Susceptores de portadores de obleas MOCVD con revestimento de SiC e grafito

Imaxe destacada de portadores de obleas MOCVD con revestimento de SiC e grafito, susceptores

Descrición curta:

O susceptor MOCVD revestido de SiC de VET Energy para crecemento epitaxial é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha resistencia á calor e uniformidade térmica moi boas, alta pureza e resistencia á erosión, o que o converte na solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Portadores/susceptores de obleas MOCVD con revestimento de grafito de SiC

Todos os nosos susceptores están feitos de grafito isostático de alta resistencia. Benefíciate da alta pureza dos nosos grafitos, desenvolvidos especialmente para procesos complexos como a epitaxia, o crecemento de cristais, a implantación de ións e o gravado por plasma, así como para a produción de chips LED.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 Tamaño do gran	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / TermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimentos de SiC, revestimentos de TaC, revestimentos de carbono vítreo, revestimentos de carbono pirolítico, etc., e pode subministrar diversas pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis axustada e menos propensa ao desprendemento.

Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!