Suportes de wafer de grafite com revestimento de SiC MOCVD

Descrição resumida:

O Susceptor MOCVD revestido com SiC da VET Energy para crescimento epitaxial é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

 


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