Gen kèk sibstans òganik ak inòganik ki nesesè pou patisipe nan fabrikasyon semi-kondiktè. Anplis de sa, piske pwosesis la toujou fèt nan yon chanm pwòp avèk patisipasyon moun, semi-kondiktègofryo inevitableman kontamine pa divès enpurte.
Selon sous ak nati kontaminan yo, yo ka divize an kat kategori: patikil, matyè òganik, iyon metal ak oksid.
1. Patikil:
Patikil yo se sitou kèk polymère, fotorezist ak enpurte grave.
Kontaminan sa yo anjeneral konte sou fòs entèmolekilè pou yo absòbe sou sifas waf la, sa ki afekte fòmasyon figi jeyometrik ak paramèt elektrik pwosesis fotolitografi aparèy la.
Yo retire kontaminan sa yo sitou lè yo diminye piti piti sifas kontak yo ak sifas la.waflètatravè metòd fizik oswa chimik.
2. Matyè òganik:
Sous enpurte òganik yo relativman laj, tankou lwil po moun, bakteri, lwil machin, grès vakyòm, fotorezist, solvan netwayaj, elatriye.
Kontaminan sa yo anjeneral fòme yon fim òganik sou sifas wafer la pou anpeche likid netwayaj la rive sou sifas wafer la, sa ki lakòz netwayaj sifas wafer la pa konplè.
Souvan, yo retire kontaminan sa yo nan premye etap pwosesis netwayaj la, sitou lè l sèvi avèk metòd chimik tankou asid silfirik ak oksijene idwojèn.
3. Iyon metalik:
Enpurte metal komen yo enkli fè, kwiv, aliminyòm, chromium, fè jete, Titàn, sodyòm, potasyòm, ityòm, elatriye. Sous prensipal yo se divès kalite istansil, tiyo, reyaktif chimik, ak polisyon metal ki pwodui lè koneksyon metal yo fòme pandan pwosesis la.
Souvan, yo retire kalite enpurte sa a pa metòd chimik atravè fòmasyon konplèks iyon metal.
4. Oksid:
Lè semi-kondiktègofrSi yo ekspoze a yon anviwònman ki gen oksijèn ak dlo, yon kouch oksid natirèl ap fòme sou sifas la. Fim oksid sa a ap anpeche anpil pwosesis nan fabrikasyon semikondiktè epi li genyen tou sèten enpurte metal. Nan sèten kondisyon, y ap fòme domaj elektrik.
Souvan, yo retire fim oksid sa a lè yo tranpe l nan asid idroflorik dilye.
Sekans netwayaj jeneral
Enpurte ki absòbe sou sifas semi-kondiktè agofrLi kapab divize an twa kalite: molekilè, iyonik ak atomik.
Pami yo, fòs adsorption ant enpurte molekilè yo ak sifas wafer la fèb, epi kalite patikil enpurte sa yo relativman fasil pou retire. Yo se sitou enpurte lwil ki gen karakteristik idrofob, ki ka bay mask pou enpurte iyonik ak atomik ki kontamine sifas wafer semi-kondiktè yo, ki pa fezab pou retire de kalite enpurte sa yo. Se poutèt sa, lè w ap netwaye wafer semi-kondiktè chimikman, enpurte molekilè yo ta dwe retire an premye.
Se poutèt sa, pwosedi jeneral semi-kondiktè awaflètPwosesis netwayaj la se:
Rense ak dlo demolekilarizasyon-deyonizasyon-deatomizasyon-deyonize.
Anplis de sa, pou retire kouch oksid natirèl la sou sifas waf la, yo bezwen ajoute yon etap tranpe nan asid amine dilye. Se poutèt sa, lide netwayaj la se premye retire kontaminasyon òganik sou sifas la; answit fonn kouch oksid la; finalman retire patikil ak kontaminasyon metal, epi pasive sifas la an menm tan.
Metòd netwayaj komen yo
Metòd chimik yo souvan itilize pou netwaye waf semi-kondiktè yo.
Netwayaj chimik refere a pwosesis pou itilize divès reyaktif chimik ak solvang òganik pou reyaji oswa fonn enpurte ak tach lwil sou sifas wafer la pou desorbe enpurte yo, epi answit rense l avèk yon gwo kantite dlo deyonize cho ak frèt ki gen anpil pite pou jwenn yon sifas pwòp.
Netwayaj chimik la kapab divize an netwayaj chimik mouye ak netwayaj chimik sèk, pami yo netwayaj chimik mouye a toujou dominan.
Netwayaj chimik mouye
1. Netwayaj chimik mouye:
Netwayaj chimik mouye a gen ladan sitou imèsyon solisyon, fwote mekanik, netwayaj à ultrasons, netwayaj megasonik, flite rotary, elatriye.
2. Imèsyon nan solisyon:
Imèsyon nan solisyon se yon metòd pou retire kontaminasyon sifas lè w plonje waf la nan yon solisyon chimik. Li se metòd ki pi souvan itilize nan netwayaj chimik mouye. Ou ka itilize diferan solisyon pou retire diferan kalite kontaminan sou sifas waf la.
Anjeneral, metòd sa a pa ka retire nèt enpurte ki sou sifas waf la, kidonk mezi fizik tankou chofaj, iltrason, ak brase yo souvan itilize pandan y ap plonje.
3. Fwote mekanik:
Yo souvan itilize fwote mekanik pou retire patikil oswa rezidi òganik sou sifas waf la. Anjeneral, yo ka divize l an de metòd:fwote manyèl ak fwote pa yon eswiyè.
Fwote manyèlSe metòd fwote ki pi senp lan. Yo itilize yon bwòs asye pur pou kenbe yon boul tranpe nan etanòl anid oswa lòt solvan òganik epi fwote sifas waf la dousman nan menm direksyon an pou retire fim sir, pousyè, lakòl rezidyèl oswa lòt patikil solid. Metòd sa a fasil pou lakòz reyur ak polisyon grav.
Siye a itilize wotasyon mekanik pou fwote sifas waf la avèk yon bwòs lenn mouton mou oswa yon bwòs melanje. Metòd sa a diminye anpil reyur sou waf la. Siye presyon an wo a pa pral grate waf la akòz mank friksyon mekanik, epi li ka retire kontaminasyon nan fant lan.
4. Netwayaj ultrasonik:
Netwayaj ultrasons se yon metòd netwayaj ki lajman itilize nan endistri semi-kondiktè. Avantaj li yo se bon efè netwayaj, operasyon senp, epi li ka netwaye aparèy ak resipyan konplèks tou.
Metòd netwayaj sa a fèt anba aksyon gwo vag ultrasons (frekans ultrasons ki pi souvan itilize a se 20s40kHz), epi pati ki ra ak dans yo pral pwodui andedan likid ki nan likid la. Pati ki ra a pral pwodui yon ti boul kavite prèske vid. Lè ti boul kavite a disparèt, yon gwo presyon lokal pral pwodui toupre li, kraze lyezon chimik ki nan molekil yo pou fonn enpurte ki sou sifas waf la. Netwayaj ultrasons pi efikas pou retire rezidi flux ki pa fonn oswa ki pa fonn.
5. Netwayaj megasonik:
Netwayaj megasonik pa sèlman gen avantaj netwayaj ultrasonik, men tou li simonte enpèfeksyon li yo.
Netwayaj megasonik se yon metòd pou netwaye waf yo lè li konbine efè vibrasyon frekans wo enèji (850kHz) ak reyaksyon chimik ajan netwayaj chimik yo. Pandan netwayaj la, molekil solisyon yo akselere pa vag megasonik la (vitès maksimòm enstantane a ka rive nan 30cmVs), epi vag likid wo vitès la kontinyèlman frape sifas waf la, pou polisyon ak patikil amann ki tache ak sifas waf la retire ak fòs epi antre nan solisyon netwayaj la. Ajoute surfactants asid nan solisyon netwayaj la, yon bò, ka reyalize objektif pou retire patikil ak matyè òganik sou sifas polisaj la atravè adsorption surfactants; yon lòt bò, atravè entegrasyon surfactants ak anviwònman asid, li ka reyalize objektif pou retire kontaminasyon metal sou sifas fèy polisaj la. Metòd sa a ka jwe wòl siye mekanik ak netwayaj chimik an menm tan.
Kounye a, metòd netwayaj megasonik la vin tounen yon metòd efikas pou netwaye fèy polisaj yo.
6. Metòd espre Rotary:
Metòd espre rotary a se yon metòd ki itilize metòd mekanik pou Thorne wafer la nan yon vitès ki wo, epi kontinyèlman flite likid (dlo deyonize ki gen anpil pite oswa lòt likid netwayaj) sou sifas wafer la pandan pwosesis wotasyon an pou retire enpurte ki sou sifas wafer la.
Metòd sa a itilize kontaminasyon ki sou sifas waf la pou l fonn nan likid flite a (oswa reyaji chimikman avèk li pou l fonn), epi li itilize efè santrifij wotasyon gwo vitès la pou fè likid ki gen enpurte yo separe de sifas waf la alè.
Metòd espre rotary a gen avantaj netwayaj chimik, netwayaj mekanik likid, ak fwote anba gwo presyon. An menm tan, metòd sa a kapab tou konbine avèk pwosesis siye a. Apre yon peryòd netwayaj espre dlo deyonize, yo sispann espre dlo a epi yo itilize yon gaz espre. An menm tan, yo ka ogmante vitès wotasyon an pou ogmante fòs santrifij la pou dezidrate sifas waf la byen vit.
7.Netwayaj chimik sèk
Netwayaj à sec refere a teknoloji netwayaj ki pa itilize solisyon.
Teknoloji netwayaj sèk yo itilize kounye a yo enkli: teknoloji netwayaj plasma, teknoloji netwayaj faz gaz, teknoloji netwayaj gwo bout bwa, elatriye.
Avantaj netwayaj sèk yo se pwosesis senp epi pa gen polisyon anviwònman, men pri a wo epi sijè ki abòde itilizasyon an pa gwo pou kounye a.
1. Teknoloji netwayaj plasma:
Netwayaj plasma souvan itilize nan pwosesis retire fotorezist la. Yo entwodui yon ti kantite oksijèn nan sistèm reyaksyon plasma a. Anba aksyon yon gwo chan elektrik, oksijèn nan pwodui plasma, ki byen vit okside fotorezist la nan yon eta gaz temèt epi yo ekstrè li.
Teknoloji netwayaj sa a gen avantaj tankou fasilite pou itilize, gwo efikasite, sifas pwòp, pa gen reyur, epi li fezab pou asire kalite pwodwi nan pwosesis degumming lan. Anplis, li pa itilize asid, alkali ak solvang òganik, epi pa gen okenn pwoblèm tankou jete fatra ak polisyon anviwònman an. Se poutèt sa, li de pli zan pli apresye pa moun. Sepandan, li pa ka retire kabòn ak lòt enpurte metal ki pa temèt oswa oksid metal.
2. Teknoloji netwayaj faz gaz:
Netwayaj faz gaz la refere a yon metòd netwayaj ki itilize ekivalan faz gaz sibstans korespondan an nan pwosesis likid la pou kominike avèk sibstans ki kontamine sou sifas waf la pou reyalize objektif pou retire enpurte yo.
Pa egzanp, nan pwosesis CMOS la, netwayaj waf la itilize entèraksyon ant faz gaz HF ak vapè dlo pou retire oksid yo. Anjeneral, pwosesis HF ki gen dlo a dwe akonpaye pa yon pwosesis retire patikil, alòske itilizasyon teknoloji netwayaj HF faz gaz la pa mande pou yon pwosesis retire patikil apre sa.
Avantaj ki pi enpòtan yo konpare ak pwosesis HF akeuz la se konsomasyon pwodui chimik HF ki pi piti ak pi gwo efikasite netwayaj.
Byenveni nenpòt kliyan ki soti toupatou nan mond lan pou vizite nou pou yon diskisyon pi lwen!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Dat piblikasyon: 13 Out 2024