SiC Whakakikorua Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Whakaahuatanga Poto:

Ko te VET Energy SiC Ko te MOCVD Susceptor mo te Epitaxial Growth he hua tino mahi i hangaia hei whakarato i nga mahi rite me te pono mo te waa roa. He tino pai te parenga wera me te riterite o te waiariki, te parakore teitei, te aukati horo, ka waiho hei otinga tino pai mo nga tono tukatuka angiangi.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

SiC paninga kauwhata MOCVD Wafer kawe/susceptor

Katoa o taatau kaitarai he mea hanga ki te kauwhata isostatic kaha teitei. Ka whai hua mai i te tino parakore o a tatou graphites - i hangaia mo nga mahi whakawero penei i te epitaxy, te whakatipu karaihe, te whakaurunga katote me te tarai plasma, tae atu ki te hanga maramara LED.

Nga waahanga o a maatau hua:

1. Te teitei o te wera o te waikura ki te 1700 ℃.
2. Te parakore teitei me te riterite waiariki
3. He pai te aukati waikura: te waikawa, te alkali, te tote me nga reagents waro.
4. Te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
5. He roa ake te ora mahi me te roa ake

CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga
性质 / Taonga	典型数值 / Uara Angamaheni
晶体结构 / Hanganga Kiriata	FCC β wāhanga多晶，主要为（111）取向
密度 / Kiato	3.21 g/cm³
硬度 / Te pakeke	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Raina witi	2~10μm
纯度 / Te Maamaa	99.99995%
热容 / Raukaha Wera	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Te Mahana Whakararo	2700 ℃
抗弯强度 / Te Kaha Toka	415 MPa RT 4-tohu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt piko, 1300℃
导热系数 / ThermalTe kawe	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Roha Ngawha(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ko te VET Energy te tino kaihanga o nga hua graphite me te silicon carbide me nga paninga rereke penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaehe, te paninga waro pyrolytic, me etahi atu, ka taea te tuku i nga waahanga kua whakaritea mo te semiconductor me te ahumahi photovoltaic.

Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.

Ka whakawhanake tonu matou i nga tikanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake, a kua mahia e matou he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia piri, kia iti ake te wariu ki te wehe.

Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!