ตัวรับเวเฟอร์ MOCVD เคลือบกราไฟท์ SiC

ตัวรับเวเฟอร์ MOCVD เคลือบกราไฟต์ SiC รูปภาพเด่น

คำอธิบายสั้น ๆ :

สารรับ MOCVD เคลือบ SiC ของ VET Energy สำหรับการเจริญเติบโตของ Epitaxial เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ยาวนาน มีคุณสมบัติทนความร้อนและความสม่ำเสมอของความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการสึกกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์

ส่งอีเมล์ถึงเรา ดาวน์โหลดเป็น PDF

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

เวเฟอร์พาหะ/ตัวรับเคลือบกราไฟท์ SiC MOCVD

ตัวรับแสงทั้งหมดของเราทำจากกราไฟต์ไอโซสแตติกที่มีความแข็งแรงสูง ได้รับประโยชน์จากกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งได้รับการพัฒนาเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการที่ท้าทาย เช่น การสร้างผลึก การฝังไอออน และการกัดพลาสมา รวมถึงสำหรับการผลิตชิป LED

คุณสมบัติของสินค้าของเรา:

1. ทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700℃
2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอของความร้อน
3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์
4. ความแข็งสูง พื้นผิวแน่น อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานยิ่งขึ้น

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ
性质 / คุณสมบัติ	典型数值 / ค่าทั่วไป
晶体结构 / โครงสร้างผลึก	เฟส β ของ FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / ความหนาแน่น	3.21 ก./ซม.³
硬度 / ความแข็ง	2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)
晶粒大小 / ขนาดเมล็ดพืช	2~10ไมโครเมตร
纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี	99.99995%
热容 / ความจุความร้อน	640 จ·กก.^-1·เค^-1
升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด	2700℃
抗弯强度 / ความแข็งแรงในการดัดงอ	415 MPa RT 4 จุด
杨氏模量 / โมดูลัสของยัง	430 Gpa 4pt โค้ง 1300℃
导热系数 / เทอร์มาลการนำไฟฟ้า	300 วัตต์·ม.^-1·เค^-1
热膨胀系数 / การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่กำหนดเองโดยมีการเคลือบหลายประเภท เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนที่กำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโฟโตวอลตาอิคส์ได้

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ได้วัสดุขั้นสูงมากขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะซึ่งสามารถทำให้การยึดติดระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันต่อดีกว่า!