بيرل سسپيٽر مائع فيز ايپيٽيڪسي ايل پي اي لاءِ

بيرل سسيپٽر مائع مرحلو ايپيٽيڪسي ايل پي اي لاءِ

اي پي آءِ (ايپيٽيڪسي)ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽرز جي پيداوار ۾ هڪ اهم عمل آهي. ان ۾ پيچيده ڊوائيس جي جوڙجڪ ٺاهڻ لاءِ سبسٽريٽ تي مواد جي پتلي تہن کي جمع ڪرڻ شامل آهي. EPI لاءِ SiC ڪوٽيڊ گريفائيٽ بيرل سسپيٽر عام طور تي EPI ري ايڪٽرن ۾ سسپيٽر طور استعمال ڪيا ويندا آهن ڇاڪاڻ ته انهن جي بهترين حرارتي چالکائي ۽ اعلي گرمي پد جي مزاحمت جي ڪري. سانسي وي ڊي-سي آءِ سي ڪوٽنگ، اهو آلودگي، ڪٽاؤ، ۽ حرارتي جھٽڪن جي خلاف وڌيڪ مزاحمتي ٿي ويندو آهي. ان جي نتيجي ۾ سسپيٽر جي عمر وڌيڪ ٿيندي آهي ۽ فلم جي معيار بهتر ٿيندي آهي.

مائع مرحلي جي ايپيٽيڪسي LPE لاءِ اسان جي بيرل سسپيٽر جا فائدا:
گھٽيل آلودگي:SiC جي غير فعال طبيعت نجاست کي سسپيٽر جي مٿاڇري تي چڙهڻ کان روڪي ٿي، جمع ٿيل فلمن جي آلودگي جي خطري کي گهٽائي ٿي.
وڌندڙ ڪٽاؤ جي مزاحمت:روايتي گريفائٽ جي ڀيٽ ۾ SiC ڪٽاؤ جي خلاف تمام گهڻو مزاحمتي آهي، جنهن جي ڪري سسپيٽر جي عمر وڌيڪ ٿيندي آهي.
بهتر حرارتي استحڪام:SiC ۾ بهترين حرارتي چالکائي آهي ۽ اهو وڏي خرابي کان سواءِ اعليٰ درجه حرارت کي برداشت ڪري سگهي ٿو.
بهتر فلم جي معيار:بهتر حرارتي استحڪام ۽ گھٽ آلودگي جي نتيجي ۾ اعليٰ معيار جون جمع ٿيل فلمون بهتر هڪجهڙائي ۽ ٿلهي ڪنٽرول سان گڏ ٿين ٿيون.