Qaar ka mid ah walxaha dabiiciga ah iyo kuwa aan dabiiciga ahayn ayaa looga baahan yahay inay ka qayb qaataan wax soo saarka semiconductor-ka. Intaa waxaa dheer, maadaama habka had iyo jeer lagu sameeyo qol nadiif ah oo ay ka qayb qaataan aadanaha, semiconductor-ku wuxuu sameeyaa semiconductor-ka.buskudkawaxaa si lama huraan ah u wasakhaysan wasakho kala duwan.
Marka loo eego isha iyo dabeecadda wasakhda, waxaa si qiyaas ah loogu qaybin karaa afar qaybood: walxaha, walxaha dabiiciga ah, ayoonnada birta iyo oksaydhyada.
1. Walxaha:
Walxaha badankood waa qaar ka mid ah polymers-ka, photoresists-ka iyo wasakhda wax lagu qooyo.
Wasakhowga noocan oo kale ah badanaa wuxuu ku tiirsan yahay xoogagga isku-dhafka ah si uu ugu nuugo dusha sare ee wafer-ka, taasoo saameyn ku yeelata sameynta tirooyinka joomatari iyo xuduudaha korantada ee habka sawir-qaadista qalabka.
Wasakhowga noocaas ah waxaa inta badan laga saaraa iyadoo si tartiib tartiib ah loo yareeyo meesha ay ku kulmaan dusha sare eebuskud yariyada oo loo marayo habab jireed ama kiimiko.
2. Walax dabiici ah:
Ilaha wasakhda dabiiciga ah waa kuwo aad u ballaaran, sida saliidda maqaarka aadanaha, bakteeriyada, saliidda mashiinka, saliidda faakiyuumka, photoresist, dareeraha nadiifinta, iwm.
Wasakhowga noocan oo kale ah badanaa wuxuu sameeyaa filim dabiici ah oo ku yaal dusha sare ee waferka si looga hortago in dareeraha nadiifinta uu gaaro dusha sare ee waferka, taasoo keenta nadiifin aan dhammaystirnayn oo dusha sare ee waferka ah.
Ka saarista wasakhda noocaas ah waxaa badanaa lagu sameeyaa tallaabada ugu horreysa ee habka nadiifinta, inta badan iyadoo la adeegsanayo habab kiimiko ah sida sulfuric acid iyo hydrogen peroxide.
3. Aayoonnada birta ah:
Wasakhda birta ee caadiga ah waxaa ka mid ah birta, naxaasta, aluminiumka, chromium, birta la shubay, titanium, sodium, potassium, lithium, iwm. Ilaha ugu muhiimsan waa qalab kala duwan, tuubooyin, kiimikooyin kiimiko ah, iyo wasakhowga birta ee ka dhasha marka isku xirka birta la sameeyo inta lagu jiro farsamaynta.
Noocan wasakhda ah waxaa badanaa lagu saaraa hababka kiimikada iyada oo loo marayo sameynta isku-dhafka birta ee ion.
4. Oksaydh:
Marka semiconductor-kubuskudkaHaddii ay la kulmaan jawi ay ku jiraan oksijiin iyo biyo, lakab oksaydh dabiici ah ayaa ka samaysmi doona dusha sare. Filimkan oksaydhku wuxuu caqabad ku noqon doonaa habab badan oo wax soo saarka semiconductor-ka ah wuxuuna sidoo kale ka koobnaan doonaa wasakh bir ah oo gaar ah. Xaaladaha qaarkood, waxay samayn doonaan cillado koronto.
Ka saarista filimkan oksaydhka ah waxaa badanaa lagu dhammeeyaa iyadoo lagu qooyo aashitada hydrofluoric ee khafiifka ah.
Taxanaha nadiifinta guud
Nadaafad ku nuugta dusha sare ee semiconductor-kabuskudkawaxaa loo qaybin karaa saddex nooc: molecular, ionic iyo atom.
Waxaa ka mid ah, awoodda nuugista ee u dhaxaysa wasakhda molecular iyo dusha sare ee waferku waa mid daciif ah, noocaan wasakhda ahina waa mid si fudud looga saari karo. Badanaa waa wasakh saliid leh oo leh astaamo hydrophobic ah, kuwaas oo bixin kara qarinta wasakhda ionic iyo atomiga ee wasakheeya dusha sare ee wafers-ka semiconductor-ka, taas oo aan ku habboonayn ka saarista labadan nooc ee wasakhda ah. Sidaa darteed, marka si kiimiko ah loo nadiifiyo wafers-ka semiconductor-ka, wasakhda molecular-ka waa in marka hore laga saaraa.
Sidaa darteed, habka guud ee semiconductor-ka,buskud yarHabka nadiifinta waa:
Biyo raacinta biyaha ee ka-saarista molekuleeriyadda-ka-saarista-ka-saarista-ka-saarista-ka-saarista-ka-saarista-ka-raacinta-ka-raacinta.
Intaa waxaa dheer, si looga saaro lakabka oksaydhka dabiiciga ah ee dusha sare ee wafer-ka, waxaa loo baahan yahay in lagu daro tallaabo lagu qooyo amino acid khafiif ah. Sidaa darteed, fikradda nadiifinta waa in marka hore laga saaro wasakhda dabiiciga ah ee dusha sare; ka dibna la milmo lakabka oksaydhka; ugu dambeyntii laga saaro walxaha iyo wasakhda birta, isla markaana la nadiifiyo dusha sare.
Hababka nadiifinta ee caadiga ah
Hababka kiimikada waxaa badanaa loo isticmaalaa nadiifinta waferada semiconductor-ka.
Nadiifinta kiimikada waxaa loola jeedaa habka loo isticmaalo walxo kiimiko ah oo kala duwan iyo dareere dabiici ah si looga falceliyo ama loo milo wasakhda iyo wasakhda saliidda ee dusha sare ee wafer-ka si looga takhaluso wasakhda, ka dibna lagu raaciyo xaddi badan oo biyo kulul iyo qabow oo nadiif ah si loo helo dusha nadiif ah.
Nadiifinta kiimikada waxaa loo qaybin karaa nadiifinta kiimikada qoyan iyo nadiifinta kiimikada qalalan, kuwaas oo nadiifinta kiimikada qoyan ay weli tahay mid aad u badan.
Nadiifinta kiimikada qoyan
1. Nadiifinta kiimikada qoyan:
Nadiifinta kiimikada qoyan waxay inta badan ka kooban tahay ku dhex milidda xalka, xoqidda farsamada, nadiifinta ultrasonic, nadiifinta megasonic, buufinta wareega, iwm.
2. Ku dhex milmida xalka:
Ku dhex milmida xalka waa hab lagu saaro wasakhda dusha sare iyadoo lagu dhex gelinayo waferka xal kiimiko ah. Waa habka ugu badan ee loo isticmaalo nadiifinta kiimikada qoyan. Xalal kala duwan ayaa loo isticmaali karaa in lagu saaro noocyada kala duwan ee wasakhda dusha sare ee waferka.
Badanaa, habkani si buuxda ugama saari karo wasakhda dusha sare ee wafer-ka, sidaa darteed cabbiraadaha jireed sida kulaylinta, ultrasound-ka, iyo walaaqidda ayaa badanaa la isticmaalaa marka la dhex gelinayo.
3. Nadiifinta farsamada:
Nadiifinta farsamada waxaa badanaa loo isticmaalaa in lagu saaro walxaha ama haraaga dabiiciga ah ee dusha sare ee wafer-ka. Guud ahaan waxaa loo qaybin karaa laba hab:xoqidda gacanta iyo xoqidda masaxaha.
Nadiifinta gacantawaa habka ugu fudud ee lagu xoqo. Burush bir ah oo aan miridh lahayn ayaa loo isticmaalaa in lagu qabto kubbad lagu qooyay ethanol aan biyo lahayn ama dareere kale oo dabiici ah isla markaana si tartiib ah loogu xoqo dusha sare ee wafer-ka si loogu saaro filimka shamaca, boodhka, xabagta haray ama walxaha kale ee adag. Habkani waa mid si fudud u sababi kara xoqid iyo wasakh halis ah.
Masaxiyaha wuxuu adeegsadaa wareeg farsamo si uu dusha sare ee mashiinnada ugu xoqo burush jilicsan oo dhogor ah ama burush isku dhafan. Habkani wuxuu si weyn u yareeyaa xoqidda mashiinnada. Masaxiyaha cadaadiska sare leh ma xoqi doono mashiinnada sababtoo ah la'aanta is jiidjiid farsamo, wuxuuna ka saari karaa wasakhda godka.
4. Nadiifinta Ultrasonic-ka:
Nadiifinta Ultrasonic waa hab nadiifin ah oo si weyn loogu isticmaalo warshadaha semiconductor-ka. Faa'iidooyinkeedu waa saameyn nadiifin oo wanaagsan, hawlgal fudud, iyo sidoo kale nadiifinta aaladaha iyo weelasha adag.
Habkan nadiifinta waxaa ku shaqeeya hirarka ultrasonic-ka xooggan (soo noqnoqoshada ultrasonic-ka ee si caadi ah loo isticmaalo waa 20s40kHz), qaybo yaryar oo cufan ayaa laga soo saari doonaa gudaha dareeraha. Qaybta yar waxay soo saari doontaa xumbo ku dhow godka faaruq ah. Marka xumbo godku baaba'o, cadaadis xooggan oo maxalli ah ayaa laga soo saari doonaa meel u dhow, taasoo jebinaysa isku xirnaanta kiimikada ee molecules-ka si ay u milmaan wasakhda dusha sare ee wafer-ka. Nadiifinta Ultrasonic-ka ayaa ugu waxtarka badan ka saarista haraaga qulqulka aan milmi karin ama aan milmi karin.
5. Nadiifinta Megasonic:
Nadiifinta Megasonic ma aha oo kaliya faa'iidooyinka nadiifinta ultrasonic, laakiin sidoo kale waxay ka gudubtaa cilladaheeda.
Nadiifinta Megasonic waa hab lagu nadiifiyo wafers iyadoo la isku darayo saameynta gariirka tamarta sare (850kHz) ee soo noqnoqda iyo falcelinta kiimikada ee wakiilada nadiifinta kiimikada. Inta lagu jiro nadiifinta, molecules-ka xalka waxaa dardargeliya hirarka megasonic (xawaaraha ugu badan ee degdega ah wuxuu gaari karaa 30cmVs), hirarka dareeraha xawaaraha sare lehna si joogto ah ayuu u saameeyaa dusha sare ee wafer-ka, si wasakhda iyo walxaha yaryar ee ku xiran dusha sare ee wafer-ka si xoog ah looga saaro oo loo galo xalka nadiifinta. Ku darista surfactants-ka aashitada leh xalka nadiifinta, dhinaca kale, waxay gaari kartaa ujeeddada laga saarayo walxaha iyo walxaha dabiiciga ah ee dusha sare ee nadiifinta iyada oo loo marayo nuugista surfactants-ka; dhanka kale, iyada oo loo marayo isku-darka surfactants-ka iyo deegaanka aashitada leh, waxay gaari kartaa ujeeddada laga saarayo wasakhda birta ee dusha sare ee xaashida nadiifinta. Habkani wuxuu isla mar ahaantaas ciyaari karaa doorka tirtiridda farsamada iyo nadiifinta kiimikada.
Waqtigan xaadirka ah, habka nadiifinta ee megasonic wuxuu noqday hab wax ku ool ah oo lagu nadiifiyo xaashida dhalaalinta.
6. Habka buufinta wareega:
Habka buufinta wareega waa hab adeegsada habab farsamo si loogu wareejiyo waferka xawaare sare, isla markaana si joogto ah ugu buufiya dareeraha (biyo nadiif ah oo saafi ah ama dareere kale oo nadiifin ah) dusha sare ee waferka inta lagu jiro habka wareegga si looga saaro wasakhda dusha sare ee waferka.
Habkani wuxuu adeegsadaa wasakhda dusha sare ee wafer-ka si uu ugu milmo dareeraha la buufiyay (ama si kiimiko ah ayuu ula falgalaa si uu u milmo), wuxuuna adeegsadaa saameynta centrifugal ee wareegga xawaaraha sare si uu dareeraha ka kooban wasakhda uga sooco dusha sare ee wafer-ka waqti ka dib.
Habka buufinta wareega ah wuxuu leeyahay faa'iidooyinka nadiifinta kiimikada, nadiifinta makaanikada dareeraha ah, iyo xoqidda cadaadiska sare. Isla mar ahaantaana, habkan waxaa sidoo kale lagu dari karaa habka qalajinta. Ka dib muddo nadiifinta buufinta biyaha ee la baabi'iyay, buufinta biyaha waa la joojiyaa waxaana la isticmaalaa gaas buufin ah. Isla mar ahaantaana, xawaaraha wareegga waa la kordhin karaa si loo kordhiyo xoogga centrifugal-ka si uu si dhakhso ah u fuuq-baxo dusha sare ee wafer-ka.
7.Nadiifinta kiimikada qalalan
Nadiifinta qalalan waxay ka dhigan tahay tignoolajiyada nadiifinta ee aan isticmaalin xalalka.
Tiknoolajiyada nadiifinta qalalan ee hadda la isticmaalo waxaa ka mid ah: tiknoolajiyada nadiifinta balaasmaha, tiknoolajiyada nadiifinta marxaladda gaaska, tiknoolajiyada nadiifinta alwaaxa, iwm.
Faa'iidooyinka nadiifinta qalalan waa hab fudud oo aan lahayn wasakhayn deegaan, laakiin kharashku waa sarreeyaa baaxadda isticmaalkuna ma badna waqtigan.
1. Tiknoolajiyada nadiifinta balaasmaha:
Nadiifinta Balaasmaha waxaa badanaa loo isticmaalaa habka ka saarista sawir-qaadista. Xaddi yar oo oksijiin ah ayaa lagu soo daraa nidaamka falgalka balaasmaha. Iyada oo la adeegsanayo goob koronto oo xooggan, oksijiinku wuxuu soo saaraa balaasmaha, kaas oo si dhakhso ah u oksaydhiya sawir-qaadista una beddela xaalad gaas oo kacsan oo laga soo saaro.
Tiknoolajiyaddan nadiifinta waxay leedahay faa'iidooyinka hawlgalka fudud, hufnaanta sare, dusha sare ee nadiifka ah, xoqan la'aan, waxayna ku habboon tahay hubinta tayada badeecada habka nadiifinta. Intaa waxaa dheer, ma isticmaasho asiidhyo, alkalis iyo dareere dabiici ah, mana jiraan wax dhibaato ah sida qashin-qubka iyo wasakhowga deegaanka. Sidaa darteed, dadku si isa soo taraysa ayay u qiimeeyaan. Si kastaba ha ahaatee, ma saari karto kaarboonka iyo wasakhda kale ee aan isbeddelin ee birta ama oksaydhka birta.
2. Tiknoolajiyada nadiifinta wejiga gaaska:
Nadiifinta wejiga gaaska waxaa loola jeedaa hab nadiifin ah oo adeegsada wejiga gaaska ee u dhigma walaxda u dhiganta habka dareeraha si ay ula falgalaan walaxda wasakhaysan ee dusha sare ee wafer-ka si loo gaaro ujeeddada ka saarista wasakhda.
Tusaale ahaan, habka CMOS, nadiifinta wafer-ka waxay isticmaashaa isdhexgalka u dhexeeya wejiga gaaska HF iyo uumiga biyaha si looga saaro oksaydhyada. Caadiyan, habka HF ee ka kooban biyaha waa inuu la socdaa habka ka saarista walxaha, halka isticmaalka tignoolajiyada nadiifinta wejiga gaaska HF aysan u baahnayn habka ka saarista walxaha xiga.
Faa'iidooyinka ugu muhiimsan marka la barbar dhigo habka HF-ka biyaha ku jira waa isticmaalka kiimikada HF oo aad u yar iyo hufnaan nadiifin oo sareysa.
Ku soo dhawoow macaamiil kasta oo ka kala yimid daafaha dunida si ay noo soo booqdaan si aan u yeelano dood dheeraad ah!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Waqtiga boostada: Agoosto-13-2024