SiC-bedekking Grafiet MOCVD-wafeldraers Susceptors

Kort beskrywing:

VET Energy SiC-bedekte MOCVD-susceptor vir epitaksiale groei is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te bied. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing vir waferverwerkingstoepassings maak.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

SiC-bedekking grafiet MOCVD Waferdraers/susceptor

Al ons susceptors is gemaak van hoësterkte isostatiese grafiet. Benut die hoë suiwerheid van ons grafiete – spesifiek ontwikkel vir uitdagende prosesse soos epitaksie, kristalgroei, iooninplanting en plasma-etsing, sowel as vir die produksie van LED-skyfies.

Kenmerke van ons produkte:

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700 ℃.
2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid
3. Uitstekende korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam

KVS SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking
性质 / Eiendom	典型数值 / Tipiese Waarde
晶体结构 / Kristalstruktuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Digtheid	3.21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度（500g vrag）
晶粒大小 / Graangrootte	2~10μm
纯度 / Chemiese Suiwerheid	99.99995%
热容 / Hittekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasie Temperatuur	2700℃
抗弯强度 / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young se Modulus	430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeleidingsvermoë	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiese Uitbreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy is die ware vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., en kan verskeie pasgemaakte onderdele vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrie lewer.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.

Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie ontwikkel wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot loslating kan maak.

Ons verwelkom u hartlik om ons fabriek te besoek, kom ons gesels verder!