Portadores de wafers de grafite MOCVD com revestimento de SiC e susceptores

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Descrição curta:

O Susceptor MOCVD Revestido com SiC da VET Energy para Crescimento Epitaxial é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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Portadores/susceptores de wafer MOCVD de grafite com revestimento de SiC

Todos os nossos susceptores são feitos de grafite isostático de alta resistência. Beneficie-se da alta pureza dos nossos grafites – desenvolvidos especialmente para processos desafiadores como epitaxia, crescimento de cristais, implantação iônica e gravação de plasma, bem como para a produção de chips de LED.

Características dos nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e maior durabilidade

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A VET Energy é a verdadeira fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao descolamento.

Sejam bem-vindos para visitar nossa fábrica e vamos conversar mais!