Сітаваты карбід крэмнію SiC керамічны

Сітаваты карбід крэмнію SiC керамічны
Сітаватая кераміка SiC— гэта высокапрадукцыйны керамічны матэрыял з кантраляванай порыстай структурай, які характарызуецца звышвысокай чысцінёй, устойлівасцю да высокіх тэмператур, цеплавых удараў і хімічнай інертнасцю. Ён шырока выкарыстоўваецца ў перадавых галінах, такіх як вытворчасць паўправаднікоў, вытворчасць фотаэлектрычных крэмніевых пласцін і эпітаксіяльныя працэсы паўправаднікоў трэцяга пакалення (SiC/GaN).

VET Energy выкарыстоўвае высакаякасны парашок SiC у спалучэнні з перадавой тэхналогіяй спякання для дасягнення дакладнага кантролю памеру пор (0,05–100 мкм), што задавальняе розныя патрабаванні да фільтрацыі, дыфузіі, каталізу і рэгулявання тэмпературы. Гэта ідэальны выбар для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці для павышэння выхаду, зніжэння забруджвання і аптымізацыі працэсаў.

Нашы асноўныя перавагі
✅ Звышвысокая чысціня:
прымешкі металу <0,5 ppm, адпавядаюць стандартам SEMI, прадухіляюць забруджванне пласцін;
✅ Высокая тэмпературастойкасць (бесперапыннае выкарыстанне пры 1600℃):
падыходзіць для высокатэмпературных асяроддзяў, такіх як CVD, дыфузійныя печы і выплаўка крэмнію;
✅ Высокая ўстойлівасць да тэмпературных удараў:
адаптуецца да хуткіх змен тэмпературы, скарачаючы час прастою абсталявання
✅ Хімічная інертнасць (устойлівасць да кіслот, шчолачаў і расплаўленых металаў):
устойлівы да агрэсіўных газаў, такіх як HF і Cl₂, з тэрмінам службы, значна перавышаючым тэрмін службы металічных фільтраў;
✅ Кантраляваная структура пор (0,05-100 мкм):
падтрымлівае паступовую фільтрацыю, паляпшаючы эфектыўнасць патоку вадкасці;

Тыповае прымяненне
1. Вытворчасць паўправаднікоў: фільтрацыя газаў CVD/ALD, размеркавальныя пласціны для дыфузійнай печы, апрацоўка адпрацаваных газаў травленнем і г.д.
2. Фотаэлектрычная прамысловасць: фільтрацыя з плаўлення крэмніевых матэрыялаў, пакрыццёвыя маскі PERC-элементаў і г.д.
3. Паўправаднікі трэцяга пакалення (SiC/GaN): папярэдняя эпітаксіяльная апрацоўка пласцін.