SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어 서셉터

VET Energy의 에피택셜 성장용 SiC 코팅 MOCVD 서셉터는 장기간 일관되고 신뢰할 수 있는 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 분야에 완벽한 솔루션입니다.

제품 상세 정보

SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어/서셉터

당사의 모든 서셉터는 고강도 등방성 흑연으로 제작됩니다. 에피택시, 결정 성장, 이온 주입, 플라즈마 에칭과 같은 까다로운 공정은 물론 LED 칩 생산을 위해 특별히 개발된 고순도 흑연의 이점을 누리십시오.

우리 제품의 특징:

1. 최대 1700℃ 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.

CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
성별 / 재산	典型数值 / 일반적인 값
晶体结构 / 결정 구조	FCC β상多晶，主要为（111) 取向
크기 / 밀도	3.21g/cm³
정도 / 경도	2500 维氏硬도(500g 부하)
晶粒大小 / 입자 크기	2~10㎛
정도 / 화학적 순도	99.99995%
발열 / 열용량	640 J·kg^-1·케이^-1
升华温도 / 승화 온도	2700℃
抗弯强島 / 굽힘 강도	415 MPa RT 4점
杨氏模량 / 영률	430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃
导熭系数 / 테르마엘전도도	300W·m^-1·케이^-1
热膨胀系数 / 열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1