Recubrimiento de SiC, grafito, MOCVD, portadores de obleas, susceptores

Imagen destacada de portadores de obleas MOCVD con recubrimiento de grafito y susceptores

Descripción breve:

El susceptor MOCVD recubierto de SiC de VET Energy para crecimiento epitaxial es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Recubrimiento de SiC, grafito MOCVD, portadores/susceptores de obleas

Todos nuestros susceptores están fabricados con grafito isostático de alta resistencia. Benefíciese de la alta pureza de nuestros grafitos, desarrollados especialmente para procesos complejos como la epitaxia, el crecimiento de cristales, la implantación de iones y el grabado por plasma, así como para la producción de chips LED.

Características de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un verdadero fabricante de productos de carburo de silicio y grafito personalizados con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!