SiC-kattega grafiidist MOCVD vahvlikandjate sustseptorid

SiC-kattega grafiidist MOCVD vahvlikandjate sustseptorite esiletõstetud pilt

Lühike kirjeldus:

VET Energy SiC-kattega MOCVD sustseptor epitaksiaalseks kasvuks on suure jõudlusega toode, mis on loodud pakkuma järjepidevat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste ja erosioonikindlus, mis teeb sellest ideaalse lahenduse kiipide töötlemise rakenduste jaoks.

Saada meile e-kiri Laadi alla PDF-failina

Toote üksikasjad

Tootesildid

SiC-kattega grafiit MOCVD vahvlikandurid/susceptor

Kõik meie sustseptorid on valmistatud ülitugevast isostaatilisest grafiidist. Kasutage ära meie grafiitide kõrget puhtust – need on välja töötatud spetsiaalselt keerukate protsesside jaoks nagu epitaksia, kristallide kasvatamine, ioonide implanteerimine ja plasma söövitus, aga ka LED-kiipide tootmiseks.

Meie toodete omadused:

1. Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus kuni 1700 ℃.
2. Kõrge puhtusaste ja termiline ühtlus
3. Suurepärane korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
4. Kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
5. Pikem kasutusiga ja vastupidavam

Südame-veresoonkonna haigus SiC薄膜基本物理性能 CVD-siikarbiidi põhilised füüsikalised omadusedkate
性质 / Kinnisvara	典型数值 / Tüüpiline väärtus
晶体结构 / Kristallstruktuur	FCC β-faas多晶，主要为（111）取向
密度 / Tihedus	3,21 g/cm³
硬度 / Kõvadus	2500 维氏硬度 (500 g koorem)
晶粒大小 Teravilja suurus	2–10 μm
纯度 / Keemiline puhtus	99,99995%
热容 / Soojusmahtuvus	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur	2700 ℃
抗弯强度 / Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
杨氏模量 / Youngi moodul	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJuhtivus	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy on kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete tootja, millel on erinevad kateained, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, ning pakub mitmesuguseid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaanika tööstusele.

Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ja saab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda veelgi täiustatumaid materjale, ning oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis muudab katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem altid eraldumisele.

Tere tulemast meie tehasesse külla, arutame lähemalt!