குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பங்கேற்க சில கரிம மற்றும் கனிம பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. கூடுதலாக, இந்த செயல்முறை எப்போதும் மனித பங்கேற்புடன் ஒரு சுத்தமான அறையில் மேற்கொள்ளப்படுவதால், குறைக்கடத்திவேஃபர்கள்பல்வேறு அசுத்தங்களால் தவிர்க்க முடியாமல் மாசுபடுகின்றன.
மாசுபடுத்திகளின் மூலத்தையும் தன்மையையும் பொறுத்து, அவற்றை தோராயமாக நான்கு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: துகள்கள், கரிமப் பொருட்கள், உலோக அயனிகள் மற்றும் ஆக்சைடுகள்.
1. துகள்கள்:
துகள்கள் முக்கியமாக சில பாலிமர்கள், ஒளிமின்னழுத்தங்கள் மற்றும் பொறித்தல் அசுத்தங்கள் ஆகும்.
இத்தகைய மாசுபடுத்திகள் பொதுவாக வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சுவதற்கு மூலக்கூறுகளுக்கு இடையேயான சக்திகளை நம்பியுள்ளன, இது சாதன ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் வடிவியல் உருவங்கள் மற்றும் மின் அளவுருக்களின் உருவாக்கத்தை பாதிக்கிறது.
இத்தகைய மாசுபாடுகள் முக்கியமாக மேற்பரப்புடன் அவற்றின் தொடர்பு பகுதியை படிப்படியாகக் குறைப்பதன் மூலம் அகற்றப்படுகின்றன.வேஃபர்உடல் அல்லது வேதியியல் முறைகள் மூலம்.
2. கரிமப் பொருட்கள்:
மனித தோல் எண்ணெய், பாக்டீரியா, இயந்திர எண்ணெய், வெற்றிட கிரீஸ், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட், சுத்தம் செய்யும் கரைப்பான்கள் போன்ற கரிம அசுத்தங்களின் மூலங்கள் ஒப்பீட்டளவில் அகலமானவை.
இத்தகைய மாசுபாடுகள் பொதுவாக வேஃபரின் மேற்பரப்பில் ஒரு கரிமப் படலத்தை உருவாக்குகின்றன, இது சுத்தம் செய்யும் திரவம் வேஃபரின் மேற்பரப்பை அடைவதைத் தடுக்கிறது, இதன் விளைவாக வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுமையடையாமல் சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.
இத்தகைய அசுத்தங்களை அகற்றுவது பெரும்பாலும் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறையின் முதல் படியில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, முக்கியமாக சல்பூரிக் அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு போன்ற இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.
3. உலோக அயனிகள்:
பொதுவான உலோக அசுத்தங்களில் இரும்பு, தாமிரம், அலுமினியம், குரோமியம், வார்ப்பிரும்பு, டைட்டானியம், சோடியம், பொட்டாசியம், லித்தியம் போன்றவை அடங்கும். முக்கிய ஆதாரங்கள் பல்வேறு பாத்திரங்கள், குழாய்கள், ரசாயன வினைப்பொருட்கள் மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது உலோக இடைத்தொடர்புகள் உருவாகும்போது உருவாகும் உலோக மாசுபாடு ஆகும்.
இந்த வகை மாசுபாடு பெரும்பாலும் உலோக அயனி வளாகங்களை உருவாக்குவதன் மூலம் வேதியியல் முறைகள் மூலம் அகற்றப்படுகிறது.
4. ஆக்சைடு:
குறைக்கடத்தியாக இருக்கும்போதுவேஃபர்கள்ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீர் கொண்ட சூழலுக்கு வெளிப்படும் போது, மேற்பரப்பில் ஒரு இயற்கையான ஆக்சைடு அடுக்கு உருவாகும். இந்த ஆக்சைடு படலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல செயல்முறைகளைத் தடுக்கும் மற்றும் சில உலோக அசுத்தங்களையும் கொண்டிருக்கும். சில நிபந்தனைகளின் கீழ், அவை மின் குறைபாடுகளை உருவாக்கும்.
இந்த ஆக்சைடு படலத்தை அகற்றுவது பெரும்பாலும் நீர்த்த ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலத்தில் ஊறவைப்பதன் மூலம் முடிக்கப்படுகிறது.
பொது சுத்தம் செய்யும் வரிசை
குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும் அசுத்தங்கள்வேஃபர்கள்மூலக்கூறு, அயனி மற்றும் அணு என மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்.
அவற்றில், மூலக்கூறு அசுத்தங்களுக்கும் வேஃபரின் மேற்பரப்புக்கும் இடையிலான உறிஞ்சுதல் விசை பலவீனமானது, மேலும் இந்த வகை அசுத்த துகள்களை அகற்றுவது ஒப்பீட்டளவில் எளிதானது. அவை பெரும்பாலும் ஹைட்ரோபோபிக் பண்புகளைக் கொண்ட எண்ணெய் அசுத்தங்களாகும், அவை குறைக்கடத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பை மாசுபடுத்தும் அயனி மற்றும் அணு அசுத்தங்களுக்கு முகமூடியை வழங்க முடியும், இது இந்த இரண்டு வகையான அசுத்தங்களையும் அகற்றுவதற்கு உகந்ததல்ல. எனவே, குறைக்கடத்தி செதில்களை வேதியியல் ரீதியாக சுத்தம் செய்யும் போது, மூலக்கூறு அசுத்தங்களை முதலில் அகற்ற வேண்டும்.
எனவே, குறைக்கடத்தியின் பொதுவான செயல்முறைவேஃபர்சுத்தம் செய்யும் செயல்முறை பின்வருமாறு:
மூலக்கூறு நீக்கம்-அயனியாக்கம்-அணு நீக்கம்-அயனியாக்கம் நீக்கம் நீர் கழுவுதல்.
கூடுதலாக, வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள இயற்கையான ஆக்சைடு அடுக்கை அகற்ற, ஒரு நீர்த்த அமினோ அமில ஊறவைத்தல் படியைச் சேர்க்க வேண்டும். எனவே, சுத்தம் செய்வதற்கான யோசனை முதலில் மேற்பரப்பில் உள்ள கரிம மாசுபாட்டை அகற்றுவதாகும்; பின்னர் ஆக்சைடு அடுக்கைக் கரைத்து; இறுதியாக துகள்கள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டை அகற்றி, அதே நேரத்தில் மேற்பரப்பை செயலிழக்கச் செய்வதாகும்.
பொதுவான சுத்தம் செய்யும் முறைகள்
குறைக்கடத்தி செதில்களை சுத்தம் செய்வதற்கு பெரும்பாலும் வேதியியல் முறைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
வேதியியல் சுத்தம் செய்தல் என்பது பல்வேறு இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்தி, வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் எண்ணெய் கறைகளை வினைபுரிய அல்லது கரைத்து, அசுத்தங்களை உறிஞ்சி, பின்னர் அதிக அளவு தூய்மையான சூடான மற்றும் குளிர்ந்த அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட தண்ணீரில் கழுவி, சுத்தமான மேற்பரப்பைப் பெறும் செயல்முறையைக் குறிக்கிறது.
வேதியியல் சுத்தம் செய்வதை ஈரமான இரசாயன சுத்தம் மற்றும் உலர் இரசாயன சுத்தம் எனப் பிரிக்கலாம், அவற்றில் ஈரமான இரசாயன சுத்தம் இன்னும் ஆதிக்கம் செலுத்துகிறது.
ஈரமான இரசாயன சுத்தம்
1. ஈரமான இரசாயன சுத்தம்:
ஈரமான இரசாயன சுத்தம் செய்வதில் முக்கியமாக கரைசல் மூழ்குதல், இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங், மீயொலி சுத்தம் செய்தல், மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல், சுழலும் தெளித்தல் போன்றவை அடங்கும்.
2. கரைசலை மூழ்கடித்தல்:
கரைசல் மூழ்குதல் என்பது வேஃபரை ஒரு வேதியியல் கரைசலில் மூழ்கடிப்பதன் மூலம் மேற்பரப்பு மாசுபாட்டை அகற்றும் ஒரு முறையாகும். ஈரமான வேதியியல் சுத்தம் செய்வதில் இது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறையாகும். வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள பல்வேறு வகையான அசுத்தங்களை அகற்ற வெவ்வேறு கரைசல்களைப் பயன்படுத்தலாம்.
வழக்கமாக, இந்த முறை வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களை முழுவதுமாக அகற்ற முடியாது, எனவே வெப்பமாக்குதல், அல்ட்ராசவுண்ட் மற்றும் கிளறுதல் போன்ற உடல் நடவடிக்கைகள் பெரும்பாலும் மூழ்கும்போது பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
3. இயந்திர தேய்த்தல்:
வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள துகள்கள் அல்லது கரிம எச்சங்களை அகற்ற இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இதை பொதுவாக இரண்டு முறைகளாகப் பிரிக்கலாம்:கைமுறையாக துடைப்பான் மூலம் தேய்த்தல் மற்றும் தேய்த்தல்.
கைமுறையாக தேய்த்தல்மிகவும் எளிமையான ஸ்க்ரப்பிங் முறையாகும். நீரற்ற எத்தனால் அல்லது பிற கரிம கரைப்பான்களில் நனைத்த பந்தைப் பிடித்து, மெழுகு படலம், தூசி, எஞ்சிய பசை அல்லது பிற திடத் துகள்களை அகற்ற, வேஃபரின் மேற்பரப்பை அதே திசையில் மெதுவாகத் தேய்க்க, துருப்பிடிக்காத எஃகு தூரிகை பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த முறை கீறல்கள் மற்றும் கடுமையான மாசுபாட்டை ஏற்படுத்த எளிதானது.
மென்மையான கம்பளி தூரிகை அல்லது கலப்பு தூரிகையைப் பயன்படுத்தி வேஃபரின் மேற்பரப்பைத் தேய்க்க வைப்பர் இயந்திர சுழற்சியைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த முறை வேஃபரில் உள்ள கீறல்களை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. இயந்திர உராய்வு இல்லாததால் உயர் அழுத்த துடைப்பான் வேஃபரைக் கீறாது, மேலும் பள்ளத்தில் உள்ள மாசுபாட்டை அகற்றும்.
4. மீயொலி சுத்தம் செய்தல்:
மீயொலி சுத்தம் செய்தல் என்பது குறைக்கடத்தித் தொழிலில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துப்புரவு முறையாகும். இதன் நன்மைகள் நல்ல துப்புரவு விளைவு, எளிமையான செயல்பாடு மற்றும் சிக்கலான சாதனங்கள் மற்றும் கொள்கலன்களையும் சுத்தம் செய்ய முடியும்.
இந்த சுத்தம் செய்யும் முறை வலுவான மீயொலி அலைகளின் செயல்பாட்டின் கீழ் உள்ளது (பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மீயொலி அதிர்வெண் 20s40kHz), மேலும் திரவ ஊடகத்திற்குள் அரிதான மற்றும் அடர்த்தியான பாகங்கள் உருவாக்கப்படும். அரிதான பகுதி கிட்டத்தட்ட வெற்றிட குழி குமிழியை உருவாக்கும். குழி குமிழி மறைந்து போகும்போது, அதன் அருகே ஒரு வலுவான உள்ளூர் அழுத்தம் உருவாகும், இது வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களைக் கரைக்க மூலக்கூறுகளில் உள்ள வேதியியல் பிணைப்புகளை உடைக்கும். கரையாத அல்லது கரையாத ஃப்ளக்ஸ் எச்சங்களை அகற்றுவதற்கு மீயொலி சுத்தம் செய்வது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.
5. மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல்:
மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல் மீயொலி சுத்தம் செய்வதன் நன்மைகளை மட்டுமல்ல, அதன் குறைபாடுகளையும் சமாளிக்கிறது.
மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல் என்பது உயர் ஆற்றல் (850kHz) அதிர்வெண் அதிர்வு விளைவை வேதியியல் சுத்தம் செய்யும் முகவர்களின் வேதியியல் எதிர்வினையுடன் இணைப்பதன் மூலம் வேஃபர்களை சுத்தம் செய்யும் ஒரு முறையாகும். சுத்தம் செய்யும் போது, கரைசல் மூலக்கூறுகள் மெகாசோனிக் அலையால் துரிதப்படுத்தப்படுகின்றன (அதிகபட்ச உடனடி வேகம் 30cmVs ஐ அடையலாம்), மேலும் அதிவேக திரவ அலை தொடர்ந்து வேஃபரின் மேற்பரப்பை பாதிக்கிறது, இதனால் வேஃபரின் மேற்பரப்பில் இணைக்கப்பட்டுள்ள மாசுபடுத்திகள் மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள் வலுக்கட்டாயமாக அகற்றப்பட்டு சுத்தம் செய்யும் கரைசலில் நுழைகின்றன. ஒருபுறம், சுத்தம் செய்யும் கரைசலில் அமில சர்பாக்டான்ட்களைச் சேர்ப்பது, சர்பாக்டான்ட்களின் உறிஞ்சுதல் மூலம் பாலிஷ் மேற்பரப்பில் உள்ள துகள்கள் மற்றும் கரிமப் பொருட்களை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய முடியும்; மறுபுறம், சர்பாக்டான்ட்கள் மற்றும் அமில சூழலின் ஒருங்கிணைப்பு மூலம், பாலிஷ் தாளின் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோக மாசுபாட்டை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய முடியும். இந்த முறை ஒரே நேரத்தில் இயந்திர துடைத்தல் மற்றும் ரசாயன சுத்தம் செய்தல் ஆகியவற்றின் பங்கை வகிக்க முடியும்.
தற்போது, மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்யும் முறை பாலிஷ் தாள்களை சுத்தம் செய்வதற்கு ஒரு பயனுள்ள முறையாக மாறியுள்ளது.
6. சுழல் தெளிப்பு முறை:
சுழலும் தெளிப்பு முறை என்பது வேஃபரை அதிக வேகத்தில் சுழற்ற இயந்திர முறைகளைப் பயன்படுத்தும் ஒரு முறையாகும், மேலும் சுழற்சி செயல்பாட்டின் போது வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களை அகற்ற திரவத்தை (உயர்-தூய்மை டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் அல்லது பிற துப்புரவு திரவம்) தொடர்ந்து தெளிக்கிறது.
இந்த முறை, தெளிக்கப்பட்ட திரவத்தில் கரைக்க வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுபாட்டைப் பயன்படுத்துகிறது (அல்லது அதனுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து கரைக்கிறது), மேலும் அசுத்தங்களைக் கொண்ட திரவத்தை வேஃபரின் மேற்பரப்பில் இருந்து சரியான நேரத்தில் பிரிக்க அதிவேக சுழற்சியின் மையவிலக்கு விளைவைப் பயன்படுத்துகிறது.
ரோட்டரி ஸ்ப்ரே முறை ரசாயன சுத்தம் செய்தல், திரவ இயக்கவியல் சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உயர் அழுத்த ஸ்க்ரப்பிங் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், இந்த முறையை உலர்த்தும் செயல்முறையுடன் இணைக்கலாம். அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட நீர் தெளிப்பு சுத்தம் செய்த பிறகு, நீர் தெளிப்பு நிறுத்தப்பட்டு, ஒரு தெளிப்பு வாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், வேஃபரின் மேற்பரப்பை விரைவாக நீரிழப்பு செய்ய மையவிலக்கு விசையை அதிகரிக்க சுழற்சி வேகத்தை அதிகரிக்கலாம்.
7.உலர் இரசாயன சுத்தம்
உலர் சுத்தம் செய்தல் என்பது தீர்வுகளைப் பயன்படுத்தாத சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பத்தைக் குறிக்கிறது.
தற்போது பயன்படுத்தப்படும் உலர் துப்புரவு தொழில்நுட்பங்களில் பின்வருவன அடங்கும்: பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம், வாயு கட்ட சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம், பீம் சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம், முதலியன.
உலர் சுத்தம் செய்வதன் நன்மைகள் எளிமையான செயல்முறை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு இல்லாதது, ஆனால் செலவு அதிகம் மற்றும் பயன்பாட்டின் நோக்கம் தற்போதைக்கு பெரியதாக இல்லை.
1. பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம்:
பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்தல் பெரும்பாலும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் அகற்றும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பிளாஸ்மா எதிர்வினை அமைப்பில் ஒரு சிறிய அளவு ஆக்ஸிஜன் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. ஒரு வலுவான மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ், ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது, இது ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டை விரைவாக ஆவியாகும் வாயு நிலைக்கு ஆக்ஸிஜனேற்றி பிரித்தெடுக்கப்படுகிறது.
இந்த துப்புரவு தொழில்நுட்பம் எளிதான செயல்பாடு, அதிக செயல்திறன், சுத்தமான மேற்பரப்பு, கீறல்கள் இல்லாதது போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பசை நீக்கும் செயல்பாட்டில் தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்வதற்கு உகந்தது. மேலும், இது அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்துவதில்லை, மேலும் கழிவுகளை அகற்றுதல் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு போன்ற எந்தப் பிரச்சினையும் இல்லை. எனவே, இது மக்களால் அதிகளவில் மதிப்பிடப்படுகிறது. இருப்பினும், இது கார்பன் மற்றும் பிற ஆவியாகாத உலோகம் அல்லது உலோக ஆக்சைடு அசுத்தங்களை அகற்ற முடியாது.
2. எரிவாயு கட்ட சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம்:
வாயு கட்ட சுத்தம் செய்தல் என்பது, திரவச் செயல்பாட்டில் தொடர்புடைய பொருளின் வாயு கட்டத்திற்குச் சமமானதைப் பயன்படுத்தி, அசுத்தங்களை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய, வேஃபரின் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுபட்ட பொருளுடன் தொடர்பு கொள்ளும் ஒரு துப்புரவு முறையைக் குறிக்கிறது.
உதாரணமாக, CMOS செயல்பாட்டில், வேஃபர் சுத்தம் செய்தல் ஆக்சைடுகளை அகற்ற வாயு கட்ட HF மற்றும் நீர் நீராவிக்கு இடையிலான தொடர்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது. வழக்கமாக, தண்ணீரைக் கொண்ட HF செயல்முறை ஒரு துகள் அகற்றும் செயல்முறையுடன் இருக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் வாயு கட்ட HF சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதற்கு அடுத்தடுத்த துகள் அகற்றும் செயல்முறை தேவையில்லை.
நீர்வாழ் HF செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது மிக முக்கியமான நன்மைகள் மிகக் குறைந்த HF இரசாயன நுகர்வு மற்றும் அதிக சுத்தம் செய்யும் திறன் ஆகும்.
மேலும் கலந்துரையாடலுக்காக உலகம் முழுவதிலுமிருந்து வரும் எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் எங்களை சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/ தமிழ்
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட்-13-2024