तरल चरण Epitaxy LPE को लागी ब्यारेल ससेप्टर

तरल चरण एपिटेक्सी LPE को लागि ब्यारेल ससेप्टर

EPI (एपिटाक्सी)उन्नत अर्धचालकहरूको निर्माणमा यो एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया हो। यसमा जटिल उपकरण संरचनाहरू सिर्जना गर्न सब्सट्रेटमा सामग्रीको पातलो तहहरू जम्मा गर्ने काम समावेश छ। EPI को लागि SiC लेपित ग्रेफाइट ब्यारेल ससेप्टरहरू सामान्यतया EPI रिएक्टरहरूमा ससेप्टरको रूपमा प्रयोग गरिन्छ किनभने तिनीहरूको उत्कृष्ट थर्मल चालकता र उच्च तापक्रम प्रतिरोधात्मक क्षमता हुन्छ।CVD-SiC कोटिंग, यो प्रदूषण, क्षरण, र थर्मल झट्काको प्रतिरोधी बन्छ। यसले ससेप्टरको आयु लामो हुन्छ र फिल्मको गुणस्तरमा सुधार हुन्छ।

तरल चरण एपिटेक्सी LPE को लागि हाम्रो ब्यारेल ससेप्टरका फाइदाहरू:
कम प्रदूषण:SiC को निष्क्रिय प्रकृतिले अशुद्धताहरूलाई ससेप्टर सतहमा टाँसिनबाट रोक्छ, जसले गर्दा जम्मा भएका फिल्महरूको दूषित हुने जोखिम कम हुन्छ।
बढेको क्षरण प्रतिरोध:परम्परागत ग्रेफाइटको तुलनामा SiC क्षरणको लागि उल्लेखनीय रूपमा बढी प्रतिरोधी छ, जसले गर्दा ससेप्टरको आयु लामो हुन्छ।
सुधारिएको थर्मल स्थिरता:SiC मा उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ र यसले उल्लेखनीय विकृति बिना उच्च तापक्रम सहन सक्छ।
बढाइएको फिल्म गुणस्तर:सुधारिएको थर्मल स्थिरता र कम प्रदूषणको परिणामस्वरूप सुधारिएको एकरूपता र मोटाई नियन्त्रणको साथ उच्च-गुणस्तरको जम्मा फिल्महरू हुन्छन्।