Дыфузійная трубка з карбіду крэмнію SiC
Дыфузійныя трубкі з карбіду крэмніюз'яўляюцца ключавымі кампанентамі, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай вытворчасці, высокатэмпературнай тэрмічнай апрацоўцы і працэсах падрыхтоўкі матэрыялаў. Яны ў асноўным выкарыстоўваюцца ў якасці апоры і рэакцыйнай камеры для дыфузійных або акісляльных печаў, выконваючы такія працэсы, як атмасферная рэакцыя, акісленне, дыфузія і адпал у высокатэмпературных, высокаагрэсіўных асяроддзях.
Кампанія VET Energy спецыялізуецца на распрацоўцы і вытворчасці карбідкрэмніевых (SiC) трубак для высокатэмпературных і каразійных паўправадніковых прымяненняў. Дзякуючы перадавым вытворчым магутнасцям і запатэнтаваным тэхналогіям CVD і спякання, мы пастаўляем трубкі, якія адрозніваюцца выдатнай тэрмічнай стабільнасцю, устойлівасцю да акіслення і працяглым тэрмінам службы.
Перавагі SiC-труб VET Energy:
Звышвысокая чысціня:Вырабляецца з выкарыстаннем спецыяльнага працэсу спякання, у якім шкодныя металічныя прымешкі (напрыклад, Na, K, Fe і Al) зніжаюцца да ўзроўню ppb.
Вельмі нізкае газааддзяленне:Ва ўмовах высокай тэмпературы і высокага вакууму дэгазацыя значна ніжэйшая, чым у кварца, што эфектыўна прадухіляе забруджванне тэхналагічнай камеры, забяспечвае ўласную якасць напыленых тонкіх плёнак або росту крышталяў і значна паляпшае выхад прадукту (асабліва важна для эпітаксіі SiC, росту GaN і вытворчасці высакаякаснага монакрышталічнага крэмнію).
Высокатэмпературная стабільнасць:Магчымыя працяглыя эксплуатацыйныя тэмпературы, якія перавышаюць 1600°C (значна вышэй за тэмпературу размякчэння кварца, прыблізна 1200°C), а кароткачасовыя тэмпературы могуць вытрымліваць яшчэ больш высокія тэмпературы (напрыклад, 1800°C), што адпавядае патрабаванням да звышвысокіх тэмператур паўправаднікоў трэцяга пакалення і працэсаў вырошчвання крышталяў.
Хімічная ўстойлівасць да карозіі:Высокая ўстойлівасць да ўздзеяння высокаагрэсіўных газаў, такіх як HCl, Cl₂ і HF, а таксама расплаўленага крэмнію і металічных пароў, што дазваляе захоўваць структурную цэласнасць і аздабленне паверхні ў складаных асяроддзях, такіх як CVD, дыфузія, акісленне і травленне, пры гэтым тэрмін службы значна перавышае тэрмін службы кварцавых печных трубак.
Выдатная цеплаправоднасць:Яго цеплаправоднасць у дзясяткі разоў вышэйшая, чым у кварца, што дазваляе хутчэй і больш раўнамерна размеркаваць тэмпературу ў печы і паляпшае аднастайнасць і паўтаральнасць працэсу. Гэта асабліва важна для апрацоўкі вялікай плошчы некалькіх пласцін (напрыклад, фотаэлектрычных дыфузійных печаў і рэактараў MOCVD).
Стабільнасць памераў:Вельмі нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння забяспечвае стабільную геаметрыю трубы печы нават пры паўторных і рэзкіх ваганнях тэмпературы, прадухіляючы пашкоджанне ўшчыльнення або канцэнтрацыю напружанняў, выкліканую цеплавым пашырэннем і сцісканнем.
Трываласць:Высокая цвёрдасць і трываласць надаюць печнай трубе выдатныя механічныя ўласцівасці, што робіць яе ўстойлівай да дэфармацыі і пашкоджанняў.
Тыповае прымяненне:
Вытворчасць паўправаднікоў:Эпітаксіяльны рост SiC/GaN (MOCVD, HTCNVD), эпітаксія на аснове крэмнію, высокатэмпературная дыфузія/акісленне/адпал (RTP) і LPCVD.
Фотаэлектрычная прамысловасць:Высокатэмпературная дыфузія (дыфузія фосфару/бору) і адпал крышталічных крэмніевых сонечных элементаў.
| 重结晶碳化硅物理特性 Фізічныя ўласцівасці перакрышталізаванага карбіду крэмнію | |
| 性质 / Нерухомасць | 典型数值 / Тыповае значэнне |
| 使用温度/ Працоўная тэмпература (°C) | 1600°C (з кіслародам), 1700°C (аднаўленчае асяроддзе) |
| Карбід крэмнію含量/ Змест карбіду крэмнію | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Бясплатны кантэнт Si | < 0,1% |
| 体积密度/Насыпная шчыльнасць | 2,60-2,70 г/см3 |
| 气孔率/ Бачная парознасць | < 16% |
| 抗压强度/ Трываласць на сціск | > 600МПа |
| 常温抗弯强度/Трываласць на халодны выгіб | 80-90 МПа (20°C) |
| 高温抗弯强度Трываласць на выгіб у гарачым стане | 90-100 МПа (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Цеплавое пашырэнне пры 1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Цеплаправоднасць пры 1200°C | 23Вт/м•К |
| 杨氏模量/ Модуль пругкасці | 240 ГПа |
| 抗热震性/ Устойлівасць да цеплавых удараў | Вельмі добра |
VET Energy — прафесійны вытворца, які спецыялізуецца на даследаваннях, распрацоўках і вытворчасці высакаякасных перадавых матэрыялаў, такіх як графіт, карбід крэмнію, кварц, а таксама на апрацоўцы матэрыялаў, напрыклад, на пакрыцці SiC, пакрыцці TaC, пакрыцці са шкловугляроду, пакрыцці піролітычным вугляродам і г.д. Прадукцыя шырока выкарыстоўваецца ў фотаэлектрыцы, паўправадніках, новай энергетыцы, металургіі і г.д.
Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.
Перавагі VET Energy ўключаюць:
• Уласная фабрыка і прафесійная лабараторыя;
• Найлепшыя ў галіны ўзроўні чысціні і якасці;
• Канкурэнтаздольная цана і хуткі тэрмін дастаўкі;
• Шматлікія галіновыя партнёрствы па ўсім свеце;
Мы запрашаем вас наведаць нашу фабрыку і лабараторыю ў любы час!
