SiCコーティンググラファイトMOCVDウェーハキャリアサセプター

簡単な説明:

VET Energy社のSiCコーティングMOCVDエピタキシャル成長用サセプターは、長期にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備え、ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。

メールを送信する PDFとしてダウンロード

製品詳細

製品タグ

SiCコーティンググラファイトMOCVDウェーハキャリア/サセプター

当社のサセプターはすべて高強度のアイソスタティックグラファイト製です。エピタキシー、結晶成長、イオン注入、プラズマエッチングといった高度なプロセス、そしてLEDチップの製造向けに特別に開発された当社のグラファイトは、高純度というメリットをお届けします。

当社の製品の特徴:

1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上

CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング
性质 / 財産	典型的な数値 / 標準値
結晶構造 / 結晶構造	FCCβ相多結晶、主である（111）取向
密度 / 密度	3.21 g/cm³
硬度 / 硬度	2500维度硬度（500g荷重）
結晶粒大小 / 粒度	2～10μm
度 / 化学純度	99.99995%
熱容 / 熱容量	640 J·kg^-1·K^-1
昇华温度 / 昇華温度	2700℃
抗强度 / 曲げ強度	415 MPa RT 4点
杨氏模量 / ヤング率	430 Gpa 4点曲げ、1300℃
导熱系数 / サーマl導電率	300W·m^-1·K^-1
熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者であり、半導体および太陽光発電業界向けのさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発しており、コーティングと基材の結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。