Supports de plaquettes MOCVD en graphite avec revêtement SiC et suscepteurs

Supports de plaquettes MOCVD en graphite avec revêtement SiC, suscepteurs (image en vedette)

Brève description :

Le suscepteur MOCVD revêtu de SiC de VET Energy pour croissance épitaxiale est un produit hautes performances conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Supports/suscepteurs de plaquettes MOCVD en graphite avec revêtement SiC

Tous nos suscepteurs sont fabriqués en graphite isostatique haute résistance. Bénéficiez de la grande pureté de nos graphites, spécialement développés pour les procédés exigeants comme l'épitaxie, la croissance cristalline, l'implantation ionique et la gravure plasma, ainsi que pour la production de puces LED.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Granulométrie	2 à 10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa 4pt courbé, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !