A chọrọ ka ụfọdụ ihe ndị dị ndụ na ndị na-adịghị ndụ mepụta ihe ndị na-emepụta ...wafersa na-emetọ ha site na ihe ndị na-adịghị ọcha dị iche iche.
Dịka isi mmalite na ọdịdị nke ihe ndị na-emerụ ahụ si dị, enwere ike kewaa ha n'ime ụdị anọ: ihe ndị dị na ya, ihe ndị dị ndụ, ion ígwè na oxides.
1. Ihe ndị dị na ya:
Akụkụ ahụ bụ ụfọdụ polymers, photoresists na ihe ndị na-adịghị mma etching.
Ihe ndị dị otú ahụ na-adaberekarị n'ike dị n'etiti molekul iji banye n'elu wafer ahụ, na-emetụta nhazi nke ihe osise geometric na paramita eletriki nke usoro fotolithography ngwaọrụ ahụ.
A na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ dị otú ahụ site n'iji nwayọọ nwayọọ belata ebe ha na-akpakọrịta na eluwafersite na usoro anụ ahụ ma ọ bụ kemịkalụ.
2. Ihe ndị dị ndụ:
Ebe ndị na-adịghị mma sitere na ihe ndị dị ndụ dị oke, dịka mmanụ akpụkpọ ahụ mmadụ, nje bacteria, mmanụ igwe, mmanụ vacuum, photoresist, ihe ndị na-eme ka ihe dị ọcha dị ọcha, wdg.
Ihe ndị dị otú ahụ na-emepụtakarị ihe nkiri organic n'elu wafer ahụ iji gbochie mmiri nhicha ahụ iru n'elu wafer ahụ, na-eme ka ọ ghara ịdị ọcha nke elu wafer ahụ nke ọma.
A na-ewepụ ihe ndị na-emerụ ahụ dị otú ahụ n'oge mbụ nke usoro nhicha ahụ, ọkachasị site na iji usoro kemịkalụ dị ka sulfuric acid na hydrogen peroxide.
3. Aịọnịn ígwè:
Ihe ndị na-adịghị mma n'ígwè dịka ígwè, ọla kọpa, aluminom, chromium, ígwè a kpụrụ akpụ, titanium, sodium, potassium, lithium, wdg. Isi ihe ndị a na-esi na ya pụta bụ ọtụtụ ngwa ọrụ dị iche iche, paịpụ, ihe ndị na-emepụta kemịkalụ, na mmetọ ígwè nke a na-enweta mgbe e jikọtara ígwè n'oge nhazi.
A na-ewepụkarị ụdị adịghị ọcha a site na iji usoro kemịkalụ site na ịmepụta ihe mgbagwoju anya nke ion ígwè.
4. Oxide:
Mgbe semiconductor gasịrịwafersỌ bụrụ na e tinye ya n'ebe nwere oxygen na mmiri, oyi akwa oxide eke ga-etolite n'elu ya. Ihe nkiri oxide a ga-egbochi ọtụtụ usoro n'imepụta semiconductor ma nweekwa ụfọdụ ihe na-adịghị ọcha ígwè. N'ọnọdụ ụfọdụ, ha ga-emepụta ntụpọ eletriki.
A na-emecha iwepụ ihe nkiri oxide a site n'itinye ya na acid hydrofluoric a gwakọtara agwakọta.
Usoro nhicha izugbe
Ihe ndị na-adịghị ọcha a na-etinye n'elu semiconductorwafersenwere ike kewaa ya n'ụdị atọ: molekul, ionic na atom.
N'ime ha, ike ndọda dị n'etiti ihe ndị na-adịghị ọcha na elu nke wafer adịghị ike, ụdị ihe ndị na-adịghị ọcha a dịkwa mfe iwepụ. Ha bụ ihe ndị na-adịghị ọcha mmanụ nwere njirimara hydrophobic, nke nwere ike inye ihe mkpuchi maka ihe ndị na-adịghị ọcha ionic na atomic nke na-emerụ elu nke wafers semiconductor, nke na-adịghị mma maka iwepụ ụdị ihe ndị a na-adịghị ọcha. Ya mere, mgbe a na-ehicha wafers semiconductor site na kemịkal, a ga-ebu ụzọ wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha molekul.
Ya mere, usoro izugbe nke semiconductor,waferusoro nhicha bụ:
Ịsa mmiri site na iji De-molekulasia-de-ionization-de-atomization-de-ionization.
Tinyere nke ahụ, iji wepụ oyi akwa oxide eke n'elu wafer ahụ, ọ dị mkpa itinye usoro mmịpụta amino acid dị nro. Ya mere, echiche nke nhicha bụ ibu ụzọ wepụ mmetọ organic n'elu; wee gbazee oyi akwa oxide ahụ; mechaa wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ na ihe ndị na-emerụ ahụ ígwè, wee mee ka elu ahụ dị ọcha n'otu oge ahụ.
Ụzọ nhicha a na-ahụkarị
A na-ejikarị usoro kemịkal eme ihe maka ihicha wafer semiconductor.
Nhicha kemịkalụ na-ezo aka n'usoro nke iji ihe dị iche iche e ji eme kemịkalụ na ihe mgbaze organic mee ihe iji meghachi omume ma ọ bụ gbazee ihe ruru unyi na ntụpọ mmanụ n'elu wafer ahụ iji wepụ ihe ruru unyi, wee sachaa ya na nnukwu mmiri ọkụ na oyi nke e ji ion mee iji nweta elu dị ọcha.
Enwere ike kewaa nhicha kemịkalụ n'ime mmiri mmiri na mmiri mmiri na-ehicha kemịkalụ kpọrọ nkụ, nke gụnyere nhicha kemịkalụ mmiri ka bụ ihe kachasị mkpa.
Nhicha kemịkalụ mmiri mmiri
1. Ịsacha kemịkalụ mmiri mmiri:
Nhicha kemịkalụ mmiri mmiri gụnyere imikpu mmiri n'ime mmiri, nhicha igwe, nhicha ultrasonic, nhicha megasonic, ịgbagharị agbagharị, wdg.
2. Nmikpu ngwọta:
Imikpu mmiri ngwọta bụ ụzọ isi wepụ mmetọ elu site n'itinye wafer n'ime mmiri kemịkalụ. Ọ bụ ụzọ a na-ejikarị eme ihe n'ịsa kemịkalụ mmiri mmiri. Enwere ike iji ngwọta dị iche iche wepụ ụdị mmetọ dị iche iche n'elu wafer ahụ.
Ọtụtụ mgbe, usoro a enweghị ike iwepụ ihe ruru unyi kpamkpam n'elu wafer ahụ, yabụ a na-ejikarị usoro anụ ahụ dịka ikpo ọkụ, ultrasound, na ịkpalite mgbe a na-emikpu ya.
3. Ịsacha ihe n'ime igwe:
A na-ejikarị igwe nhicha ihe ewepụ ihe ndị dị n'ime ya ma ọ bụ ihe fọdụrụ n'ime ihe ndị dị n'ime ya. Enwere ike kewaa ya ụzọ abụọ:nhicha aka na ihicha site na iji ihe nhicha aka.
Ịchacha akabụ ụzọ kachasị mfe isi hichaa ihe. A na-eji ahịhịa ígwè anaghị agba nchara ejide bọọlụ e tinyere n'ime ethanol na-anaghị agbaze ma ọ bụ ihe mgbaze ndị ọzọ dị ndụ ma jiri nwayọọ tee elu wafer ahụ n'otu ụzọ ahụ iji wepụ ihe nkiri wax, uzuzu, gluu fọdụrụ ma ọ bụ ihe ndị ọzọ siri ike. Usoro a dị mfe ibute ọkọ na mmetọ dị njọ.
Ihe nhicha ahụ na-eji ntụgharị igwe tee elu wafer ahụ na ahịhịa ajị dị nro ma ọ bụ ahịhịa agwakọtara agwakọta. Usoro a na-ebelata nnukwu ọkọ dị na wafer ahụ. Ihe nhicha ahụ na-arụ ọrụ nke ukwuu agaghị akpacha wafer ahụ n'ihi enweghị esemokwu igwe, ọ nwekwara ike iwepụ mmetọ dị na oghere ahụ.
4. Nhicha Ultrasonic:
Nhicha Ultrasonic bụ ụzọ nhicha a na-ejikarị eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor. Uru ya bụ ezigbo nhicha, ọrụ dị mfe, ọ nwekwara ike ihicha ngwaọrụ na akpa dị mgbagwoju anya.
Usoro nhicha a na-arụ ọrụ site na ebili mmiri ultrasonic siri ike (ugboro ultrasonic a na-ejikarị bụ 20s40kHz), a ga-emepụtakwa akụkụ ndị dị obere ma dị oke njupụta n'ime mmiri mmiri. Akụkụ ahụ dị obere ga-emepụta afụ oghere fọrọ nke nta ka ọ bụrụ oghere vacuum. Mgbe afụ oghere ahụ na-apụ n'anya, a ga-emepụta nrụgide mpaghara siri ike n'akụkụ ya, na-agbaji njikọ kemịkalụ dị na molekul iji gbazee ihe ndị na-adịghị mma na elu wafer. Nhicha ultrasonic kacha dị irè maka iwepụ ihe fọdụrụ na flux na-anaghị agbaze ma ọ bụ nke na-anaghị agbaze.
5. Ịsacha ihe dị mfe:
Ịsacha Megasonic abụghị naanị uru nke nhicha ultrasonic, kamakwa ọ na-emeri adịghị ike ya.
Nhicha Megasonic bụ ụzọ e si ehicha wafers site n'ijikọta mmetụta mkpọtụ ugboro ugboro ike (850kHz) na mmeghachi omume kemịkalụ nke ihe nhicha kemịkalụ. N'oge nhicha, ebili mmiri megasonic na-eme ka molekul ngwọta dịkwuo ngwa ngwa (ọsọ ọsọ kachasị ngwa ngwa nwere ike iru 30cmV), ebili mmiri dị elu na-emetụta elu wafer ahụ mgbe niile, nke mere na a na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na obere ihe ndị dị n'elu wafer ahụ ma tinye n'ime ngwọta nhicha ahụ. Ịtinye surfactants acidic na ngwọta nhicha ahụ, n'otu aka, nwere ike imezu ebumnuche nke iwepụ obere ihe na ihe ndị dị ndụ n'elu elu na-eme ka ọ dị ọcha site na ịmịnye surfactants; n'aka nke ọzọ, site na njikọta nke surfactants na gburugburu acidic, ọ nwere ike imezu ebumnuche nke iwepụ mmetọ ígwè n'elu mpempe akwụkwọ na-eme ka ọ dị ọcha. Usoro a nwere ike ịrụ ọrụ nke nhicha igwe na nhicha kemịkalụ n'otu oge.
Ugbu a, usoro nhicha megasonic aghọwo ụzọ dị irè isi hichaa mpempe akwụkwọ mmado.
6. Usoro ịgba ihe n'usoro:
Usoro ịgba mmiri a na-agbagharị agbagharị bụ usoro eji eme ihe iji tụgharịa wafer ahụ n'ọsọ dị elu, ma na-agba mmiri mmiri (mmiri e ji ion mee nke ọma ma ọ bụ mmiri nhicha ọzọ) n'elu wafer ahụ n'oge usoro ịgbagharị iji wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha n'elu wafer ahụ.
Usoro a na-eji mmetọ dị n'elu wafer ahụ agbaze n'ime mmiri a fesara (ma ọ bụ jiri kemịkal mee ka ọ gbazee), ma na-eji mmetụta centrifugal nke ntụgharị ọsọ dị elu mee ka mmiri ahụ nwere ihe ndị na-adịghị ọcha kewapụ na elu wafer ahụ n'oge.
Usoro ịgba mmiri na-agbanwe agbanwe nwere uru dị na nhicha kemịkalụ, nhicha usoro mmiri mmiri, na nhicha nrụgide dị elu. N'otu oge ahụ, enwere ike ijikọ usoro a na usoro ịkpọ nkụ. Mgbe oge nhicha mmiri gbazere agbaze gasịrị, a na-akwụsị ịgba mmiri ma jiri gas ịgbaze. N'otu oge ahụ, enwere ike ịbawanye ọsọ ntụgharị iji mee ka ike centrifugal dịkwuo elu iji mee ka mmiri ghara ịdị n'elu wafer ahụ ngwa ngwa.
7.Nhicha kemịkalụ akọrọ
Ịsacha nkụ na-ezo aka na teknụzụ nhicha nke na-anaghị eji ngwọta.
Teknụzụ nhicha akọrọ ndị a na-eji ugbu a gụnyere: teknụzụ nhicha plasma, teknụzụ nhicha gas, teknụzụ nhicha beam, wdg.
Uru dị na ihicha nkụ bụ usoro dị mfe na enweghị mmetọ gburugburu ebe obibi, mana ọnụ ahịa ya dị elu ma oke ojiji ya adịghị oke maka oge a.
1. Teknụzụ nhicha plasma:
A na-ejikarị nhicha plasma eme ihe n'oge mwepụ nke photoresist. A na-etinye obere oxygen n'ime sistemụ mmeghachi omume plasma. N'okpuru ọrụ nke ike eletriki, oxygen na-emepụta plasma, nke na-eme ka photoresist ahụ dị ọkụ ngwa ngwa wee ghọọ ọnọdụ gas na-agbanwe agbanwe ma wepụta ya.
Teknụzụ nhicha a nwere uru dị na ọrụ dị mfe, arụmọrụ dị elu, elu dị ọcha, enweghị ọkọ, ọ na-enyekwa aka n'ịhụ na ngwaahịa dị mma n'usoro iwepụ ihe mkpofu. Ọzọkwa, ọ naghị eji asịd, alkalis na ihe ndị na-agbaze ihe ndị dị ndụ, ọ dịghịkwa nsogbu dịka mkpofu ihe mkpofu na mmetọ gburugburu ebe obibi. Ya mere, ndị mmadụ na-eji ya eme ihe nke ukwuu. Agbanyeghị, ọ nweghị ike iwepụ ihe ndị na-adịghị mma dịka ígwè ma ọ bụ oxide ígwè.
2. Teknụzụ nhicha nke usoro gas:
Nhicha nke usoro gas na-ezo aka n'ụzọ nhicha nke na-eji usoro gas nke ihe kwekọrọ na ya n'usoro mmiri mmiri emekọrịta ihe ruru unyi n'elu wafer ahụ iji mezuo ebumnuche nke iwepụ ihe ndị na-adịghị ọcha.
Dịka ọmụmaatụ, n'usoro CMOS, nhicha wafer na-eji mmekọrịta dị n'etiti gas phase HF na water vapor wepụ oxides. Ọtụtụ mgbe, usoro HF nke nwere mmiri ga-esochi usoro mwepụ ihe, ebe iji teknụzụ nhicha gas phase HF anaghị achọ usoro iwepụ ihe ndị ọzọ.
Uru kachasị mkpa ma e jiri ya tụnyere usoro HF mmiri mmiri bụ obere oriri kemịkalụ HF na arụmọrụ nhicha dị elu.
Nabata ndị ahịa ọ bụla si n'akụkụ ụwa niile ka ha bịa leta anyị maka mkparịta ụka ọzọ!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Oge ozi: Ọgọst-13-2024