SiC-belægning grafit MOCVD waferbærere/susceptor
Alle vores susceptorer er lavet af isostatisk grafit med høj styrke. Drag fordel af den høje renhed af vores grafitter – udviklet specielt til udfordrende processer som epitaksi, krystaldyrkning, ionimplantation og plasmaætsning, samt til produktion af LED-chips.
Funktioner ved vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
2. Høj renhed og termisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度(500g belastning) |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den egentlige producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. og kan levere forskellige specialfremstillede dele til halvleder- og solcelleindustrien.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer, og har udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, der kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
-
Tilpasset grafitvarmer til halvleder-sili...
-
SiC-belægning Grafit MOCVD Wafer Carriers Susce...
-
Silikone ring kulstof tætningsring pumpe mekanisk ...
-
Kina Fabrik til Kina Sintret Siliciumcarbid ...
-
Tilpasset metalsmeltende SIC-barreform, silicium...
-
CVD SiC-belagt kulstof-kulstof-komposit CFC-båd...
-
CVD sic belægning cc kompositstang, siliciumkarbid ...
-
Guld og sølv støbeform Silikoneform, Si...
-
Guld Sølv Smeltegrafit Digel Grafit Pot
-
God varmeinduktionsovn siliciumsmeltende ...
-
Silikonestang af høj kvalitet, Sic-stang til forarbejdning...
-
Høj temperaturbestandig, holdbar silikonestang...
-
Mekaniske kulstofgrafitbøsningsringe, silikone ...
-
Oliefri lydløs luftkompressorpumpemotor til d...
-
Grafitvarmer Siliciumcarbid (SiC) SiC-belægning...








