Lớp phủ SiC Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Mô tả ngắn gọn:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất nhất quán và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt cực tốt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến sản phẩm trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Lớp phủ SiC graphite MOCVD Tấm wafer/bộ phận tiếp nhận

Tất cả các susceptor của chúng tôi đều được làm bằng graphite đẳng tĩnh cường độ cao. Tận dụng độ tinh khiết cao của graphite của chúng tôi – được phát triển đặc biệt cho các quy trình đầy thách thức như epitaxy, phát triển tinh thể, cấy ion và khắc plasma, cũng như để sản xuất chip LED.

Tính năng của sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao và đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Nhiệt dung	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Môđun Young	430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với nhiều lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã tạo ra một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong tróc hơn.

Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!