SiC-Tegaĵo Grafito MOCVD Oblatetaj Portiloj Susceptoroj

Mallonga Priskribo:

VET Energy SiC-kovrita MOCVD-susceptoro por epitaksia kresko estas alt-efikeca produkto desegnita por provizi konstantan kaj fidindan funkciadon dum plilongigita periodo. Ĝi havas superbonan varmoreziston kaj termikan homogenecon, altan purecon, erozioreziston, igante ĝin la perfekta solvo por aplikoj pri prilaborado de vaflaĵoj.

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

SiC-kovraĵa grafito MOCVD-obleoportiloj/susceptoro

Ĉiuj niaj susceptoroj estas faritaj el alt-forta izostatika grafito. Profitu de la alta pureco de niaj grafitoj - evoluigitaj speciale por malfacilaj procezoj kiel epitaksio, kristalkreskigo, jona implantado kaj plasma gravurado, same kiel por la produktado de LED-ĉipoj.

Trajtoj de niaj produktoj:

1. Rezisto al oksidiĝo je alta temperaturo ĝis 1700 ℃.
2. Alta pureco kaj termika homogeneco
3. Bonega korodrezisto: acido, alkalo, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa servodaŭro kaj pli daŭra

KVM SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj ecoj de CVD SiCtegaĵo
性质 / Nemoveblaĵo	典型数值 / Tipa Valoro
晶体结构 / Kristala strukturo	FCC β fazo多晶，主要为（111）取向
密度 / Denseco	3,21 g/cm³
硬度 / Malmoleco	2500 维氏硬度（500g ŝarĝo）
晶粒大小 / Grengrandeco	2~10μm
纯度 / Kemia Pureco	99.99995%
热容 / Varmokapacito	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimada Temperaturo	2700℃
抗弯强度 / Fleksa Forto	415 MPa RT 4-punkta
杨氏模量 / Modulo de Young	430 Gpa 4pt kurbo, 1300℃
导热系数 / TermolKonduktiveco	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Termika Ekspansio (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy estas vera fabrikanto de personecigitaj grafito- kaj siliciokarbido-produktoj kun diversaj tegaĵoj kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbon-tegaĵo, piroliza karbon-tegaĵo, ktp., kaj povas liveri diversajn personecigitajn partojn por la duonkonduktaĵa kaj fotovoltaika industrio.

Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.

Ni senĉese evoluigas progresintajn procezojn por provizi pli progresintajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas igi la ligadon inter la tegaĵo kaj la substrato pli densa kaj malpli ema al disiĝo.

Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni havu pluan diskuton!