SiC-belægning Grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptorer

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC-belagt MOCVD-susceptor til epitaksialt vækst er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed og erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


Produktdetaljer

Produktmærker

SiC-belægning grafit MOCVD waferbærere/susceptor

Alle vores susceptorer er lavet af isostatisk grafit med høj styrke. Drag fordel af den høje renhed af vores grafitter – udviklet specielt til udfordrende processer som epitaksi, krystaldyrkning, ionimplantation og plasmaætsning, samt til produktion af LED-chips.

 

Funktioner ved vores produkter:

1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
2. Høj renhed og termisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk værdi

晶体结构 / Krystalstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tæthed

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhed

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kemisk renhed

99,99995%

热容 / Varmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøjningsstyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsevne

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy er den egentlige producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. og kan levere forskellige specialfremstillede dele til halvleder- og solcelleindustrien.

Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.

Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer, og har udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, der kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp onlinechat!