SiC pārklājuma grafīta MOCVD vafeļu nesēji susceptori

Īss apraksts:

VET Energy SiC pārklātais MOCVD susceptors epitaksiālai augšanai ir augstas veiktspējas produkts, kas paredzēts, lai nodrošinātu pastāvīgu un uzticamu darbību ilgstošā laika periodā. Tam ir īpaši laba karstumizturība un termiskā vienmērība, augsta tīrības pakāpe, izturība pret eroziju, padarot to par ideālu risinājumu vafeļu apstrādes lietojumprogrammām.

Sūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produkta tagi

SiC pārklājuma grafīts MOCVD vafeļu nesēji/susceptori

Visi mūsu susceptori ir izgatavoti no augstas stiprības izostatiskā grafīta. Izmantojiet mūsu grafītu augsto tīrības pakāpi – tie ir īpaši izstrādāti sarežģītiem procesiem, piemēram, epitaksijai, kristālu audzēšanai, jonu implantācijai un plazmas kodināšanai, kā arī LED mikroshēmu ražošanai.

Mūsu produktu īpašības:

1. Augstas temperatūras oksidācijas izturība līdz 1700 ℃.
2. Augsta tīrība un termiskā vienmērība
3. Lieliska izturība pret koroziju: skābes, sārmi, sāls un organiskie reaģenti.
4. Augsta cietība, kompakta virsma, smalkas daļiņas.
5. Ilgāks kalpošanas laiks un izturīgāks

Sirds un asinsvadu slimības (SAS) SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC pamatfizikālās īpašībaspārklājums
性质 / Īpašums	典型数值 / Tipiskā vērtība
晶体结构 Kristāla struktūra	FCC β fāze多晶，主要为（111）取向
密度 / Blīvums	3,21 g/cm³
硬度 / Cietība	2500 维氏硬度 (500 g krava)
晶粒大小 Graudu izmērs	2~10 μm
纯度 / Ķīmiskā tīrība	99,99995%
热容 / Siltuma jauda	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimācijas temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lieces izturība	415 MPa RT 4 punktu
杨氏模量 Janga modulis	430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃
导热系数 / TermalVadītspēja	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy ir īsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda izstrādājumu ražotājs ar dažādiem pārklājumiem, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekļa pārklājumu, pirolītiskās oglekļa pārklājumu utt., un var piegādāt dažādas pielāgotas detaļas pusvadītāju un fotoelektrisko elementu rūpniecībai.

Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, var sniegt jums profesionālākus materiālu risinājumus.

Mēs nepārtraukti attīstām uzlabotus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus, un esam izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt pārklājumu un substrātu ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanās riskam.

Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu, lai mēs varētu turpināt diskusiju!