SiC Coating Grafyt MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor foar epitaksiale groei is in heechweardige produkt ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmtebestriding en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazjebestriding, wêrtroch it de perfekte oplossing is foar waferferwurkingsapplikaasjes.

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

SiC-coating grafyt MOCVD Waferdragers/susceptor

Al ús susceptors binne makke fan heechsterkte isostatyske grafyt. Profitearje fan 'e hege suverens fan ús grafiten - spesjaal ûntwikkele foar útdaagjende prosessen lykas epitaksy, kristalgroei, ionymplantaasje en plasma-etsen, lykas foar de produksje fan LED-chips.

Eigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
2. Hege suverens en termyske uniformiteit
3. Uitstekende korrosjebestriding: soer, alkali, sâlt en organyske reagentia.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere tsjinstlibben en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking
性质 / Eigendom	典型数值 / Typyske wearde
晶体结构 / Kristalstruktuer	FCC β-faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Dichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Nôtgrutte	2~10μm
纯度 / Gemyske suverens	99.99995%
热容 / Waarmtekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaasjetemperatuer	2700 ℃
抗弯强度 / Bûgingssterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeliedingsfermogen	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzen koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh., en kin ferskate oanpaste ûnderdielen leverje foar de healgeleider- en fotovoltaïske yndustry.

Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker en minder gefoelich foar loslitting meitsje kin.

Wolkom jo graach om ús fabryk te besykjen, lit ús fierder prate!