Suscettori di supporti di wafer MOCVD in grafite cù rivestimentu SiC

Rivestimentu SiC Grafite MOCVD Portatori di wafer Suscettori Immagine presentata

Descrizzione corta:

U suscettore MOCVD rivestitu di SiC VET Energy per a crescita epitassiale hè un pruduttu d'alte prestazioni cuncipitu per furnisce prestazioni consistenti è affidabili per un periodu prolongatu. Hà una resistenza à u calore è uniformità termica super bona, alta purezza, resistenza à l'erosione, chì ne face a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazione di wafer.

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Rivestimentu di SiC grafite MOCVD Porta-wafer/suscettore

Tutti i nostri suscettori sò fatti di grafite isostatica d'alta resistenza. Prufittate di l'alta purezza di e nostre grafite - sviluppate apposta per prucessi difficili cum'è l'epitassia, a crescita di cristalli, l'impiantu ionicu è l'incisione à plasma, è ancu per a pruduzzione di chip LED.

Caratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura finu à 1700 ℃.
2. Alta purità è uniformità termica
3. Eccellente resistenza à a currusione: acidi, alcali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. Vita di serviziu più longa è più durevule

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu
性质 / Pruprietà	典型数值 / Valore Tipicu
晶体结构 / Struttura Cristallina	Fase β di a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 维氏硬度（500g di carica）
晶粒大小 / Grana	2~10μm
纯度 / Purità chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Resistenza à a flessione	415 MPa RT à 4 punti
杨氏模量 Modulu di Young	Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermalCunduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione Termica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati in grafite è carburo di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è u rivestimentu SiC, u rivestimentu TaC, u rivestimentu di carbone vetroso, u rivestimentu di carbone piroliticu, ecc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria di semiconduttori è fotovoltaica.

A nostra squadra tecnica vene da e migliori istituzioni di ricerca domestiche, pò furnisce suluzioni di materiale più prufessiunali per voi.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu elaboratu una tecnulugia brevettata esclusiva, chì pò fà chì u ligame trà u rivestimentu è u substratu sia più strettu è menu propensu à u distaccu.

Vi benvenuti à visità a nostra fabbrica, parlemu più in dettagliu!