حامل‌های ویفر MOCVD گرافیتی با پوشش SiC

شرح مختصر:

سوسپتور MOCVD روکش‌شده با SiC شرکت VET Energy برای رشد اپیتاکسیال، محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق‌العاده خوب، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه‌حلی ایده‌آل برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می‌کند.

برای ما ایمیل ارسال کنید دانلود به صورت PDF

جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

پوشش SiC گرافیت MOCVD حامل‌ها/گیرنده‌های ویفر

تمام سوسپتورهای ما از گرافیت ایزواستاتیک با استحکام بالا ساخته شده‌اند. از خلوص بالای گرافیت‌های ما بهره‌مند شوید - که به طور ویژه برای فرآیندهای چالش برانگیزی مانند اپیتاکسی، رشد کریستال، کاشت یونی و اچینگ پلاسما و همچنین برای تولید تراشه‌های LED توسعه یافته‌اند.

ویژگی‌های محصولات ما:

۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد.
۲. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
3. مقاومت عالی در برابر خوردگی: اسید، قلیا، نمک و مواد آلی.
۴. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر

بیماری‌های قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能 خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش
性质 / املاک	典型数值 / مقدار معمول
晶体结构 / ساختار کریستالی	فاز β FCC多晶，主要为（111 ）取向
密度 / تراکم	۳.۲۱ گرم بر سانتی‌متر مکعب
硬度 / سختی	2500 维氏硬度 (500 گرم بار)
晶粒大小 / اندازه دانه	2 تا 10 میکرومتر
纯度 / خلوص شیمیایی	۹۹.۹۹۹۹۵٪
热容 / ظرفیت گرمایی	۶۴۰ ژول · کیلوگرم^-1·ک^-1
升华温度 / دمای تصعید	۲۷۰۰ درجه سانتیگراد
抗弯强度 / استحکام خمشی	۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطه‌ای
杨氏模量 مدول یانگ	خم 4 نقطه‌ای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد
导热系数 / ترمالرسانایی	۳۰۰ وات بر متر مربع^-1·ک^-1
热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)	۴.۵×۱۰^-6K^-1

شرکت VET Energy تولیدکننده‌ی واقعی محصولات گرافیتی و کاربید سیلیکون سفارشی با پوشش‌های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه‌ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است و می‌تواند قطعات سفارشی متنوعی را برای صنعت نیمه‌رسانا و فتوولتائیک تأمین کند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌ای را برای ارائه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری و ثبت شده را توسعه داده‌ایم که می‌تواند پیوند بین پوشش و زیرلایه را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می‌کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!