Suċetturi tat-Trasportaturi tal-Wafer MOCVD bil-Kisi tas-SiC

Kisi tas-SiC Grafita MOCVD Trasportaturi tal-Wafer Suċetturi Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

Is-Susċettur MOCVD Miksi bis-SiC tal-VET Energy għat-Tkabbir Epitassjali huwa prodott ta' prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandu reżistenza għas-sħana u uniformità termali super tajba, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li jagħmluh is-soluzzjoni perfetta għal applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfers.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Kisi tas-SiC grafita MOCVD Wafer carriers/susceptor

Is-susċetturi kollha tagħna huma magħmula minn grafit iżostatiku ta' saħħa għolja. Ibbenefika mill-purità għolja tal-grafiti tagħna – żviluppati speċjalment għal proċessi ta' sfida bħall-epitassija, it-tkabbir tal-kristalli, l-impjantazzjoni tal-joni u l-inċiżjoni tal-plażma, kif ukoll għall-produzzjoni ta' ċipep LED.

Karatteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700 ℃.
2. Purità għolja u uniformità termali
3. Reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni: reaġenti aċidużi, alkali, melħ u organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta' servizz itwal u aktar durabbli

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi tas-CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-Kristall	Fażi β tal-FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-Qamħ	2~10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-Sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Saħħa Flessurali	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulu ta' Young	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / TermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy huwa l-manifattur reali ta' prodotti personalizzati tal-grafita u l-karbur tas-silikon b'kisi differenti bħal kisi SiC, kisi TaC, kisi tal-karbonju tal-ħġieġ, kisi tal-karbonju pirolitiku, eċċ., Jista' jipprovdi diversi partijiet personalizzati għall-industrija tas-semikondutturi u fotovoltajċi.

It-tim tekniku tagħna ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, jista' jipprovdilek soluzzjonijiet materjali aktar professjonali.

Aħna niżviluppaw kontinwament proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati, u ħdimna teknoloġija brevettata esklussiva, li tista' tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar issikkat u anqas suxxettibbli li jinqala'.

Nilqgħuk bil-qalb biex iżżur il-fabbrika tagħna, ejja jkollna aktar diskussjoni!