Nośniki wafli MOCVD z powłoką SiC Grafit Susceptory

Powłoka SiC Grafit MOCVD Nośniki płytek Susceptory Wyróżniony obraz

Krótki opis:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaaxial Growth to produkt o wysokiej wydajności zaprojektowany tak, aby zapewniać stałą i niezawodną wydajność przez dłuższy czas. Ma super dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Nośniki/susceptory płytek MOCVD z powłoką SiC grafitową

Wszystkie nasze susceptory są wykonane z wysokowytrzymałego grafitu izostatycznego. Skorzystaj z wysokiej czystości naszych grafitów – opracowanych specjalnie do wymagających procesów, takich jak epitaksja, hodowla kryształów, implantacja jonów i trawienie plazmowe, a także do produkcji chipów LED.

Cechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność cieplna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.
5. Dłuższa żywotność i większa trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Wartość typowa
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm³
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Wielkość ziarna	2~10μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 Jkg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃
导热系数 / TermicznyjaPrzewodność	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy to prawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp., który może dostarczać różnorodne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Ciągle udoskonalamy zaawansowane procesy, aby dostarczać coraz lepsze materiały. Opracowaliśmy też opatentowaną technologię, dzięki której połączenie powłoki z podłożem jest silniejsze i mniej podatne na odrywanie.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!