Стволовий токоприймач для рідкофазної епітаксії LPE

Стволозахват для рідкофазної епітаксії LPE

Епітаксія (ЕПІ)є критично важливим процесом у виробництві передових напівпровідників. Він включає осадження тонких шарів матеріалу на підкладку для створення складних структур пристроїв. Графітові токоприймачі з покриттям з SiC для EPI зазвичай використовуються як токоприймачі в EPI-реакторах завдяки їхній чудовій теплопровідності та стійкості до високих температур. ЗCVD-SiC покриття, він стає більш стійким до забруднення, ерозії та теплового удару. Це призводить до збільшення терміну служби токсцептора та покращення якості плівки.

Переваги нашого циліндричної токоприймачної форми для рідкофазної епітаксії LPE:
Зменшення забруднення:Інертна природа SiC запобігає прилипанню домішок до поверхні токсцептора, зменшуючи ризик забруднення осаджених плівок.
Підвищена стійкість до ерозії:Карбід кремнію (SiC) значно стійкіший до ерозії, ніж звичайний графіт, що призводить до тривалішого терміну служби токсцептора.
Покращена термічна стабільність:SiC має чудову теплопровідність і може витримувати високі температури без значних деформацій.
Покращена якість плівки:Покращена термічна стабільність та зменшення забруднення призводять до отримання плівок вищої якості з покращеною однорідністю та контролем товщини.