Susceptors de portadors de blisters MOCVD amb recobriment de grafit de SiC

Imatge destacada de portadors d'oblies MOCVD amb recobriment de SiC i grafit, susceptors

Descripció breu:

El susceptor MOCVD recobert de SiC de VET Energy per al creixement epitaxial és un producte d'alt rendiment dissenyat per proporcionar un rendiment consistent i fiable durant un període prolongat. Té una resistència a la calor i uniformitat tèrmica súper bones, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que el converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament de galetes.

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Portadors/susceptors de galeta MOCVD amb recobriment de grafit de SiC

Tots els nostres susceptors estan fets de grafit isostàtic d'alta resistència. Aprofita l'alta puresa dels nostres grafits, desenvolupats especialment per a processos complexos com l'epitàxia, el creixement de cristalls, la implantació iònica i el gravat per plasma, així com per a la producció de xips LED.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura cristal·lina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500g）
晶粒大小 / Mida del gra	2~10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de Young	Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / TermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy és el fabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc., i pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria dels semiconductors i la fotovoltaica.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per oferir materials més avançats i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més ferma i menys propensa al despreniment.

Us donem una calorosa benvinguda a visitar la nostra fàbrica, parlem-ne més!