Sudový susceptor pro epitaxi v kapalné fázi LPE

Stručný popis:

Společnost VET Energy je profesionálním výrobcem, dodavatelem a vývozcem válcových susceptorů pro kapalně fázovou epitaxní LPE. S podporou národních výzkumných center a špičkových technologií vám společnost VET Energy může poskytnout vysokou kvalitu za rozumné ceny. Zveme vás k návštěvě naší továrny k další diskusi.


Detaily produktu

Štítky produktů

Barelový susceptor pro epitaxi v kapalné fázi LPE

EPI (epitaxe)je kritický proces při výrobě pokročilých polovodičů. Zahrnuje nanášení tenkých vrstev materiálu na substrát za účelem vytvoření složitých struktur součástek. Válcové susceptory z grafitu s povlakem SiC pro EPI se běžně používají jako susceptory v EPI reaktorech díky své vynikající tepelné vodivosti a odolnosti vůči vysokým teplotám. SCVD-SiC povlak, stává se odolnějším vůči kontaminaci, erozi a tepelným šokům. To má za následek delší životnost susceptoru a lepší kvalitu filmu.

Výhody našeho válcového susceptoru pro kapalně fázovou epitaxní LPE:
Snížená kontaminace:Inertní povaha SiC zabraňuje usazování nečistot na povrchu susceptoru, čímž se snižuje riziko kontaminace nanesených filmů.
Zvýšená odolnost proti erozi:SiC je výrazně odolnější vůči erozi než konvenční grafit, což vede k delší životnosti susceptoru.
Zlepšená tepelná stabilita:SiC má vynikající tepelnou vodivost a odolává vysokým teplotám bez výrazné deformace.
Vylepšená kvalita filmu:Zlepšená tepelná stabilita a snížená kontaminace vedou k naneseným filmům vyšší kvality se zlepšenou rovnoměrností a kontrolou tloušťky.

Sudový susceptor

1

2

 

Informace o společnosti

Společnost Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. je high-tech podnik zaměřující se na výrobu a prodej pokročilých materiálů nejvyšší kvality. Mezi materiály a technologie patří grafit, karbid křemíku, keramika a povrchové úpravy, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Tyto produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a vyvinul řadu patentovaných technologií, které zajišťují výkon a kvalitu produktů, a také může zákazníkům poskytnout profesionální materiálová řešení.

Srdečně vás zveme k návštěvě naší laboratoře a závodu k odborné diskusi a spolupráci!

生产设备

公司客户

 

 


  • Předchozí:
  • Další:

  • Online chat na WhatsAppu!