻaila me nā ʻano hydrophobic, hiki ke hāʻawi i ka uhi ʻana no nā haumia ionic a me atomic e haumia ana i ka ʻili o nā wafers semiconductor, ʻaʻole ia e kūpono i ka wehe ʻana i kēia mau ʻano haumia ʻelua. No laila, i ka wā e hoʻomaʻemaʻe kemika ai i nā wafers semiconductor, pono e wehe mua ʻia nā haumia molekala.
No laila, ke kaʻina hana maʻamau o ka semiconductorwaferʻo ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe:
De-molecularization-deionization-de-atomization-holoi wai deionized.
Eia kekahi, i mea e wehe ai i ka papa oxide kūlohelohe ma luna o ka ʻili o ka wafer, pono e hoʻohui ʻia kahi hana hoʻomoʻa waikawa amino dilute. No laila, ʻo ka manaʻo o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, ʻo ia ka wehe mua ʻana i ka haumia organik ma luna o ka ʻili; a laila hoʻoheheʻe i ka papa oxide; i ka hopena e wehe i nā ʻāpana a me ka haumia metala, a hoʻopau i ka ʻili i ka manawa like.
Nā ʻano hoʻomaʻemaʻe maʻamau
Hoʻohana pinepine ʻia nā ʻano kemika no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i nā wafers semiconductor.
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe kemika e pili ana i ke kaʻina hana o ka hoʻohana ʻana i nā reagents kemika like ʻole a me nā solvent organik e hana ai a hoʻoheheʻe paha i nā haumia a me nā ʻōpala aila ma luna o ka wafer e hoʻoheheʻe i nā haumia, a laila holoi me ka nui o ka wai wela a me ke anu deionized kiʻekiʻe e loaʻa ai kahi ʻili maʻemaʻe.
Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka hoʻomaʻemaʻe kemika i ka hoʻomaʻemaʻe kemika pulu a me ka hoʻomaʻemaʻe kemika maloʻo, kahi i hoʻomau mau ai ka hoʻomaʻemaʻe kemika pulu.
Hoʻomaʻemaʻe kemika pulu
1. Hoʻomaʻemaʻe kemika pulu:
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe kemika pulu e komo nui ana i ka hoʻokomo ʻana i ka hopena, ka holoi mīkini, ka hoʻomaʻemaʻe ultrasonic, ka hoʻomaʻemaʻe megasonic, ka pīpī rotary, a me nā mea ʻē aʻe.
2. Hoʻokomo ʻana i ka hopena:
ʻO ke komo ʻana i loko o ka wai he ʻano hana ia e wehe ai i ka haumia o ka ʻili ma ka hoʻokomo ʻana i ka wafer i loko o kahi wai kemika. ʻO ia ke ʻano hana i hoʻohana pinepine ʻia i ka hoʻomaʻemaʻe kemika pulu. Hiki ke hoʻohana ʻia nā ʻano wai like ʻole e wehe i nā ʻano haumia like ʻole ma ka ʻili o ka wafer.
ʻO ka maʻamau, ʻaʻole hiki i kēia ʻano hana ke hoʻopau loa i nā mea haumia ma luna o ka wafer, no laila hoʻohana pinepine ʻia nā hana kino e like me ka hoʻomehana ʻana, ka ultrasound, a me ka hoʻoulu ʻana i ka wā e hoʻokomo ai.
3. Ka holoi ʻana me ka mīkini:
Hoʻohana pinepine ʻia ka holoi mīkini e wehe i nā ʻāpana a i ʻole nā koe organik ma luna o ka wafer. Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia i ʻelua mau ʻano:ka holoi lima ʻana a me ka holoi ʻana e ka mea holoi.
Ka holoi lima ʻanaʻO ke ʻano holoi maʻalahi loa. Hoʻohana ʻia kahi palaki kila kila e paʻa i kahi pōpō i hoʻomoʻa ʻia i loko o ka ethanol anhydrous a i ʻole nā mea hoʻoheheʻe organik ʻē aʻe a hamo mālie i ka ʻili o ka wafer ma ke kuhikuhi like e wehe i ka ʻili wax, ka lepo, ke kola koena a i ʻole nā mea paʻa ʻē aʻe. He maʻalahi kēia ʻano hana e hana i nā ʻōpala a me ka haumia koʻikoʻi.
Hoʻohana ka mea holoi i ka wili mechanical e hamo i ka ʻili o ka wafer me kahi pulumu huluhulu palupalu a i ʻole kahi pulumu i hui ʻia. Hoʻemi nui kēia ʻano hana i nā ʻōpala ma ka wafer. ʻAʻole e ʻōpala ka mea holoi kiʻekiʻe i ka wafer ma muli o ka nele o ka haʻalulu mechanical, a hiki ke wehe i ka haumia i loko o ke awāwa.
4. Hoʻomaʻemaʻe ultrasonic:
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe ultrasonic kahi ʻano hoʻomaʻemaʻe i hoʻohana nui ʻia i ka ʻoihana semiconductor. ʻO kona mau pono he hopena hoʻomaʻemaʻe maikaʻi, hana maʻalahi, a hiki ke hoʻomaʻemaʻe i nā mea hana a me nā ipu paʻakikī.
Aia kēia ʻano hoʻomaʻemaʻe ma lalo o ka hana a nā nalu ultrasonic ikaika (ʻo ke alapine ultrasonic maʻamau i hoʻohana ʻia he 20s40kHz), a e hana ʻia nā ʻāpana sparse a mānoanoa i loko o ka wai. E hana ka ʻāpana sparse i kahi pehu lua kokoke i ka vacuum. Ke nalowale ka pehu lua, e hana ʻia kahi kaomi kūloko ikaika ma kahi kokoke iā ia, e uhaʻi ana i nā pilina kemika i loko o nā mole e hoʻoheheʻe i nā haumia ma ka ʻili wafer. ʻO ka hoʻomaʻemaʻe ultrasonic ka mea kūpono loa no ka wehe ʻana i nā koena flux insoluble a i ʻole insoluble.
5. Hoʻomaʻemaʻe Megasonic:
ʻAʻole wale nā maikaʻi o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o Megasonic i ka hoʻomaʻemaʻe ultrasonic, akā lanakila pū kekahi i kona mau hemahema.
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe Megasonic kahi ʻano hana o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i nā wafers ma ka hoʻohui ʻana i ka hopena haʻalulu alapine kiʻekiʻe (850kHz) me ka hopena kemika o nā mea hoʻomaʻemaʻe kemika. I ka wā o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, hoʻolalelale ʻia nā molekole hopena e ka nalu megasonic (hiki i ka wikiwiki koke ke hiki i 30cmVs), a hoʻopilikia mau ka nalu wai wikiwiki i ka ʻili o ka wafer, i hiki ai ke hoʻoneʻe ikaika ʻia nā mea haumia a me nā ʻāpana liʻiliʻi i hoʻopili ʻia i ka ʻili o ka wafer a komo i loko o ka hopena hoʻomaʻemaʻe. ʻO ka hoʻohui ʻana i nā surfactants acidic i ka hopena hoʻomaʻemaʻe, ma kekahi ʻaoʻao, hiki ke hoʻokō i ke kumu o ka wehe ʻana i nā ʻāpana a me nā mea olaola ma ka ʻili polishing ma o ka adsorption o nā surfactants; ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe, ma o ka hoʻohui ʻana o nā surfactants a me ke kaiapuni acidic, hiki ke hoʻokō i ke kumu o ka wehe ʻana i ka haumia metala ma ka ʻili o ka pepa polishing. Hiki i kēia ʻano hana ke hana i ka holoi mīkini a me ka hoʻomaʻemaʻe kemika i ka manawa like.
I kēia manawa, ua lilo ke ʻano hoʻomaʻemaʻe megasonic i mea hana kūpono no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i nā pepa polishing.
6. ʻAno pīpī wili:
ʻO ke ʻano pīpī rotary kahi ʻano e hoʻohana ai i nā ʻano mechanical e hoʻohuli i ka wafer i ka wikiwiki kiʻekiʻe, a hoʻomau i ka pīpī ʻana i ka wai (wai deionized maʻemaʻe kiʻekiʻe a i ʻole ka wai hoʻomaʻemaʻe ʻē aʻe) ma luna o ka wafer i ka wā o ke kaʻina hana hoʻohuli e wehe i nā haumia ma luna o ka wafer.
Hoʻohana kēia ʻano hana i ka haumia ma luna o ka wafer e hoʻoheheʻe i loko o ka wai i pīpī ʻia (a i ʻole e hana kemika me ia e hoʻoheheʻe), a hoʻohana i ka hopena centrifugal o ka hoʻohuli wikiwiki e hoʻokaʻawale i ka wai i loaʻa nā haumia mai ka ʻili o ka wafer i ka manawa.
Loaʻa i ke ʻano pīpī wili nā pono o ka hoʻomaʻemaʻe kemika, ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka mechanics fluid, a me ka holoi ʻana i ke kaomi kiʻekiʻe. I ka manawa like, hiki ke hoʻohui pū ʻia kēia ʻano me ke kaʻina hana hoʻomaloʻo. Ma hope o kekahi manawa o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka wai deionized, ua hoʻōki ʻia ka pīpī wai a hoʻohana ʻia kahi kinoea pīpī. I ka manawa like, hiki ke hoʻonui ʻia ka wikiwiki o ka wili e hoʻonui i ka ikaika centrifugal e hoʻomaloʻo koke i ka ʻili o ka wafer.
7.Hoʻomaʻemaʻe kemika maloʻo
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe maloʻo e pili ana i ka ʻenehana hoʻomaʻemaʻe e hoʻohana ʻole ana i nā hoʻonā.
ʻO nā ʻenehana hoʻomaʻemaʻe maloʻo i hoʻohana ʻia i kēia manawa: ʻenehana hoʻomaʻemaʻe plasma, ʻenehana hoʻomaʻemaʻe pae kinoea, ʻenehana hoʻomaʻemaʻe kukuna, a pēlā aku.
ʻO nā pono o ka hoʻomaʻemaʻe maloʻo he hana maʻalahi a ʻaʻohe haumia o ke kaiapuni, akā kiʻekiʻe ke kumukūʻai a ʻaʻole nui ka laulā o ka hoʻohana ʻana no kēia manawa.
1. ʻenehana hoʻomaʻemaʻe plasma:
Hoʻohana pinepine ʻia ka hoʻomaʻemaʻe plasma i ke kaʻina hana wehe photoresist. Hoʻokomo ʻia kahi liʻiliʻi o ka oxygen i loko o ka ʻōnaehana hana plasma. Ma lalo o ka hana a kahi kahua uila ikaika, hoʻopuka ka oxygen i ka plasma, ka mea e hoʻopau koke i ka photoresist i loko o kahi kūlana kinoea volatile a unuhi ʻia.
Loaʻa i kēia ʻenehana hoʻomaʻemaʻe nā pono o ka hana maʻalahi, ka pono kiʻekiʻe, ka ʻili maʻemaʻe, ʻaʻohe ʻōpala, a he mea kūpono ia no ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka huahana i ke kaʻina hana degumming. Eia kekahi, ʻaʻole ia e hoʻohana i nā waikawa, alkalis a me nā mea hoʻoheheʻe organik, a ʻaʻohe pilikia e like me ka hoʻolei ʻōpala a me ka haumia o ke kaiapuni. No laila, ke mahalo nui ʻia nei e nā kānaka. Eia naʻe, ʻaʻole hiki iā ia ke wehe i ke kalapona a me nā mea haumia ʻē aʻe o ka metala a i ʻole ka oxide metala.
2. ʻenehana hoʻomaʻemaʻe pae kinoea:
ʻO ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ke kinoea e pili ana i kahi ʻano hoʻomaʻemaʻe e hoʻohana ana i ke ʻano like o ke kinoea o ka mea like i ke kaʻina hana wai e launa pū me ka mea haumia ma luna o ka wafer e hoʻokō ai i ke kumu o ka wehe ʻana i nā haumia.
No ka laʻana, ma ke kaʻina hana CMOS, hoʻohana ka hoʻomaʻemaʻe wafer i ka pilina ma waena o ka pae kinoea HF a me ka mahu wai e wehe i nā oxides. ʻO ka maʻamau, pono e hele pū ʻia ke kaʻina hana HF e loaʻa ana ka wai me kahi kaʻina hana wehe ʻāpana, ʻoiai ʻo ka hoʻohana ʻana i ka ʻenehana hoʻomaʻemaʻe pae kinoea HF ʻaʻole ia e koi i kahi kaʻina hana wehe ʻāpana ma hope.
ʻO nā pōmaikaʻi nui loa i hoʻohālikelike ʻia me ke kaʻina hana HF wai, ʻo ia ka liʻiliʻi o ka hoʻohana ʻana i nā kemika HF a me ka ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana.
Hoʻokipa i nā mea kūʻai mai nā wahi a puni o ka honua e kipa mai iā mākou no kahi kūkākūkā hou aku!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Ka manawa hoʻouna: Aug-13-2024