Supporti per wafer MOCVD con rivestimento in SiC e grafite, suscettori

Rivestimento in SiC Grafite MOCVD Wafer Carriers Suscettori Immagine in evidenza

Breve descrizione:

Il suscettore MOCVD rivestito in SiC di VET Energy per la crescita epitassiale è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

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Supporti per wafer MOCVD con rivestimento in grafite SiC/suscettore

Tutti i nostri suscettori sono realizzati in grafite isostatica ad alta resistenza. Approfittate dell'elevata purezza delle nostre grafiti, sviluppate appositamente per processi complessi come epitassia, crescita cristallina, impiantazione ionica e incisione al plasma, nonché per la produzione di chip LED.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!