SiC-Beschichtung Graphit MOCVD Wafer-Träger Suszeptoren

Kurzbeschreibung:

Der SiC-beschichtete MOCVD-Suszeptor von VET Energy für epitaktisches Wachstum ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Homogenität, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die ideale Lösung für Wafer-Bearbeitungsanwendungen.