ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപിറ്റാക്സി എൽപിഇയ്ക്കുള്ള ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപ്പിറ്റാക്സി എൽപിഇയ്ക്കുള്ള ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

ഇപിഐ (എപ്പിറ്റാക്സി)നൂതനമായ സെമികണ്ടക്ടറുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഇത് ഒരു നിർണായക പ്രക്രിയയാണ്. സങ്കീർണ്ണമായ ഉപകരണ ഘടനകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനായി ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നേർത്ത പാളികളായി മെറ്റീരിയൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നത് ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. മികച്ച താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന താപനിലയോടുള്ള പ്രതിരോധവും കാരണം EPI-യ്‌ക്കുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്ററുകൾ EPI റിയാക്ടറുകളിൽ സസെപ്റ്ററുകളായി സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.CVD-SiC കോട്ടിംഗ്മലിനീകരണം, മണ്ണൊലിപ്പ്, താപ ആഘാതം എന്നിവയെ ഇത് കൂടുതൽ പ്രതിരോധിക്കും. ഇത് സസെപ്റ്ററിന് കൂടുതൽ ആയുസ്സും മെച്ചപ്പെട്ട ഫിലിം ഗുണനിലവാരവും നൽകുന്നു.

ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപ്പിറ്റാക്സി LPE-യ്‌ക്കുള്ള ഞങ്ങളുടെ ബാരൽ സസെപ്റ്ററിന്റെ ഗുണങ്ങൾ:
കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം:SiC യുടെ നിഷ്ക്രിയ സ്വഭാവം മാലിന്യങ്ങൾ സസെപ്റ്റർ പ്രതലത്തിൽ പറ്റിപ്പിടിക്കുന്നതിനെ തടയുന്നു, ഇത് നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.
വർദ്ധിച്ച മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധം:പരമ്പരാഗത ഗ്രാഫൈറ്റിനേക്കാൾ മണ്ണൊലിപ്പിനെ SiC ഗണ്യമായി കൂടുതൽ പ്രതിരോധിക്കും, ഇത് സസെപ്റ്ററിന് കൂടുതൽ ആയുസ്സ് നൽകുന്നു.
മെച്ചപ്പെട്ട താപ സ്ഥിരത:SiC ക്ക് മികച്ച താപ ചാലകതയുണ്ട്, കൂടാതെ കാര്യമായ വികലതകളില്ലാതെ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാനും കഴിയും.
മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഫിലിം നിലവാരം:മെച്ചപ്പെട്ട താപ സ്ഥിരതയും കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും മെച്ചപ്പെട്ട ഏകീകൃതതയും കനം നിയന്ത്രണവും ഉള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിക്ഷേപ ഫിലിമുകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു.