SiC dengimo grafito MOCVD plokštelių nešėjai, susceptoriai

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ SiC dengtas MOCVD susceptorius epitaksiniam augimui yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo taikymams.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

SiC dengimo grafitas MOCVD plokštelių nešėjai/susceptoriai

Visi mūsų susceptoriai pagaminti iš didelio stiprumo izostatinio grafito. Pasinaudokite mūsų grafitų dideliu grynumu – jie sukurti specialiai sudėtingiems procesams, tokiems kaip epitaksija, kristalų auginimas, jonų implantacija ir plazminis ėsdinimas, taip pat LED lustų gamybai.

Mūsų gaminių savybės:

1. Aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

ŠSD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga
性质 / Nekilnojamasis turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalų struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 Grūdų dydis	2–10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995%
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lenkimo stipris	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / TermalLaidumas	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

„VET Energy“ yra tikrasis individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su įvairiomis dangomis, tokiomis kaip SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt., gamintojas, galintis tiekti įvairias individualiai pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių pramonei.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.

Nuolat tobuliname pažangius procesus, kad galėtume tiekti pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, kuri gali sustiprinti dangos ir pagrindo sukibimą ir sumažinti jautrumą atsiskyrimui.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime daugiau!