Àwọn ohun èlò onígbà-ayé àti aláìgbédè ni a nílò láti kópa nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor. Ní àfikún, níwọ̀n ìgbà tí a máa ń ṣe iṣẹ́ náà ní yàrá mímọ́ pẹ̀lú ìkópa ènìyàn, semiconductor máa ń ṣe é ní gbogbo ìgbà.àwọn àkàrà kéékèèkéàwọn aláìmọ́ onírúurú ló máa ń jẹ́ kí wọ́n ní ìbàjẹ́.
Gẹ́gẹ́ bí orísun àti ìrísí àwọn ohun ìbàjẹ́ náà, a lè pín wọn sí ẹ̀ka mẹ́rin: àwọn èròjà, ohun èlò oníṣẹ́dá, àwọn ion irin àti àwọn oxides.
1. Àwọn èròjà:
Àwọn èròjà pàtàkì jẹ́ díẹ̀ lára àwọn ohun èlò ìpara, àwọn ohun èlò ìdènà fọ́tò àti àwọn ohun èlò ìpara tí a fi ń yọ́ nǹkan.
Irú àwọn ohun ìbàjẹ́ bẹ́ẹ̀ sábà máa ń gbára lé agbára intermolecular láti fà mọ́ ojú wafer náà, èyí tí ó máa ń nípa lórí ìṣẹ̀dá àwọn àwòrán onígun mẹ́rin àti àwọn pàrámítà iná mànàmáná ti ilana photolithography ẹ̀rọ náà.
Iru awọn idoti bẹẹ ni a maa n yọ kuro ni pataki nipa dinku agbegbe ti wọn fi kan oju ilẹ naa diẹdiẹwafernipasẹ awọn ọna ti ara tabi kemikali.
2. Ohun àdánidá:
Àwọn orísun àwọn ohun ìdọ̀tí oníwàláàyè pọ̀ gan-an, bíi epo awọ ara ènìyàn, bakitéríà, epo ẹ̀rọ, epo vacuum grease, photoresist, àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Irú àwọn ohun ìdọ̀tí bẹ́ẹ̀ sábà máa ń jẹ́ fíìmù onígbàlódé lórí ojú wafer náà láti dènà omi ìwẹ̀nùmọ́ láti dé ojú wafer náà, èyí tí yóò mú kí ojú wafer náà mọ́ tónítóní láìpé.
A sábà máa ń yọ àwọn èérí wọ̀nyí kúrò ní ìgbésẹ̀ àkọ́kọ́ ti ìlànà ìwẹ̀nùmọ́, pàápàá jùlọ nípa lílo àwọn ọ̀nà kẹ́míkà bíi sulfuric acid àti hydrogen peroxide.
3. Àwọn ion irin:
Àwọn ohun ìdọ̀tí irin tí a sábà máa ń rí ni irin, bàbà, àlùmínọ́mù, chromium, irin tí a fi simẹnti ṣe, titanium, sodium, potassium, lithium, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn orísun pàtàkì ni onírúurú ohun èlò, páìpù, àwọn ohun èlò ìtọ́jú kẹ́míkà, àti ìbàjẹ́ irin tí a máa ń rí nígbà tí a bá ń so àwọn ohun èlò ìsopọ̀ irin pọ̀ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ náà.
Iru àìmọ́ yìí ni a sábà máa ń mú kúrò nípa lílo àwọn ọ̀nà kẹ́míkà nípa ṣíṣe àwọn èròjà ion irin.
4. Ẹ̀rọ afẹ́fẹ́:
Nígbà tí semikondokitorín kan wààwọn àkàrà kéékèèkétí wọ́n bá fara hàn sí àyíká tí ó ní atẹ́gùn àti omi, ìpele oxide adayeba kan yóò ṣẹ̀dá lórí ilẹ̀. Fíìmù oxide yìí yóò dí ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ lọ́wọ́ nínú ṣíṣe semiconductor, yóò sì tún ní àwọn ohun ìdọ̀tí irin kan nínú. Lábẹ́ àwọn ipò kan, wọ́n yóò ní àbùkù iná mànàmáná.
A sábà máa ń fi omi oxide yìí wẹ̀ ẹ́ nípa fífi omi hydrofluoric acid tí a ti pò mọ́lẹ̀.
Ìtẹ̀lé ìwẹ̀nùmọ́ gbogbogbòò
Àwọn ẹ̀gbin tí a fi sínú ojú semikondokitoàwọn àkàrà kéékèèkéa le pin si awọn oriṣi mẹta: molikula, ionic ati atomu.
Láàrin wọn, agbára ìfàmọ́ra láàárín àwọn ohun tí kò ní èròjà molecular àti ojú wafer náà kò lágbára, irú àwọn ohun tí kò ní èròjà molecular yìí sì rọrùn láti mú kúrò. Wọ́n jẹ́ àwọn ohun tí ó ní èròjà hydrophobic jùlọ, èyí tí ó lè pèsè ìbòjú fún àwọn ohun tí kò ní èròjà ion àti atomu tí ó ń ba ojú àwọn wafer semiconductor jẹ́, èyí tí kò ṣe pàtàkì fún yíyọ àwọn ohun tí kò ní èròjà méméjì wọ̀nyí kúrò. Nítorí náà, nígbà tí a bá ń fọ àwọn wafer semiconductor pẹ̀lú kẹ́míkà, ó yẹ kí a kọ́kọ́ mú àwọn ohun tí kò ní èròjà molecular kúrò.
Nitorinaa, ilana gbogbogbo ti semiconductorwaferilana mimọ jẹ:
Ìwẹ̀nù omi tí a fi ń tú molekularí-ìtújáde ...
Ní àfikún, láti lè yọ ìpele oxide adayeba kúrò lórí ojú wafer náà, a nílò ìgbésẹ̀ fífọ amino acid díẹ̀díẹ̀. Nítorí náà, èrò ìwẹ̀nùmọ́ ni láti kọ́kọ́ mú ìbàjẹ́ organic kúrò lórí ojú náà; lẹ́yìn náà, tú ìpele oxide náà kúrò; nígbẹ̀yìn gbẹ́yín, yọ àwọn èròjà àti ìbàjẹ́ irin kúrò, kí o sì pa ojú náà run ní àkókò kan náà.
Àwọn ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ tí ó wọ́pọ̀
Àwọn ọ̀nà kẹ́míkà ni a sábà máa ń lò fún fífọ àwọn wafer semiconductor mọ́.
Ìmọ́tótó kẹ́míkà túmọ̀ sí ìlànà lílo onírúurú ohun èlò ìpara kẹ́míkà àti àwọn ohun èlò olómi láti ṣe àtúnṣe tàbí láti tú àwọn ohun èlò ìdọ̀tí àti àbàwọ́n epo lórí ojú wafer náà láti mú àwọn ohun èlò ìdọ̀tí kúrò, lẹ́yìn náà, fi omi gbígbóná àti omi tútù tí ó mọ́ tónítóní fọ̀ ọ́ láti rí ojú tó mọ́ tónítóní.
A le pin mimọ kemikali si mimọ kemikali tutu ati mimọ kemikali gbigbẹ, laarin eyiti mimọ kemikali tutu tun jẹ gaba lori.
Ìmọ́tótó kẹ́míkà tó tutu
1. Ìmọ́tótó kẹ́míkà tó rọ̀:
Ìmọ́tótó kẹ́míkà tó wà ní ojú omi ní pàtàkì pẹ̀lú ìtẹ̀mọ́lẹ̀ omi, ìfọ́mọ́ ẹ̀rọ, ìfọmọ́ ultrasonic, ìfọmọ́ megasonic, ìfọ́mọ́ rotary, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
2. Ìtẹ̀síwájú nínú omi:
Ìtẹ̀síwájú omi jẹ́ ọ̀nà láti mú ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kúrò nípa rírì omi wáfà sínú omi kẹ́míkà. Ó jẹ́ ọ̀nà tí a sábà máa ń lò jùlọ nínú fífọ omi kẹ́míkà tútù. Oríṣiríṣi omi lè ṣeé lò láti mú onírúurú ìbàjẹ́ kúrò lórí ojú wáfà náà.
Lọ́pọ̀ ìgbà, ọ̀nà yìí kò lè mú àwọn ẹ̀gbin kúrò pátápátá lórí ojú wafer náà, nítorí náà, a sábà máa ń lo àwọn ọ̀nà ìgbóná ara bíi gbígbóná, ultrasound, àti rírọ̀ nígbà tí a bá ń rì sínú omi.
3. Fọ ọwọ́ pẹ̀lú ẹ̀rọ:
A sábà máa ń lo ìfọmọ́ ẹ̀rọ láti yọ àwọn èròjà tàbí àwọn ohun tí ó jẹ́ ti ara kúrò lórí ojú wafer náà. A lè pín in sí ọ̀nà méjì:fífọ ọwọ́ àti fífọ ọwọ́ pẹ̀lú ìfọ ọwọ́ pẹ̀lú ìfọ ọwọ́ pẹ̀lú ìfọ ọwọ́ pẹ̀lú ìfọ ọwọ́.
Fọ ọwọ́Ọ̀nà ìfọ́ ni ọ̀nà tí ó rọrùn jùlọ. A máa ń lo búrọ́ọ̀ṣì irin alagbara láti di bọ́ọ̀lù tí a fi ethanol tí kò ní omi tàbí àwọn ohun èlò míràn tí ó jẹ́ organic mú kí ó sì fi rọra fi ojú wafer náà pa ní ọ̀nà kan náà láti yọ fíìmù epo-eti, eruku, àlùmọ́nì tí ó ṣẹ́kù tàbí àwọn èròjà líle mìíràn kúrò. Ọ̀nà yìí rọrùn láti fa ìfọ́ àti ìbàjẹ́ ńlá.
Aṣọ ìfọṣọ náà máa ń lo ìyípo ẹ̀rọ láti fi búrọ́ọ̀ṣì irun rírọ̀ tàbí búrọ́ọ̀ṣì àdàpọ̀ pa ojú wafer náà. Ọ̀nà yìí máa ń dín àwọn ìfọ́ tó wà lórí wafer náà kù gidigidi. Aṣọ ìfọṣọ gíga náà kò ní fọ́ wafer náà nítorí àìsí ìfọ́mọ́ra ẹ̀rọ, ó sì lè mú ìbàjẹ́ tó wà nínú ihò náà kúrò.
4. Ìmọ́tótó Ultrasonic:
Ìmọ́tótó Ultrasonic jẹ́ ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ tí a sábà máa ń lò ní ilé iṣẹ́ semiconductor. Àwọn àǹfààní rẹ̀ ni ipa ìwẹ̀nùmọ́ tó dára, iṣẹ́ rẹ̀ rọrùn, ó sì tún lè fọ àwọn ẹ̀rọ àti àpótí tó díjú.
Ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ yìí wà lábẹ́ ìṣiṣẹ́ àwọn ìgbì omi ultrasonic tó lágbára (ìwọ̀n ìgbà tí a sábà máa ń lò jẹ́ 20s40kHz), àwọn apá tó wúwo àti tó wúwo ni a ó sì mú jáde nínú omi. Apá tó wúwo náà yóò mú kí ihò tó fẹ́rẹ̀ fúyẹ́ jáde. Nígbà tí ihò bá pòórá, a ó mú kí ìfúnpá tó lágbára wà nítòsí rẹ̀, èyí yóò sì fọ́ àwọn ìdè kẹ́míkà nínú àwọn molecule láti yọ́ àwọn èérí tó wà lórí ojú wafer náà. Ìwẹ̀nùmọ́ Ultrasonic ló dára jùlọ fún yíyọ àwọn ìyókù ìṣàn tí kò lè yọ́ tàbí tí kò lè yọ́ kúrò.
5. Ìmọ́tótó Megasonic:
Ìmọ́tótó Megasonic kìí ṣe pé ó ní àwọn àǹfààní ìmọ́tótó ultrasonic nìkan, ó tún borí àwọn àìlera rẹ̀.
Ìmọ́tótó Megasonic jẹ́ ọ̀nà kan láti fọ àwọn wafers nípa sísopọ̀ agbára gíga (850kHz) pẹ̀lú ìhùwàsí kẹ́míkà ti àwọn ohun èlò ìmọ́tótó kẹ́míkà. Nígbà ìwẹ̀nùmọ́, àwọn ohun èlò ìyọ́nú omi náà máa ń yára nípasẹ̀ ìgbì megasonic (ìyára tó pọ̀ jùlọ lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ lè dé 30cmV), àti pé ìgbì omi oníyára gíga náà máa ń ní ipa lórí ojú wafer náà nígbà gbogbo, kí àwọn ohun ìdọ̀tí àti àwọn èròjà kéékèèké tí a so mọ́ ojú wafer náà lè yọ kúrò ní agbára kí wọ́n sì wọ inú ojú ìmọ́nú. Fífi àwọn surfactants oní ásíìdì kún ojú ìmọ́nú omi náà, ní ọwọ́ kan, lè ṣe àṣeyọrí ète yíyọ àwọn èròjà àti ohun èlò oníásíìdì kúrò lórí ojú ìmọ́nú omi nípasẹ̀ fífọ àwọn surfactants; ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, nípasẹ̀ ìṣọ̀kan àwọn surfactants àti àyíká acid, ó lè ṣe àṣeyọrí ète yíyọ àwọn èròjà irin kúrò lórí ojú ojú ìmọ́nú omi náà nígbà kan náà. Ọ̀nà yìí lè ṣe ipa fífi ẹ̀rọ fọ àti ìmọ́tótó kẹ́míkà nígbà kan náà.
Lọ́wọ́lọ́wọ́, ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ megasonic ti di ọ̀nà tó gbéṣẹ́ láti fọ àwọn aṣọ ìbora.
6. Ọ̀nà ìfọ́nrán rotary:
Ọ̀nà ìfọ́nrán tí a ń lò láti yí wafer náà padà ní iyàrá gíga, ó sì máa ń fọ́n omi (omi tí a ti yọ ion tàbí omi ìfọ́nrán mìíràn) sí ojú wafer náà nígbà tí a bá ń yí i padà láti mú àwọn ohun ìdọ̀tí kúrò lórí ojú wafer náà.
Ọ̀nà yìí lo ìbàjẹ́ tó wà lórí ojú wafer láti yọ́ nínú omi tí a fọ́n sí (tàbí kí ó fi kẹ́míkà ṣe é láti yọ́), ó sì lo ipa centrifugal ti yíyípo iyara gíga láti mú kí omi tó ní àwọn ìdọ̀tí ya sọ́tọ̀ kúrò lórí ojú wafer náà ní àkókò.
Ọ̀nà ìfọ́ omi oníyípo ní àwọn àǹfààní ìfọ́ omi oníyípo, ìfọ́ omi oníyípo, àti fífọ́ omi onítẹ̀sí gíga. Ní àkókò kan náà, a lè so ọ̀nà yìí pọ̀ mọ́ ìlànà gbígbẹ. Lẹ́yìn ìgbà díẹ̀ tí a ti fi omi yọ́ ion mọ́, a ó dá omi dúró, a ó sì lo gaasi fífọ́ omi. Ní àkókò kan náà, a lè mú kí iyàrá yíyípo pọ̀ sí i láti mú kí agbára centrifugal pọ̀ sí i láti mú kí omi gbẹ ojú wafer náà kíákíá.
7.Ìmọ́tótó kẹ́míkà gbígbẹ
Ìmọ́tótó gbígbẹ tọ́ka sí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìmọ́tótó tí kò lo àwọn omi.
Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ gbígbẹ tí a ń lò lọ́wọ́lọ́wọ́ ní: ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ plasma, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ gáàsì, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ tàn, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn àǹfààní ìfọṣọ gbígbẹ ni iṣẹ́ tí ó rọrùn àti pé kò sí ìbàjẹ́ àyíká, ṣùgbọ́n owó rẹ̀ ga, àti pé ìwọ̀n lílò rẹ̀ kò tóbi fún àkókò yìí.
1. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ Plasma:
A sábà máa ń lo ìwẹ̀nùmọ́ plasma nígbà tí a bá ń yọ photoresist kúrò. A máa ń fi atẹ́gùn díẹ̀ sínú ètò ìṣe plasma. Lábẹ́ ìṣiṣẹ́ pápá iná mànàmáná tó lágbára, atẹ́gùn náà máa ń mú plasma jáde, èyí tó máa ń mú photoresist náà di atẹ́gùn tó máa ń yí padà kíákíá, tí a sì máa ń yọ ọ́ jáde.
Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ yìí ní àwọn àǹfààní ìṣiṣẹ́ tí ó rọrùn, iṣẹ́ ṣíṣe dáradára, ojú ilẹ̀ mímọ́, kò ní ìfọ́, ó sì ń mú kí ọjà dára nígbà tí a bá ń yọ èéfín kúrò. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, kò lo àwọn ásíìdì, alkalis àti àwọn ohun èlò olómi, kò sì sí ìṣòro bíi ìdọ̀tí àti ìbàjẹ́ àyíká. Nítorí náà, àwọn ènìyàn túbọ̀ ń mọrírì rẹ̀. Síbẹ̀síbẹ̀, kò lè mú àwọn ohun àìmọ́ irin tàbí oxide irin mìíràn tí kò lè yí padà kúrò.
2. Imọ-ẹrọ mimọ ipele gaasi:
Ìmọ́tótó ìpele gaasi tọ́ka sí ọ̀nà ìmọ́tótó tí ó ń lo ìwọ̀n gáàsì tí ó bá ohun tí ó bá mu nínú ilana omi mu láti bá ohun tí ó ti bàjẹ́ lórí ojú wafer náà lò láti ṣe àṣeyọrí ète yíyọ àwọn ohun tí kò bàjẹ́ kúrò.
Fún àpẹẹrẹ, nínú ìlànà CMOS, ìwẹ̀nùmọ́ wafer ń lo ìbáṣepọ̀ láàárín HF ipele gaasi àti omi vapor láti yọ àwọn oxides kúrò. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìlànà HF tí ó ní omi gbọ́dọ̀ wà pẹ̀lú ìlànà ìyọkúrò pàtákì, nígbàtí lílo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ HF ipele gaasi kò nílò ìlànà ìyọkúrò pàtákì lẹ́yìn náà.
Àwọn àǹfààní pàtàkì jùlọ ní ìfiwéra pẹ̀lú ìlànà HF omi ni lílo kẹ́míkà HF tí ó kéré sí i àti iṣẹ́ ìmọ́tótó gíga.
Ẹ kí àwọn oníbàárà láti gbogbo àgbáyé káàbọ̀ láti wá bẹ̀ wá wò fún ìjíròrò síwájú síi!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-13-2024